[實(shí)用新型]用于薄膜太陽(yáng)能電池的尾氣處理系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520273818.0
• 申請(qǐng)日: 2015-04-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN204596816U
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-08-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 湯安東;董光有;唐意軍;張銘
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廣東漢能薄膜太陽(yáng)能有限公司
• 主分類號(hào): H01L31/18
• 分類號(hào): H01L31/18
• 代理公司: 深圳市千納專利代理有限公司 44218
• 代理人: 童海霓;劉彥

1.一種用于薄膜太陽(yáng)能電池的尾氣處理系統(tǒng)，所述尾氣包括DEZ尾氣和TMA尾氣，所述尾氣處理系統(tǒng)包括與氣體供應(yīng)站房真空泵（9）排氣管連通的尾氣入口（1）和與尾氣排放口連通的尾氣出口（2），其特征在于：所述尾氣處理系統(tǒng)還包括可調(diào)式恒溫加熱的加熱裝置，所述加熱裝置設(shè)置在尾氣入口（1）和尾氣出口（2）之間，所述加熱裝置包括用于可調(diào)式恒溫加熱的管道式外壁，所述管道式外壁的內(nèi)腔設(shè)有阻隔式風(fēng)道。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于薄膜太陽(yáng)能電池的尾氣處理系統(tǒng)，其特征在于：所述管道式外壁包括外保溫層（3）和內(nèi)保溫層（5），所述外保溫層（3）和內(nèi)保溫層（5）之間設(shè)有用于加熱的電磁發(fā)熱絲（4）。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于薄膜太陽(yáng)能電池的尾氣處理系統(tǒng)，其特征在于：所述阻隔式風(fēng)道包括若干阻隔翅片（12），所述阻隔翅片（12）相鄰錯(cuò)位垂直設(shè)置在所述內(nèi)保溫層（5）的內(nèi)壁上，所述阻隔翅片（12）與內(nèi)部保溫層的內(nèi)壁之間形成迂回氣體流通風(fēng)道。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于薄膜太陽(yáng)能電池的尾氣處理系統(tǒng)，其特征在于：所述尾氣處理系統(tǒng)還包括溫度傳感器（6），所述溫度傳感器（6）為兩個(gè)或兩個(gè)以上，所述溫度傳感器（6）分別設(shè)置在加熱裝置的中部，所述溫度傳感器（6）與電磁加熱絲通過(guò)可調(diào)溫度開(kāi)關(guān)電連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于薄膜太陽(yáng)能電池的尾氣處理系統(tǒng)，其特征在于：所述真空泵（9）排氣管和尾氣入口（1）之間還設(shè)有阻火器（10），所述排氣管末端還設(shè)置有粉塵過(guò)濾器（20）。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于薄膜太陽(yáng)能電池的尾氣處理系統(tǒng)，其特征在于：所述管道式外壁的側(cè)壁連接有氮?dú)廨斔凸艿溃?4）和壓縮空氣輸送管道（15），所述氮?dú)廨斔凸艿溃?4）、壓縮空氣輸送管道（15）和所述阻隔式風(fēng)道通過(guò)閥門控制連通。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于薄膜太陽(yáng)能電池的尾氣處理系統(tǒng)，其特征在于：所述閥門控制連通所使用的閥門包括用于通斷控制的電磁閥（8）和用于流量控制的針閥（7）。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于薄膜太陽(yáng)能電池的尾氣處理系統(tǒng)，其特征在于：所述DEZ尾氣處理系統(tǒng)還包括PLC觸摸屏，所述PLC觸摸屏同時(shí)與溫度傳感器（6）、電磁發(fā)熱絲（4）、PID恒溫控制系統(tǒng)（13）點(diǎn)連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于薄膜太陽(yáng)能電池的尾氣處理系統(tǒng)，其特征在于：所述PLC觸摸屏還設(shè)有RS485數(shù)據(jù)接口。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的用于薄膜太陽(yáng)能電池的尾氣處理系統(tǒng)，其特征在于：所述阻火器（10）與所述排氣管之間采用法蘭連接。