[實用新型]掃描電鏡樣品臺

有效

• 申請號: 201520290865.6
• 申請日: 2015-05-07
• 公開（公告）號: CN204614760U
• 公開（公告）日: 2015-09-02
• 發明（設計）人: 李琰琪;王栩生;邢國強
• 申請（專利權）人: 蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司;鹽城阿特斯協鑫陽光電力科技有限公司
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20;G01N23/22
• 代理公司: 蘇州翔遠專利代理事務所(普通合伙) 32251
• 代理人: 陸金星

1.一種掃描電鏡樣品臺，包括樣品臺(8)，其特征在于：還包括轉向柱(4)，轉向柱的一端與所述樣品臺的底部固定連接，另一端旋轉連接于一底座(1)上，使樣品臺相對于底座具有旋轉自由度。

2.根據權利要求1所述的掃描電鏡樣品臺，其特征在于：所述轉向柱與樣品臺的底部中央固定連接。

3.根據權利要求2所述的掃描電鏡樣品臺，其特征在于：所述轉向柱的一端設有螺紋，所述樣品臺的底部中央設有配合的螺孔。

4.根據權利要求1所述的掃描電鏡樣品臺，其特征在于：所述底座上固設有旋轉定位軸(2)，所述轉向柱的另一端套設于旋轉定位軸之上；旋轉定位軸上設有螺紋，其上設有配合的螺母(3)，使轉向柱旋轉連接于所述旋轉定位軸上。

5.根據權利要求4所述的掃描電鏡樣品臺，其特征在于：所述旋轉定位軸的中部設有凸塊(9)，所述轉向柱夾在凸塊和螺母之間。

6.根據權利要求1所述的掃描電鏡樣品臺，其特征在于：所述樣品臺的側面設有配合的壓塊(7)，且壓塊彈性連接于樣品臺的一側。