[實(shí)用新型]一種自動(dòng)離子刻蝕機(jī)的擋板調(diào)試裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201520291021.3 | 申請(qǐng)日： | 2015-05-07 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN204651287U | 公開（公告）日： | 2015-09-16 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 詹超;廖其飛;吳宗澤;池旭明;王臻;林土全 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 浙江東晶電子股份有限公司 |
| 主分類號(hào)： | H01J37/32 | 分類號(hào)： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 金華科源專利事務(wù)所有限公司 33103 | 代理人： | 胡杰平 |
| 地址： | 321025 *** | 國(guó)省代碼： | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 自動(dòng) 離子 刻蝕 擋板 調(diào)試 裝置 | ||
1.一種自動(dòng)離子刻蝕機(jī)的擋板調(diào)試裝置，包括擋板固定底座和鉬片板，其特征是所述擋板固定底座上設(shè)置有旋轉(zhuǎn)電機(jī)，旋轉(zhuǎn)電機(jī)的電機(jī)軸上帶有擋板；所述鉬片板上設(shè)置有調(diào)試孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自動(dòng)離子刻蝕機(jī)的擋板調(diào)試裝置，其特征在于：所述鉬片板上的調(diào)試孔有兩個(gè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種自動(dòng)離子刻蝕機(jī)的擋板調(diào)試裝置，其特征在于：所述擋板固定底座上的旋轉(zhuǎn)電機(jī)有兩個(gè)，兩旋轉(zhuǎn)電機(jī)的電機(jī)軸上分別帶有能擋住上述調(diào)試孔的擋板。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種自動(dòng)離子刻蝕機(jī)的擋板調(diào)試裝置，其特征在于：擋板通過擋板固定塊固定在電機(jī)軸上。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種自動(dòng)離子刻蝕機(jī)的擋板調(diào)試裝置，其特征在于：擋板通過固定螺絲固定在擋板固定塊上。
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