[實用新型]掃描電鏡樣品臺

有效

• 申請號: 201520290865.6
• 申請日: 2015-05-07
• 公開（公告）號: CN204614760U
• 公開（公告）日: 2015-09-02
• 發明（設計）人: 李琰琪;王栩生;邢國強
• 申請（專利權）人: 蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司;鹽城阿特斯協鑫陽光電力科技有限公司
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20;G01N23/22
• 代理公司: 蘇州翔遠專利代理事務所(普通合伙) 32251
• 代理人: 陸金星

技術領域

本實用新型涉及一種掃描電鏡樣品臺，尤其適用于測試薄片型樣品。

背景技術

現有技術中，掃描電鏡是一種樣品制備簡單、分辨高、綜合分析能力強的測試分析設備，目前廣泛應用于各類材料的表面和截面微觀分析。其中，樣品臺是掃描電鏡設備的核心部件，其一般為鋁制的圓形平臺。在樣品表面測試時，以薄片型樣品為例，通常通過導電膠將樣品粘貼于樣品臺面上做觀察。而要對樣品做截面測試，需要在樣品臺的四周貼上導電膠，再將樣品貼于平臺側邊上。

目前的掃描電鏡在測試過程中，樣品臺可以通過連軸馬達實現一定角度的旋轉。以日立S4800型號為例，樣品臺可以最大傾斜30度左右。然而，在測試過程中，樣品有掉落損壞機器的風險；尤其是當電子槍與樣品臺的工作距離較近時，大角度旋轉有損壞儀器的風險。而在實際工作中，測試人員又希望能得到更大角度的視野范圍，這種矛盾一直困擾著本領域的測試人員以及掃描電鏡生產商。

發明內容

本實用新型的發明目的是提供一種掃描電鏡樣品臺。

為達到上述發明目的，本實用新型采用的技術方案是：一種掃描電鏡樣品臺，包括樣品臺，還包括轉向柱，轉向柱的一端與所述樣品臺的底部固定連接，另一端旋轉連接于一底座上，使樣品臺相對于底座具有旋轉自由度。

上文中，所述樣品臺可以采用現有技術，用來放置樣片。

優選的，所述轉向柱與樣品臺的底部中央固定連接。

上述技術方案中，所述轉向柱的一端設有螺紋，所述樣品臺的底部中央設有配合的螺孔。

上述技術方案中，所述底座上固設有旋轉定位軸，所述轉向柱的另一端套設于旋轉定位軸之上；旋轉定位軸上設有螺紋，其上設有配合的螺母，使轉向柱旋轉連接于所述旋轉定位軸上。

上述技術方案中，所述旋轉定位軸的中部設有凸塊，所述轉向柱夾在凸塊和螺母之間。

上述技術方案中，所述樣品臺的側面設有配合的壓塊，且壓塊彈性連接于樣品臺的一側。即在樣品臺上構成彈性夾持結構，用來夾持樣片，以便掃描電鏡對樣品做截面測試。當然，彈性夾持結構的尺寸應當大于待測樣片的尺寸，以便將樣品放入彈性夾持機構之中。

上述彈性夾持結構可以采用拉桿和彈簧的結構。

由于上述技術方案運用，本實用新型與現有技術相比具有下列優點：

1、本實用新型設計了一種新的掃描電鏡樣品臺結構，通過在樣品臺的底部設置轉向柱，使樣品臺相對于底座具有旋轉自由度，從而可以帶動樣品臺連續大角度旋轉，實現連續的多角度觀察；

2、本實用新型具有較好的安全性，對操作人員的經驗值要求不高，不必通過電鏡馬達實現旋轉，也沒有碰撞鏡頭的危險；

3、本實用新型在樣品臺的側面設置了彈性夾持結構，可以夾持樣片，實現了對樣品的平面和斜面觀察及檢測，尤其適用于薄片型樣品的截面和前表面檢測；

4、本實用新型的結構簡單，成本較低，適于推廣應用。

附圖說明

圖1是本實用新型實施例一的結構示意圖。

圖2是本實用新型實施例一中轉向柱的側視圖。

圖3是本實用新型實施例一中轉向柱的主視圖。

圖4是本實用新型實施例一中底座和轉向柱的組裝結構分解圖。

其中：1、底座；2、旋轉定位軸；3、螺母；4、轉向柱；5、拉桿；6、彈簧；7、壓塊；8、樣品臺；9、凸塊。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例對本實用新型進一步描述。

實施例一：

參見圖1~4所示，一種掃描電鏡樣品臺，包括樣品臺8，還包括轉向柱4，轉向柱的一端與所述樣品臺的底部固定連接，另一端旋轉連接于一底座1上，使樣品臺相對于底座具有旋轉自由度。

所述轉向柱與樣品臺的底部中央固定連接。所述轉向柱的一端設有螺紋，所述樣品臺的底部中央設有配合的螺孔。

所述底座上固設有旋轉定位軸2，所述轉向柱的另一端套設于旋轉定位軸之上；旋轉定位軸上設有螺紋，其上設有配合的螺母3，使轉向柱旋轉連接于所述旋轉定位軸上。

所述旋轉定位軸的中部設有凸塊9，所述轉向柱夾在凸塊和螺母之間。

所述樣品臺的側面設有配合的壓塊7，且壓塊彈性連接于樣品臺的一側。具體的，壓塊通過拉桿5設于樣品臺的側面，拉桿上設有彈簧6，構成彈性夾持結構；參見圖1所示。

轉向柱4圍繞旋轉定位軸2連續旋轉就可以帶動整個樣品臺連續大角度旋轉，旋轉角度可以通過螺母3來固定。