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[實用新型]LED2、4寸芯片兼容性沉積SIO2電極平臺有效

專利信息
申請號: 201520292442.8 申請日: 2015-05-07
公開(公告)號: CN204614761U 公開(公告)日: 2015-09-02
發明(設計)人: 丁維才;高學生;王濤;王雷 申請(專利權)人: 合肥彩虹藍光科技有限公司
主分類號: H01J37/32 分類號: H01J37/32
代理公司: 合肥順超知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 34120 代理人: 汪守勇
地址: 230012 *** 國省代碼: 安徽;34
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摘要:
搜索關鍵詞: led2 芯片 兼容性 沉積 sio sub 電極 平臺
【權利要求書】:

1.一種LED2、4寸芯片兼容性沉積SiO2電極平臺,包括腔體、鋁電極圓柱和芯片載放平臺,其特征在于,所述芯片載放平臺上設置有多個4寸芯片放置槽,所述4寸芯片放置槽內設有多個2寸芯片放置槽,所述鋁電極圓柱在腔體底部,所述芯片載放平臺水平放置于鋁電極圓柱上。

2.如權利要求1所述的LED2、4寸芯片兼容性沉積SiO2電極平臺,其特征在于,所述鋁電極圓柱高度為40mm。

3.如權利要求1所述的LED2、4寸芯片兼容性沉積SiO2電極平臺,其特征在于,所述4寸芯片放置槽和2寸芯片放置槽的直徑兩端均設有取片點,所述取片點的圓弧直徑為6mm,所述取片點深度為0.45mm。

4.如權利要求3所述的LED2、4寸芯片兼容性沉積SiO2電極平臺,其特征在于,所述4寸芯片放置槽直徑為101mm,深度為0.35mm。

5.如權利要求4所述的LED2、4寸芯片兼容性沉積SiO2電極平臺,其特征在于,所述4寸芯片放置槽有13個。

6.如權利要求3所述的LED2、4寸芯片兼容性沉積SiO2電極平臺,其特征在于,所述2寸芯片放置槽直徑為51mm,深度為0.4mm。

7.如權利要求6所述的LED2、4寸芯片兼容性沉積SiO2電極平臺,其特征在于,所述2寸芯片放置槽有51個。

8.如權利要求1所述的LED2、4寸芯片兼容性沉積SiO2電極平臺,其特征在于,所述腔體內壁直徑為530mm。

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