[實用新型]用于薄膜太陽能電池的尾氣處理系統

有效

• 申請號: 201520273818.0
• 申請日: 2015-04-30
• 公開（公告）號: CN204596816U
• 公開（公告）日: 2015-08-26
• 發明（設計）人: 湯安東;董光有;唐意軍;張銘
• 申請（專利權）人: 廣東漢能薄膜太陽能有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 深圳市千納專利代理有限公司 44218
• 代理人: 童海霓;劉彥

1.一種用于薄膜太陽能電池的尾氣處理系統，所述尾氣包括DEZ尾氣和TMA尾氣，所述尾氣處理系統包括與氣體供應站房真空泵（9）排氣管連通的尾氣入口（1）和與尾氣排放口連通的尾氣出口（2），其特征在于：所述尾氣處理系統還包括可調式恒溫加熱的加熱裝置，所述加熱裝置設置在尾氣入口（1）和尾氣出口（2）之間，所述加熱裝置包括用于可調式恒溫加熱的管道式外壁，所述管道式外壁的內腔設有阻隔式風道。

2.根據權利要求1所述的用于薄膜太陽能電池的尾氣處理系統，其特征在于：所述管道式外壁包括外保溫層（3）和內保溫層（5），所述外保溫層（3）和內保溫層（5）之間設有用于加熱的電磁發熱絲（4）。

3.根據權利要求2所述的用于薄膜太陽能電池的尾氣處理系統，其特征在于：所述阻隔式風道包括若干阻隔翅片（12），所述阻隔翅片（12）相鄰錯位垂直設置在所述內保溫層（5）的內壁上，所述阻隔翅片（12）與內部保溫層的內壁之間形成迂回氣體流通風道。

4.根據權利要求3所述的用于薄膜太陽能電池的尾氣處理系統，其特征在于：所述尾氣處理系統還包括溫度傳感器（6），所述溫度傳感器（6）為兩個或兩個以上，所述溫度傳感器（6）分別設置在加熱裝置的中部，所述溫度傳感器（6）與電磁加熱絲通過可調溫度開關電連接。

5.根據權利要求4所述的用于薄膜太陽能電池的尾氣處理系統，其特征在于：所述真空泵（9）排氣管和尾氣入口（1）之間還設有阻火器（10），所述排氣管末端還設置有粉塵過濾器（20）。

6.根據權利要求5所述的用于薄膜太陽能電池的尾氣處理系統，其特征在于：所述管道式外壁的側壁連接有氮氣輸送管道（14）和壓縮空氣輸送管道（15），所述氮氣輸送管道（14）、壓縮空氣輸送管道（15）和所述阻隔式風道通過閥門控制連通。

7.根據權利要求6所述的用于薄膜太陽能電池的尾氣處理系統，其特征在于：所述閥門控制連通所使用的閥門包括用于通斷控制的電磁閥（8）和用于流量控制的針閥（7）。

8.根據權利要求7所述的用于薄膜太陽能電池的尾氣處理系統，其特征在于：所述DEZ尾氣處理系統還包括PLC觸摸屏，所述PLC觸摸屏同時與溫度傳感器（6）、電磁發熱絲（4）、PID恒溫控制系統（13）點連接。

9.根據權利要求8所述的用于薄膜太陽能電池的尾氣處理系統，其特征在于：所述PLC觸摸屏還設有RS485數據接口。

10.根據權利要求9所述的用于薄膜太陽能電池的尾氣處理系統，其特征在于：所述阻火器（10）與所述排氣管之間采用法蘭連接。