[實用新型]多晶硅還原爐的絕緣套筒有效
| 申請號: | 201520196908.4 | 申請日: | 2015-04-02 |
| 公開(公告)號: | CN204625194U | 公開(公告)日: | 2015-09-09 |
| 發明(設計)人: | 李剛 | 申請(專利權)人: | 新德隆特種陶瓷(大連)有限公司 |
| 主分類號: | C01B33/03 | 分類號: | C01B33/03 |
| 代理公司: | 北京聯瑞聯豐知識產權代理事務所(普通合伙) 11411 | 代理人: | 鄭自群 |
| 地址: | 116452 遼寧*** | 國省代碼: | 遼寧;21 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 多晶 還原 絕緣 套筒 | ||
1.一種絕緣套筒,用于套設在一多晶硅還原爐的電極體上,并位于該多晶硅還原爐的電機座內,其特征在于:該絕緣套筒包括絕緣筒體、連接設于該絕緣筒體中部的絕緣盤及連接設于該絕緣筒體頂端的絕緣頂緣,所述絕緣盤包括由該絕緣筒體中部的外周緣向外水平延伸的內環及由該內環的邊緣向下垂直延伸的外環,在絕緣套筒設于還原爐上時,所述絕緣筒體與絕緣盤及還原爐的底盤之間形成封閉空間,所述絕緣套筒為氮化硅絕緣套筒。
2.如權利要求1所述的絕緣套筒,其特征在于:所述內環與外環連接處的內外兩側分別形成圓弧形的倒角。
3.如權利要求1所述的絕緣套筒,其特征在于:所述絕緣筒體與絕緣盤及還原爐的底盤圍成一封閉空間。
4.如權利要求1所述的絕緣套筒,其特征在于:所述絕緣頂緣由絕緣筒體頂端的外周緣向外水平延伸。
5.如權利要求4所述的絕緣套筒,其特征在于:所述絕緣頂緣外周緣的最大邊界小于該絕緣盤的最大邊界。
6.如權利要求1至5中任何一項所述的絕緣套筒,其特征在于:所述絕緣盤的底端與還原爐的電極座之間還設有彈性墊圈。
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