[實用新型]一種自動離子刻蝕機的擋板調試裝置

有效

• 申請號: 201520291021.3
• 申請日: 2015-05-07
• 公開（公告）號: CN204651287U
• 公開（公告）日: 2015-09-16
• 發明（設計）人: 詹超;廖其飛;吳宗澤;池旭明;王臻;林土全
• 申請（專利權）人: 浙江東晶電子股份有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 金華科源專利事務所有限公司 33103
• 代理人: 胡杰平

技術領域

本實用新型屬于制造石英晶體元件的設備技術領域，具體是一種自動離子刻蝕機的擋板調試裝置。

背景技術

石英晶體諧振器在制造過程中，需通過離子刻蝕機對其進行頻率調試。調試過程中通過擋板的打開和關閉動作對離子束進行控制。然而傳統的擋板調試裝置上擋板的打開和關閉是由電磁線圈控制的，電磁線圈通電時間用久了之后會發黑，導致通電電磁線圈不能及時控制擋板的打開和關閉，使石英晶體得不到有效的調試或調試過度損壞晶體，從而造成石英晶體諧振器的不良率上升，同時石英晶體諧振器的頻率散差也會變大。再者，電磁線圈的磁力太小限制了擋板的厚度不能太大，使擋板的使用周期較短，增加了擋板的故障率，影響了產品生產的效率。

發明內容

本實用新型的目的是針對現有技術的不足，提供一種自動離子刻蝕機的擋板調試裝置,能有效解決電磁線圈控制擋板的不穩定性和擋板使用周期較短的問題。

本實用新型采用以下技術方案實現：

一種自動離子刻蝕機的擋板調試裝置，包括擋板固定底座和鉬片板，其特征是所述擋板固定底座上設置有旋轉電機，旋轉電機的電機軸上帶有擋板；所述鉬片板上設置有調試孔。

本實用新型所述鉬片板上的調試孔有兩個；所述擋板固定底座上的旋轉電機有兩個，兩旋轉電機的電機軸上分別帶有能擋住上述調試孔的擋板。

當離子刻蝕機上的石英晶體諧振器需要被測試調試時，旋轉電機開始工作，電機軸帶動擋板旋轉，使擋板與調試孔錯開，此時石英晶體諧振器處于調試狀態。在調試完成后，電機軸帶動擋板旋轉進行復位，使擋板與調試孔重合，對調試孔進行遮擋。

本實用新型的擋板調試裝置在控制石英晶體諧振器的調試時，通過旋轉電機控制擋板的轉動，從而可使擋板達到遮擋調試孔或打開調試孔的目的，調試孔的關閉和打開調節靈活，動作靈敏，產品良率高。同時，擋板厚度較厚，使擋板的使用周期較長，設備故障和維修率低。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖。

具體實施方式

下面參照附圖對本實用新型的具體實施方式做進一步說明。

如圖1所示，一種自動離子刻蝕機的擋板調試裝置，由擋板固定底座1和鉬片板2組成，其特征是所述擋板固定底座1上設置有一對旋轉電機3；電機軸4上設置有擋板固定塊5，擋板6通過擋板固定塊5固定在電機軸4上，擋板6通過固定螺絲7固定在擋板固定塊5上；所述鉬片板2上設置有調試孔8，調試孔的數量為兩個。

本實用新型的工作原理為：當離子刻蝕機上的石英晶體諧振器需要被測試調試時，旋轉電機3開始工作，電機軸4帶動擋板6向下旋轉90°，使擋板6與調試孔8錯開，此時石英晶體諧振器處于調試狀態。在調試完成后，電機軸4帶動擋板6向上旋轉90°進行復位，使擋板6與調試孔8重合，對調試孔8進行遮擋。本實用新型的擋板調試裝置在控制石英晶體諧振器的調試時，通過旋轉電機控制擋板的轉動，從而可使擋板達到遮擋調試孔或打開調試孔的目的，調試孔的關閉和打開調節靈活，動作靈敏，產品良率高。同時，擋板厚度較厚，使擋板的使用周期較長，設備故障和維修率低。