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[實用新型]一種用于磁控濺射鍍膜設備的傳送機臺有效

專利信息
申請號: 201520171004.6 申請日: 2015-03-25
公開(公告)號: CN204608151U 公開(公告)日: 2015-09-02
發明(設計)人: 胡遠遠;李靜益 申請(專利權)人: 浙江長興漢能光伏有限公司
主分類號: C23C14/35 分類號: C23C14/35
代理公司: 湖州金衛知識產權代理事務所(普通合伙) 33232 代理人: 趙衛康
地址: 313100 浙江省湖州*** 國省代碼: 浙江;33
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 用于 磁控濺射 鍍膜 設備 傳送 機臺
【權利要求書】:

1.一種用于磁控濺射鍍膜設備的傳送機臺,所述傳送機臺設置在磁控濺射鍍膜設備的出料口,包括傳送裝置,所述傳送裝置包括機架(1)和設置在機架(1)上的傳動部件(2),其特征在于:所述傳送裝置的兩側設有導向裝置,所述導向裝置位于傳送裝置的上方,所述導向裝置包括導向部件(4)和用于安裝導向部件(4)的導向架(3),所述導向架(3)連接有緩沖裝置,所述緩沖裝置包括固定在機架(1)上的支架(5)、通過支架(5)支撐在傳送裝置上方的緩沖架(6)以及設置在緩沖架(6)和導向架(3)之間的緩沖部件(7)。

2.根據權利要求1所述的一種用于磁控濺射鍍膜設備的傳送機臺,其特征在于:所述導向部件(4)包括導輪(41)、轉軸(42)和頂緊塊(43),所述導輪(4)轉動連接在轉軸(42)上,所述頂緊塊(43)與轉軸(42)螺紋配合連接,所述轉軸(42)的端部設有卡接塊(44),導向架(3)上設有卡槽(31),所述卡接塊(44)卡接在卡槽(31)內,卡槽(31)上設有阻擋卡接塊(44)移出卡槽的擋邊(32),所述轉軸(42)通過旋轉頂緊塊(43)使頂緊塊(43)和卡接塊(44)壓住擋邊(33)固定在導向架(3)上。

3.根據權利要求2所述的一種用于磁控濺射鍍膜設備的傳送機臺,其特征在于:所述導向架(3)上設有導桿(33),緩沖架(6)上設有與所述導桿(33)配合的導孔。

4.根據權利要求1所述的一種用于磁控濺射鍍膜設備的傳送機臺,其特征在于:所述緩沖部件(7)為彈簧或彈性片。

5.根據權利要求1所述的一種用于磁控濺射鍍膜設備的傳送機臺,其特征在于:所述傳動部件(2)包括傳動軸(21)和套設在傳動軸(21)上的傳動輪(22),所述傳動輪(22)間隔設置在傳動軸(21)上。

6.根據權利要求5所述的一種用于磁控濺射鍍膜設備的傳送機臺,其特征在于:所述傳動輪(22)設有將傳動輪(22)套接在傳動軸(21)上的套接部(221),所述套接部(221)上設有定位件(222)。

7.根據權利要求6所述的一種用于磁控濺射鍍膜設備的傳送機臺,其特征在于:所述傳動輪(22)輪面設有緩沖圈(223)。

8.根據權利要求7所述的一種用于磁控濺射鍍膜設備的傳送機臺,其特征在于:所述傳動輪(22)上設有輪槽(224),所述緩沖圈(223)卡接在輪槽(224)內。

9.根據權利要求1所述的一種用于磁控濺射鍍膜設備的傳送機臺,其特征在于:所述傳送機臺上還設有距離控制裝置(8),所述距離控制裝置(8)用于控制位于傳送裝置兩側的導向架(3)之間的間距。

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