[實(shí)用新型]VOC樣品分析裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520168725.1
• 申請日: 2015-03-24
• 公開（公告）號: CN204479601U
• 公開（公告）日: 2015-07-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 施燕莉
• 申請（專利權(quán)）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: G01N35/00
• 分類號: G01N35/00;G01N35/10
• 代理公司: 上海光華專利事務(wù)所 31219
• 代理人: 余明偉

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體工藝設(shè)備領(lǐng)域，特別是涉及一種VOC樣品分析裝置。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體集成電路制造工藝中，各個(gè)工藝流程對生產(chǎn)車間的環(huán)境條件的要求十分嚴(yán)格。通常半導(dǎo)體制造廠會對生產(chǎn)流程中各個(gè)車間的環(huán)境參數(shù)進(jìn)行多方面的監(jiān)控，并制定相對應(yīng)的參數(shù)范圍，一旦這些環(huán)境參數(shù)不在工藝標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的數(shù)值范圍內(nèi)，就會容易導(dǎo)致產(chǎn)品產(chǎn)生缺陷，影響器件的良率和可靠性。在半導(dǎo)體的銅制備工藝區(qū)，經(jīng)常需要取VOC(揮發(fā)性有機(jī)溶劑)樣品進(jìn)行分析檢測，通常的做法為先將VOC樣品收集至樣品瓶內(nèi)，然后逐一對樣品瓶內(nèi)的VOC樣品進(jìn)行分析。

然而，現(xiàn)有技術(shù)中對VOC樣品進(jìn)行分析時(shí)，需要分別逐一對每個(gè)樣品瓶內(nèi)的VOC樣品進(jìn)行分析，且分析完一個(gè)樣品瓶內(nèi)的VOC樣品，需要人工更換另一個(gè)樣品瓶才能進(jìn)行下一個(gè)VOC樣品的分析，這使得整個(gè)分析流程耗時(shí)較長，導(dǎo)致了VOC樣品分析效率及樣品瓶使用效率比較低。同時(shí)，該分析過程中，很多操作均需要人工進(jìn)行完成，不僅大大浪費(fèi)了人力，還容易因人為不良操作導(dǎo)致分析結(jié)果不夠精確的問題。而VOC樣品分析的時(shí)效性和準(zhǔn)確性對生產(chǎn)線上的實(shí)際操作具有重要的警示意義，及時(shí)發(fā)現(xiàn)環(huán)境中的異常情況，對于銅制程的正常運(yùn)作非常重要。

因此，提供一種改進(jìn)型的VOC樣品分析裝置非常必要。

實(shí)用新型內(nèi)容

鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型的目的在于提供一種VOC樣品分析裝置，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中由于VOC樣品分析取樣操作比較繁瑣而導(dǎo)致的分析效率及樣品瓶使用效率低下的問題，以及由于人為不良操作導(dǎo)致的分析結(jié)構(gòu)不夠準(zhǔn)確的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實(shí)用新型提供一種VOC樣品分析裝置，所述VOC樣品分析裝置至少包括：控制管道、氮?dú)庠础⒍鄠€(gè)待分析樣品源、連接管道、開關(guān)閥、流量控制器、樣品分析儀器及傳感器；其中，所述氮?dú)庠醇懊總€(gè)所述待分析樣品源分別通過一根所述連接管道與所述控制管道獨(dú)立連接；所述開關(guān)閥位于所述氮?dú)庠醇八龃治鰳悠吩磁c所述控制管道的連接處，適于控制所述氮?dú)庠醇八龃治鰳悠吩磁c所述控制管道的連通與斷開；所述流量控制器位于所述氮?dú)庠醇八龃治鰳悠吩磁c所述控制管道的連接處，適于量測并控制所述氮?dú)庠粗械牡獨(dú)饣虼治鰳悠吩粗械拇治鰳悠愤M(jìn)入所述控制管道的流量；所述樣品分析儀器通過所述連接管道與所述控制管道相連接；所述傳感器與所述流量控制器、所述開關(guān)閥及所述樣品分析儀器電性連接，適于控制所述開關(guān)閥及所述樣品分析儀器作動(dòng)。

作為本實(shí)用新型的VOC樣品分析裝置的一種優(yōu)選方案，所述氮?dú)庠礊檠b有氮?dú)獾牡獨(dú)馄浚凰龃治鰳悠吩礊檠b有待分析樣品的樣品瓶。

作為本實(shí)用新型的VOC樣品分析裝置的一種優(yōu)選方案，所述VOC樣品分析裝置還包括接口裝置，適于將所述氮?dú)馄考八鰳悠菲颗c所述連接管道相連接；所述接口裝置為內(nèi)壁經(jīng)過鈍化處理的不銹鋼接口裝置。

作為本實(shí)用新型的VOC樣品分析裝置的一種優(yōu)選方案，所述VOC樣品分析裝置還包括固定架，所述固定架內(nèi)包括用于放置所述氮?dú)馄考八鰳悠菲康姆胖脤樱凰龇胖脤映识鄬悠叫蟹植肌?!-- SIPO -->

作為本實(shí)用新型的VOC樣品分析裝置的一種優(yōu)選方案，所述控制管道沿所述固定架周邊及所述放置層分布。

作為本實(shí)用新型的VOC樣品分析裝置的一種優(yōu)選方案，所述開關(guān)閥為三通閥。

作為本實(shí)用新型的VOC樣品分析裝置的一種優(yōu)選方案，所述流量控制器包括一LED顯示屏，所述LED顯示屏裸露于所述控制管道的外側(cè)，適于顯示流經(jīng)所述流量控制器的氮?dú)饣虼治鰳悠返牧髁俊?/p>

作為本實(shí)用新型的VOC樣品分析裝置的一種優(yōu)選方案，所述連接管道及所述控制管道均為內(nèi)壁經(jīng)過鈍化處理的不銹鋼管道。

作為本實(shí)用新型的VOC樣品分析裝置的一種優(yōu)選方案，所述VOC樣品分析裝置還包括排氣管道及排氣閥；所述排氣管道與所述控制管道相連接，所述排氣閥位于所述排氣管道與所述控制管道的連接處；所述排氣閥與所述傳感器電性連接，適于在所述傳感器的控制下實(shí)現(xiàn)所述排氣管道與所述控制管道的連通與斷開。

作為本實(shí)用新型的VOC樣品分析裝置的一種優(yōu)選方案，所述VOC樣品分析裝置還包括壓力偵測器，所述壓力偵測器位于所述控制管道內(nèi)，適于實(shí)時(shí)偵測所述控制管道內(nèi)的壓力；且所述壓力偵測器與所述傳感器相連通，適于在所述壓力偵測器偵測到的控制管道內(nèi)壓力超過預(yù)定值時(shí)觸發(fā)所述傳感器，所述傳感器控制所述排氣閥打開所述排氣管道泄壓。