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[實用新型]一種晶片角度測試儀有效

專利信息
申請號: 201520241953.7 申請日: 2015-04-20
公開(公告)號: CN204556535U 公開(公告)日: 2015-08-12
發明(設計)人: 甄偉;趙松彬;陳遠帆 申請(專利權)人: 丹東新東方晶體儀器有限公司
主分類號: G01N23/20 分類號: G01N23/20
代理公司: 沈陽利泰專利商標代理有限公司 21209 代理人: 李樞
地址: 118002 遼寧*** 國省代碼: 遼寧;21
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 晶片 角度 測試儀
【權利要求書】:

1.一種晶片角度測試儀,包括通訊接口(1)、X射線發生器(2)、光閘(3)、壓簧(4)、壓緊件(5)、閃爍探測器(7)、轉接板(8)、射線保護罩(9)、測角儀手輪(10)、工作平臺(11)、L型樣品臺(12)、回轉軸(13)、測角儀(14)、支撐平臺(15)和工件夾緊件(16),其特征在于:所述的X射線發生器(2)和測角儀(14)均固定在工作平臺(11)的上端面上,光閘(3)固定在X射線發生器(2)的X射線發射口上,支撐平臺(15)通過軸承轉設在測角儀(14)的回轉軸(13)上,工件夾緊件(16)的下端面固定在測角儀(14)的回轉軸(13)上,工件夾緊件(16)的下端面和支撐平臺(15)的上端面接觸,L型樣品臺(12)固定在工件夾緊件(16)的右側,工件夾緊件(16)的上端開設有彈簧裝配孔,壓簧(4)和壓緊件(5)裝配在所述的彈簧裝配孔內,壓簧(4)的一端抵頂在所述的彈簧裝配孔的孔底,壓簧(4)的另一端抵頂在壓緊件(5)的左端面上,壓緊件(5)的右端面與L型樣品臺(12)的右端面將被測晶片(6)夾緊,閃爍探測器(7)固定在轉接板(8)的上端,轉接板(8)的左端與支撐平臺(15)固定連接,射線保護罩(9)扣設在工作平臺(11)上,閃爍探測器(7)、轉接板(8)、L型樣品臺(12)、測角儀(14)、支撐平臺(15)和工件夾緊件(16)均裝設在射線保護罩(9)的內部,測角儀(14)的操作面板通過射線保護罩(9)的側面開設的口裸露在外,光閘(3)與X射線發生器(2)的連接端即光閘(3)的左端設置在射線保護罩(9)的外部,光閘(3)的右端設置在射線保護罩(9)的內部,X射線發生器(2)設置有通訊接口(1),測角儀(14)的輸入軸上裝設有測角儀手輪(10)。

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