[實用新型]一種磁場旋轉磁控柱弧靶

有效

• 申請號: 201520244431.2
• 申請日: 2015-04-22
• 公開（公告）號: CN204644453U
• 公開（公告）日: 2015-09-16
• 發明（設計）人: 鄢強;宋慧瑾
• 申請（專利權）人: 成都金倍科技有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 成都正華專利代理事務所(普通合伙) 51229
• 代理人: 李林合

1.一種磁場旋轉磁控柱弧靶，其特征在于：包括靶座，分水套，傳動機構，靶管，防水罩和磁軸；

所述靶座包括大法蘭，大法蘭下部連接有屏蔽罩，大法蘭上設有密封環，密封環上為密封座，密封座上為絕緣壓環；

所述分水套通過螺釘與密封座連接，分水套內部被分水環分隔成上進水室和下出水室；所述分水環固定在支架上，支架上開設有均分的孔；所述支架固定在密封軸座上，密封軸座與分水套連接，密封軸座內裝有帶動磁芯部旋轉的軸，電極連接片固定在密封軸座上；

所述傳動機構的小齒輪與大齒輪嚙合，大齒輪通過絕緣環與磁芯旋轉軸絕緣，絕緣環下的支承環隔開絕緣環和軸承壓環；傳動機構的可逆調速電機固定在電機支承板上，電機支承板固定在大法蘭上；

靶體包括圓管狀、結構對稱的靶材，靶管上端與密封座連接，靶管下端和靶材螺紋連接并密封靶管內的水；

所述防水罩通過不銹鋼管套、管套上端的密封壓墊、磁軛上端和磁軛下端實現磁軸外水的密封；

所述磁軸包括磁軛和磁體。

2.?如權利要求1所述的磁場旋轉磁控柱弧靶，其特征在于：大法蘭通過螺釘與真空鍍膜機實現可拆卸連接；電機支承板通過螺桿固定在大法蘭上；大法蘭上有密封環，低溫工藝時一般選聚四氟乙烯材料，高溫工藝時選精密陶瓷或石英玻璃件；密封座上設有O型圈；絕緣壓環通過螺釘將密封座、密封環、O型圈壓緊在大法蘭上。

3.?如權利要求1所述的磁場旋轉磁控柱弧靶，其特征在于：分水套內被分水環分為上進水室和下出水室，分別通過水嘴與外部進出水管相接。密封軸座通過螺釘與分水套連接，通過O型圈實現密封。

4.?如權利要求1所述的磁場旋轉磁控柱弧靶，其特征在于：帶動磁芯部旋轉的軸安裝在密封軸座內。

5.?如權利要求1所述的磁場旋轉磁控柱弧靶，其特征在于：傳動用大齒輪內套有與磁芯旋轉軸絕緣的絕緣環。絕緣環和軸承壓環間有支承環。

6.?如權利要求1所述的磁場旋轉磁控柱弧靶，其特征在于：管靶被設計成兩端裝配位對稱結構。

7.?如權利要求1所述的磁場旋轉磁控柱弧靶，其特征在于：磁軸外套有可拆卸的不銹鋼防水罩；防水罩的不銹鋼管套下端部焊接有環狀板，與磁軛下端配合壓緊O型圈實現防水罩的下部密封；采用密封壓墊與磁軛上端間壓緊一O型圈實現防水罩的上部密封。

8.?如權利要求1所述的磁場旋轉磁控柱弧靶，其特征在于：在磁軛兩端安裝相對于中部長條形區域磁場強度略低的磁體；在磁軛中安裝3級磁場強度的磁體，其中最強的磁體被安裝在3路間隔的長條狀槽中，中等強度的磁體被安裝另外3路間隔的長條狀槽中，相對最弱的磁體被安裝在兩端。

9.?如權利要求1所述的磁場旋轉磁控柱弧靶，其特征在于：磁軛下端安放在推力球軸承上，推力球軸承又安裝在靶管下端內。