[實(shí)用新型]用于薄膜太陽(yáng)能電池的尾氣處理系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520273818.0
• 申請(qǐng)日: 2015-04-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN204596816U
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-08-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 湯安東;董光有;唐意軍;張銘
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廣東漢能薄膜太陽(yáng)能有限公司
• 主分類號(hào): H01L31/18
• 分類號(hào): H01L31/18
• 代理公司: 深圳市千納專利代理有限公司 44218
• 代理人: 童海霓;劉彥

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及薄膜太陽(yáng)能電池制造技術(shù)領(lǐng)域，具體是指一種用于薄膜太陽(yáng)能電池的尾氣處理系統(tǒng)。

背景技術(shù)

在進(jìn)行薄膜太陽(yáng)能電池的制備中通常需要用到二乙基鋅液體（二乙基鋅簡(jiǎn)稱DEZ）或三甲基鋁液體（三甲基鋁簡(jiǎn)稱TMA），DEZ和TMA均為液態(tài)有機(jī)金屬物質(zhì)，在常溫常壓下為無(wú)色透明有惡臭的液體，加熱后易蒸發(fā)和分解。遇空氣能自然，DEZ燃燒時(shí)產(chǎn)生氧化鋅白煙，TMA燃燒時(shí)會(huì)產(chǎn)生氧化鋁白煙。與水激烈反應(yīng)，并分解發(fā)生可燃性乙烷氣而著火。

在目前薄膜太陽(yáng)能電池的制造中，DEE或TMA通常通過(guò)鋼瓶?jī)?chǔ)存氣體供應(yīng)站房中，在日常使用中經(jīng)常需要進(jìn)行換鋼瓶操作。在換瓶吹掃和填充的過(guò)程中會(huì)有少量DEZ揮發(fā)氣體，目前此揮發(fā)氣體通過(guò)真空泵再由氮?dú)庀♂尯笏椭梅磻?yīng)罐，通過(guò)反應(yīng)液吸收后排放。反應(yīng)液是一種國(guó)外供應(yīng)商特制的混合石油榴類液體。

由于反應(yīng)液的吸附能力有限，吸收用反應(yīng)液需要定期更換（以DEZ為例，供應(yīng)商提供標(biāo)準(zhǔn)每使用20瓶DEZ就更換一次，每瓶包含反應(yīng)液470KG），而該反應(yīng)液必須進(jìn)口并且需要空運(yùn)才能到達(dá)國(guó)內(nèi)，同時(shí)更換液體時(shí)需要供應(yīng)商技術(shù)支持。更換下來(lái)的廢棄反應(yīng)液還需要進(jìn)行專業(yè)處廢物理，所以運(yùn)行成本極高。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是提供一種用于薄膜太陽(yáng)能電池的尾氣處理系統(tǒng)，無(wú)需使用反應(yīng)液，具有尾氣處理能力強(qiáng)、尾氣處理速度快、安全性高、成本低廉和操作簡(jiǎn)單的特點(diǎn)。

本實(shí)用新型可以通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)：

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于薄膜太陽(yáng)能電池的尾氣處理系統(tǒng)，包括與氣體供應(yīng)站房真空泵排氣管連通的尾氣入口和與尾氣排放口連通的尾氣出口。所述尾氣處理系統(tǒng)還包括可調(diào)式恒溫加熱的加熱裝置，所述加熱裝置設(shè)置在尾氣入口和尾氣出口之間，所述加熱裝置包括用于可調(diào)式恒溫加熱的管道式外壁，所述管道式外壁的內(nèi)腔設(shè)有阻隔式風(fēng)道。通過(guò)在尾氣處理系統(tǒng)中設(shè)置可調(diào)式恒溫加熱的加熱裝置和阻隔式風(fēng)道，DEZ、TMA尾氣在通過(guò)真空泵抽取后進(jìn)入阻隔式風(fēng)道內(nèi)，可調(diào)式恒溫加熱的管道式外壁產(chǎn)生高溫，熱量傳導(dǎo)到加熱管道內(nèi)部并使熱外壁內(nèi)部和阻隔翅片表面處于高溫狀態(tài)，從而使用DEZ氣體在高溫狀況下發(fā)生氧化或分解反應(yīng)。由于DEZ、TMA在溫度越高的情況下分解速率越高，但是危險(xiǎn)性也會(huì)相應(yīng)增大，因此，所述加熱裝置的加熱分解溫度一般設(shè)置在150～350℃之間。通過(guò)高溫分解后，DEZ、TMA尾氣會(huì)最終轉(zhuǎn)變?yōu)榉勰┖蜔o(wú)毒氣體，粉末沉積在加熱外壁內(nèi)部和阻隔翅片表面，無(wú)毒氣體通過(guò)尾氣出口迅速排出進(jìn)行后續(xù)收集處理，有效避免了DEZ、TMA尾氣直接排出由于DEZ、TMA尾氣毒性對(duì)環(huán)境和人員人身安全的影響。通過(guò)尾氣處理系統(tǒng)可以對(duì)DEZ、TMA尾氣進(jìn)行連續(xù)式處理，無(wú)需吸收液，有效提升了DEZ的尾氣處理能力；通過(guò)可調(diào)式溫度設(shè)置，可以根據(jù)實(shí)際需要調(diào)節(jié)處理的速度，有效加快尾氣處理的速度，同時(shí)，通過(guò)連續(xù)式高溫分解尾氣處理的方式，無(wú)需使用吸收液，無(wú)需頻繁的換瓶操作，既降低了吸收液的使用成本從而降低尾氣處理的成本，也簡(jiǎn)化了操作的步驟，減少操作員工與尾氣接觸的機(jī)會(huì)提高了安全性。

所述管道式外壁包括外保溫層和內(nèi)保溫層，所述外保溫層和內(nèi)保溫層之間設(shè)有用于加熱的電磁發(fā)熱絲。在實(shí)際使用中，電磁加熱絲一般采用碳鋼材料，具有較強(qiáng)的機(jī)械強(qiáng)度和較好的電阻加熱性能；通過(guò)外保溫層，既實(shí)現(xiàn)保溫的目的也有效防止?fàn)C傷，兼顧處理系統(tǒng)的保溫性能和安全性；通過(guò)設(shè)置內(nèi)保溫層，既實(shí)現(xiàn)了加熱保溫的目的，有有效防止了DEZ尾氣對(duì)電磁加熱絲的腐蝕，減少電磁加熱絲維護(hù)和更換的頻率，延長(zhǎng)尾氣處理系統(tǒng)的使用壽命。

所述阻隔式風(fēng)道包括若干阻隔翅片，所述阻隔翅片相鄰錯(cuò)位垂直設(shè)置在所述內(nèi)保溫層的內(nèi)壁上，所述阻隔翅片與內(nèi)部保溫層的內(nèi)壁之間形成迂回氣體流通風(fēng)道。通過(guò)阻隔翅片的設(shè)計(jì)，可以有效減緩DEZ、TMA尾氣在阻隔式的流通速度，延長(zhǎng)DEZ、TMA尾氣的高溫分解時(shí)間，保證了DEZ、TMA尾氣分解的完全性。同時(shí)，通過(guò)阻隔翅片形成迂回氣體流通風(fēng)道，擴(kuò)充了DEZ、TMA尾氣的處理容納空間、增大了DEZ、TMA尾氣的受熱面積，提升了處理系統(tǒng)的處理能力。