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[實用新型]用于薄膜太陽能電池的尾氣處理系統有效

專利信息
申請號: 201520273818.0 申請日: 2015-04-30
公開(公告)號: CN204596816U 公開(公告)日: 2015-08-26
發明(設計)人: 湯安東;董光有;唐意軍;張銘 申請(專利權)人: 廣東漢能薄膜太陽能有限公司
主分類號: H01L31/18 分類號: H01L31/18
代理公司: 深圳市千納專利代理有限公司 44218 代理人: 童海霓;劉彥
地址: 517000 廣東*** 國省代碼: 廣東;44
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摘要:
搜索關鍵詞: 用于 薄膜 太陽能電池 尾氣 處理 系統
【權利要求書】:

1.一種用于薄膜太陽能電池的尾氣處理系統,所述尾氣包括DEZ尾氣和TMA尾氣,所述尾氣處理系統包括與氣體供應站房真空泵(9)排氣管連通的尾氣入口(1)和與尾氣排放口連通的尾氣出口(2),其特征在于:所述尾氣處理系統還包括可調式恒溫加熱的加熱裝置,所述加熱裝置設置在尾氣入口(1)和尾氣出口(2)之間,所述加熱裝置包括用于可調式恒溫加熱的管道式外壁,所述管道式外壁的內腔設有阻隔式風道。

2.根據權利要求1所述的用于薄膜太陽能電池的尾氣處理系統,其特征在于:所述管道式外壁包括外保溫層(3)和內保溫層(5),所述外保溫層(3)和內保溫層(5)之間設有用于加熱的電磁發熱絲(4)。

3.根據權利要求2所述的用于薄膜太陽能電池的尾氣處理系統,其特征在于:所述阻隔式風道包括若干阻隔翅片(12),所述阻隔翅片(12)相鄰錯位垂直設置在所述內保溫層(5)的內壁上,所述阻隔翅片(12)與內部保溫層的內壁之間形成迂回氣體流通風道。

4.根據權利要求3所述的用于薄膜太陽能電池的尾氣處理系統,其特征在于:所述尾氣處理系統還包括溫度傳感器(6),所述溫度傳感器(6)為兩個或兩個以上,所述溫度傳感器(6)分別設置在加熱裝置的中部,所述溫度傳感器(6)與電磁加熱絲通過可調溫度開關電連接。

5.根據權利要求4所述的用于薄膜太陽能電池的尾氣處理系統,其特征在于:所述真空泵(9)排氣管和尾氣入口(1)之間還設有阻火器(10),所述排氣管末端還設置有粉塵過濾器(20)。

6.根據權利要求5所述的用于薄膜太陽能電池的尾氣處理系統,其特征在于:所述管道式外壁的側壁連接有氮氣輸送管道(14)和壓縮空氣輸送管道(15),所述氮氣輸送管道(14)、壓縮空氣輸送管道(15)和所述阻隔式風道通過閥門控制連通。

7.根據權利要求6所述的用于薄膜太陽能電池的尾氣處理系統,其特征在于:所述閥門控制連通所使用的閥門包括用于通斷控制的電磁閥(8)和用于流量控制的針閥(7)。

8.根據權利要求7所述的用于薄膜太陽能電池的尾氣處理系統,其特征在于:所述DEZ尾氣處理系統還包括PLC觸摸屏,所述PLC觸摸屏同時與溫度傳感器(6)、電磁發熱絲(4)、PID恒溫控制系統(13)點連接。

9.根據權利要求8所述的用于薄膜太陽能電池的尾氣處理系統,其特征在于:所述PLC觸摸屏還設有RS485數據接口。

10.根據權利要求9所述的用于薄膜太陽能電池的尾氣處理系統,其特征在于:所述阻火器(10)與所述排氣管之間采用法蘭連接。

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