[實用新型]一種晶片角度測試儀

有效

• 申請號: 201520241953.7
• 申請日: 2015-04-20
• 公開（公告）號: CN204556535U
• 公開（公告）日: 2015-08-12
• 發明（設計）人: 甄偉;趙松彬;陳遠帆
• 申請（專利權）人: 丹東新東方晶體儀器有限公司
• 主分類號: G01N23/20
• 分類號: G01N23/20
• 代理公司: 沈陽利泰專利商標代理有限公司 21209
• 代理人: 李樞

技術領域

本實用新型涉及X射線晶片角度測試設備領域，特別涉及一種晶片角度測試儀。

背景技術

X射線晶片角度測試儀應用X射線衍射原理，通過采用測角方式對各種單晶晶片進行角度測量及晶向的確定。生長出來的各種直徑單晶晶錠先加工成晶，再加工成晶片，加工的晶片需要對晶片的單晶晶體角度精確地測定，同時要準確地判定晶體的晶向。傳統的晶片角度測試儀，由工作臺、上蓋板、大型高壓變壓器、電器柜、測角儀等組成，測量角度范圍窄、占地面積大、工作效率低、設備耗電量高、角度及晶向測量精度低，其X射線定向儀經晶片反射后被金屬管接收，直接由微安表顯示射線的峰值判定晶片的角度正確性及及晶向，由于X光波無效波長干擾，無法滿足各種規格單晶晶片材料角度及晶向精確測量。測量范圍小，測試及定向精度差，滿足不了各種高精度加工要求的單晶晶片材料生產的需要。

實用新型內容

本實用新型的目的是，提供一種能夠不同規格單晶晶片材料多角度測量，減少因基準面累加而產生的測量誤差，有效的提高被測晶體的測量精度，樣品臺可進行四方位調節和360°旋轉定向，延長樣品臺的使用壽命，可放置大尺寸超薄單晶晶片，方便測量的晶片角度的測試儀。

采用的技術方案是：

一種晶片角度測試儀，包括通訊接口、X射線發生器、光閘、壓簧、壓緊件、閃爍探測器、轉接板、射線保護罩、測角儀手輪、工作平臺、L型樣品臺、回轉軸、測角儀、支撐平臺和工件夾緊件，其特征在于：所述的X射線發生器和測角儀均固定在工作平臺的上端面上，光閘固定在X射線發生器的X射線發射口上，支撐平臺通過軸承轉設在測角儀的回轉軸上，支撐平臺能夠手動進行旋轉，進而帶動閃爍探測器，調整閃爍探測器位置，工件夾緊件的下端面固定在測角儀的回轉軸上，工件夾緊件的下端面和支撐平臺的上端面接觸，L型樣品臺固定在工件夾緊件的右側，工件夾緊件的上端開設有彈簧裝配孔，壓簧和壓緊件裝配在所述的彈簧裝配孔內，壓簧的一端抵頂在所述的彈簧裝配孔的孔底，壓簧的另一端抵頂在壓緊件的左端面上，壓緊件的右端面與L型樣品臺的右端面將被測晶片夾緊，閃爍探測器固定在轉接板的上端，轉接板的左端與支撐平臺固定連接，射線保護罩扣設在工作平臺上，閃爍探測器、轉接板、L型樣品臺、測角儀、支撐平臺和工件夾緊件均裝設在射線保護罩的內部，測角儀的操作面板通過射線保護罩的側面開設的口裸露在外，光閘與X射線發生器的連接端即光閘的左端設置在射線保護罩的外部，光閘的右端設置在射線保護罩的內部，X射線發生器設置有通訊接口，測角儀的輸入軸上裝設有測角儀手輪。

調整測角儀手輪改變放置在L型樣品臺被測晶片位置，X射線發生器產生的X光信號通過光閘，經可360°旋轉的L型樣品臺上放置的被測晶片反射后，被閃爍探測器接收，通過放大后X光信號的峰值、半峰高等參數信號找出被測晶片晶向及檢測晶體的缺陷。X光信號放大系統放大后也由通訊接口傳送至集控室集中進行數據處理。

上述的晶片角度測試儀裝設有數顯裝置，測角儀的傳動軸后端安裝有編碼器，由晶片角度測試儀內部安裝控制部分控制。

本實用新型的優點在于：

1、結構簡單、占用空間小、使用方便、檢測精度高等優點，解決了單晶晶片定向角度重合度低的難題。

2、編碼器與主軸（測角儀傳動軸）直聯，消除了其它傳動系統傳動角度間隙誤差，單晶晶片定向檢測精度高。

3、壓緊裝置將待測晶片壓緊在L型樣品臺工作表面上，?X光下進行四方位反復定向測量，工作臺360°旋轉，待測晶片能達到測量精度，提高了待測晶片的定向檢測精度。

附圖說明

圖1是本實用新型實施例的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型做進一步詳述。

一種晶片角度測試儀，包括通訊接口1、X射線發生器2、光閘3、壓簧4、壓緊件5、閃爍探測器7、轉接板8、射線保護罩9、測角儀手輪10、工作平臺11、L型樣品臺12、回轉軸13、測角儀14、支撐平臺15和工件夾緊件16，其特征在于：所述的X射線發生器2和測角儀14均固定在工作平臺11的上端面上，光閘3固定在X射線發生器2的X射線發射口上，支撐平臺15通過軸承轉設在測角儀14的回轉軸13上，工件夾緊件16的下端面固定在測角儀14的回轉軸13上，工件夾緊件16的下端面和支撐平臺15的上端面接觸，L型樣品臺12固定在工件夾緊件16的右側，工件夾緊件16的上端開設有彈簧裝配孔，壓簧4和壓緊件5裝配在所述的彈簧裝配孔內，壓簧4的一端抵頂在所述的彈簧裝配孔的孔底，壓簧4的另一端抵頂在壓緊件5的左端面上，壓緊件5的右端面與L型樣品臺12的右端面將被測晶片6夾緊，閃爍探測器7固定在轉接板8的上端，轉接板8的左端與支撐平臺15固定連接，射線保護罩9扣設在工作平臺11上，閃爍探測器7、轉接板8、L型樣品臺12、測角儀14、支撐平臺15和工件夾緊件16均裝設在射線保護罩9的內部，測角儀14的操作面板通過射線保護罩9的側面開設的口裸露在外，光閘3與X射線發生器2的連接端即光閘3的左端設置在射線保護罩9的外部，光閘3的右端設置在射線保護罩9的內部，X射線發生器2設置有通訊接口1，測角儀14的輸入軸上裝設有測角儀手輪10。