[實(shí)用新型]VOC樣品分析裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520168725.1
• 申請(qǐng)日: 2015-03-24
• 公開（公告）號(hào): CN204479601U
• 公開（公告）日: 2015-07-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 施燕莉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中芯國(guó)際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號(hào): G01N35/00
• 分類號(hào): G01N35/00;G01N35/10
• 代理公司: 上海光華專利事務(wù)所 31219
• 代理人: 余明偉

1.一種VOC樣品分析裝置，其特征在于，至少包括：控制管道、氮?dú)庠础⒍鄠€(gè)待分析樣品源、連接管道、開關(guān)閥、流量控制器、樣品分析儀器及傳感器；

其中，所述氮?dú)庠醇懊總€(gè)所述待分析樣品源分別通過(guò)一根所述連接管道與所述控制管道獨(dú)立連接；

所述開關(guān)閥位于所述氮?dú)庠醇八龃治鰳悠吩磁c所述控制管道的連接處，適于控制所述氮?dú)庠醇八龃治鰳悠吩磁c所述控制管道的連通與斷開；

所述流量控制器位于所述氮?dú)庠醇八龃治鰳悠吩磁c所述控制管道的連接處，適于量測(cè)并控制所述氮?dú)庠粗械牡獨(dú)饣虼治鰳悠吩粗械拇治鰳悠愤M(jìn)入所述控制管道的流量；

所述樣品分析儀器通過(guò)所述連接管道與所述控制管道相連接；

所述傳感器與所述流量控制器、所述開關(guān)閥及所述樣品分析儀器電性連接，適于控制所述開關(guān)閥及所述樣品分析儀器作動(dòng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的VOC樣品分析裝置，其特征在于：所述氮?dú)庠礊檠b有氮?dú)獾牡獨(dú)馄浚凰龃治鰳悠吩礊檠b有待分析樣品的樣品瓶。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的VOC樣品分析裝置，其特征在于：所述VOC樣品分析裝置還包括接口裝置，適于將所述氮?dú)馄考八鰳悠菲颗c所述連接管道相連接；所述接口裝置為內(nèi)壁經(jīng)過(guò)鈍化處理的不銹鋼接口裝置。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的VOC樣品分析裝置，其特征在于：所述VOC樣品分析裝置還包括固定架，所述固定架內(nèi)包括用于放置所述氮?dú)馄考八鰳悠菲康姆胖脤樱凰龇胖脤映识鄬悠叫蟹植肌?/p>

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的VOC樣品分析裝置，其特征在于：所述控制管道沿所述固定架周邊及所述放置層分布。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的VOC樣品分析裝置，其特征在于：所述開關(guān)閥為三通閥。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的VOC樣品分析裝置，其特征在于：所述流量控制器包括一LED顯示屏，所述LED顯示屏裸露于所述控制管道的外側(cè)，適于顯示流經(jīng)所述流量控制器的氮?dú)饣虼治鰳悠返牧髁俊?/p>

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的VOC樣品分析裝置，其特征在于：所述連接管道及所述控制管道均為內(nèi)壁經(jīng)過(guò)鈍化處理的不銹鋼管道。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的VOC樣品分析裝置，其特征在于：所述VOC樣品分析裝置還包括排氣管道及排氣閥；所述排氣管道與所述控制管道相連接，所述排氣閥位于所述排氣管道與所述控制管道的連接處；所述排氣閥與所述傳感器電性連接，適于在所述傳感器的控制下實(shí)現(xiàn)所述排氣管道與所述控制管道的連通與斷開。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的VOC樣品分析裝置，其特征在于：所述VOC樣品分析裝置還包括壓力偵測(cè)器，所述壓力偵測(cè)器位于所述控制管道內(nèi)，適于實(shí)時(shí)偵測(cè)所述控制管道內(nèi)的壓力；且所述壓力偵測(cè)器與所述傳感器相連通，適于在所述壓力偵測(cè)器偵測(cè)到的控制管道內(nèi)壓力超過(guò)預(yù)定值時(shí)觸發(fā)所述傳感器，所述傳感器控制所述排氣閥打開所述排氣管道泄壓。