[實(shí)用新型]一種用于磁控濺射鍍膜設(shè)備的傳送機(jī)臺(tái)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520171004.6
• 申請(qǐng)日: 2015-03-25
• 公開（公告）號(hào): CN204608151U
• 公開（公告）日: 2015-09-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 胡遠(yuǎn)遠(yuǎn);李靜益
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 浙江長(zhǎng)興漢能光伏有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/35
• 分類號(hào): C23C14/35
• 代理公司: 湖州金衛(wèi)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 33232
• 代理人: 趙衛(wèi)康

技術(shù)領(lǐng)域

????本實(shí)用新型涉及太陽(yáng)能生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及一種用于磁控濺射鍍膜設(shè)備的傳送機(jī)臺(tái)。

背景技術(shù)

磁控濺射鍍膜設(shè)備是把磁控原理與普通濺射技術(shù)相結(jié)合利用磁場(chǎng)的特殊分布控制電場(chǎng)中的電子運(yùn)動(dòng)軌跡，將離子引向欲被濺射的物質(zhì)制成的靶電極（陰極），并將靶材原子濺射出來使其沿著一定的方向運(yùn)動(dòng)到襯底并最終在襯底上沉積成膜，使得鍍膜厚度及均勻性可控，且制備的薄膜致密性好、粘結(jié)力強(qiáng)及純凈度高。磁控濺射鍍膜設(shè)備已成為制備太陽(yáng)能薄膜電池的重要設(shè)備，在太陽(yáng)能薄膜電池生產(chǎn)過程中，芯片經(jīng)由傳動(dòng)輪進(jìn)入設(shè)備內(nèi)部，完成鍍膜后通過傳送機(jī)構(gòu)繼續(xù)流入下工序，例如：申請(qǐng)?zhí)?01120348080.1所述的一種硅片傳送機(jī)構(gòu)，包括連接傳送帶、至少三個(gè)支撐件、至少三個(gè)皮帶輪，其中，所述連接傳送帶由所述皮帶輪托起，在所述皮帶輪的帶動(dòng)下傳送硅片，所述支撐件與所述皮帶輪相連，所述支撐件用于支撐所述連接傳送帶的平衡，其缺點(diǎn)在于該傳送機(jī)構(gòu)在輸送芯片時(shí)容易傾斜發(fā)生便宜碰撞，使芯片發(fā)生形變或破損。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型目的之一是為了克服技術(shù)的不足，提供了一種能夠在傳送過程中保護(hù)芯片并校正芯片傳動(dòng)方向的用于磁控濺射鍍膜設(shè)備的傳送機(jī)臺(tái)。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案：一種用于磁控濺射鍍膜設(shè)備的傳送機(jī)臺(tái)，所述傳送機(jī)臺(tái)設(shè)置在磁控濺射鍍膜設(shè)備的出料口，包括傳送裝置，所述傳送裝置包括機(jī)架和設(shè)置在機(jī)架上的傳動(dòng)部件，所述傳送裝置的兩側(cè)設(shè)有導(dǎo)向裝置，所述導(dǎo)向裝置位于傳送裝置的上方，所述導(dǎo)向裝置包括導(dǎo)向部件和用于安裝導(dǎo)向部件的導(dǎo)向架，所述導(dǎo)向架連接有緩沖裝置，所述緩沖裝置包括固定在機(jī)架上的支架、通過支架支撐在傳送裝置上方的緩沖架以及設(shè)置在緩沖架和導(dǎo)向架之間的緩沖部件。

本實(shí)用新型通過在傳動(dòng)裝置的兩側(cè)設(shè)置導(dǎo)向裝置，運(yùn)送芯片時(shí)芯片在導(dǎo)向裝置的導(dǎo)向作用下順利地運(yùn)送到下一工序，防止芯片走偏，同時(shí)導(dǎo)向裝置連接有緩沖裝置，當(dāng)芯片走偏與導(dǎo)向裝置碰撞時(shí)，產(chǎn)生的沖擊力由緩沖裝置進(jìn)行吸收，起到緩沖作用，保護(hù)芯片不被損壞，同時(shí)緩沖裝置將沖擊力轉(zhuǎn)換為彈性勢(shì)能，反彈給芯片，修正芯片的移動(dòng)方向。

作為優(yōu)選，所述導(dǎo)向部件包括導(dǎo)輪、轉(zhuǎn)軸和頂緊塊，所述導(dǎo)輪轉(zhuǎn)動(dòng)連接在轉(zhuǎn)軸上，所述頂緊塊與轉(zhuǎn)軸螺紋配合連接，所述轉(zhuǎn)軸的端部設(shè)有卡接塊，導(dǎo)向架上設(shè)有卡槽，所述卡接塊卡接在卡槽內(nèi)，卡槽上設(shè)有阻擋卡接塊移出卡槽的擋邊，所述轉(zhuǎn)軸通過旋轉(zhuǎn)頂緊塊使頂緊塊和卡接塊壓住擋邊固定在導(dǎo)向架上。

此結(jié)構(gòu)可以方便將導(dǎo)向部件的安裝、拆卸以及調(diào)整導(dǎo)向部件之間的間距，只需將卡接塊卡接在卡槽內(nèi)約束轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，通過旋緊頂緊塊使卡接塊和頂緊塊夾緊卡槽的擋邊，從而固定導(dǎo)向部件在導(dǎo)向架上的位置。

作為優(yōu)選，所述導(dǎo)向架上設(shè)有導(dǎo)桿，所述緩沖架上設(shè)有與所述導(dǎo)桿配合的導(dǎo)孔。

作為優(yōu)選，所述緩沖部件為彈簧或彈性片，能夠吸收芯片的沖擊力防止芯片破碎，并將沖擊力轉(zhuǎn)換為彈性勢(shì)能，通過反作用力來修正芯片的移動(dòng)方向。

作為優(yōu)選，所述傳動(dòng)部件包括傳動(dòng)軸和套設(shè)在傳動(dòng)軸上的傳動(dòng)輪，所述傳動(dòng)輪間隔設(shè)置在傳動(dòng)軸上。

作為優(yōu)選，所述傳動(dòng)輪設(shè)有將傳動(dòng)輪套接在傳動(dòng)軸上的套接部，所述套接部上設(shè)有定位件。

作為優(yōu)選，所述傳動(dòng)輪輪面設(shè)有緩沖圈，減輕運(yùn)送過程中芯片振動(dòng)，降低噪音。

作為優(yōu)選，所述傳動(dòng)輪上設(shè)有輪槽，所述緩沖圈卡接在輪槽內(nèi)。

作為優(yōu)選，所述傳送機(jī)臺(tái)上還設(shè)有距離控制裝置，所述距離控制裝置用于控制位于傳送裝置兩側(cè)的導(dǎo)向架之間的間距，根據(jù)不同芯片寬度隨時(shí)調(diào)整導(dǎo)向架的間距，使導(dǎo)向架與芯片保持一個(gè)適宜的間距，在保證芯片順利運(yùn)送的情況下減少偏移量，減小沖擊力。

本實(shí)用新型具有如下有益效果：本實(shí)用新型能夠順利地將芯片運(yùn)送到下一工序，防止芯片走偏，當(dāng)芯片走偏與導(dǎo)向裝置碰撞時(shí)，產(chǎn)生的沖擊力由緩沖裝置進(jìn)行吸收，起到緩沖作用，保護(hù)芯片不被損壞，同時(shí)緩沖裝置將沖擊力轉(zhuǎn)換為彈性勢(shì)能反彈給芯片，修正芯片的移動(dòng)方向。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例的側(cè)視圖；

圖3為圖1中A處的局部放大圖；

圖4為圖2中B處的局部放大圖；

圖5為本實(shí)用新型實(shí)施例中導(dǎo)向裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6為本實(shí)用新型實(shí)施例中傳動(dòng)輪的結(jié)構(gòu)示意圖；