[實用新型]檢測發光器件混色缺陷的裝置有效
| 申請號： | 201520154803.2 | 申請日： | 2015-03-18 |
| 公開（公告）號： | CN204596753U | 公開（公告）日： | 2015-08-26 |
| 發明（設計）人： | 顏圣佑;許嘉哲;吳思宗 | 申請（專利權）人： | 上海和輝光電有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/66 | 分類號： | H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海申新律師事務所 31272 | 代理人： | 吳俊 |
| 地址： | 201506 上海市金山區*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 檢測 發光 器件 缺陷 裝置 | ||
1.一種檢測發光器件混色的裝置，其特征在于，發光器件設置有發光區和背材區，所述裝置包括：
機臺，所述發光器件固定設置在所述機臺上；
激勵光源，設置于所述機臺的上方，照射所述發光器件，以激勵該發光器件發光；
有色光源，設置于所述機臺的上方，照射所述發光器件，以濾除所述背材區產生的干擾光線；以及
數字圖形獲取裝置，設置于所述發光器件的上方，以獲取并分析所述發光器件發光時的數字圖形。
2.如權利要求1所述的檢測發光器件混色的裝置，其特征在于，所述發光器件為OLED器件。
3.如權利要求2所述的檢測發光器件混色的裝置，其特征在于，所述OLED器件包括：
有機發光層，具有發射光線的正面及相對于該正面的背面；
背板玻璃，設置于所述有機發光層的背面；
透光玻璃，設置于所述有機發光層的正面；
其中，所述發光區設置于所述有機發光層上。
4.如權利要求1所述的檢測發光器件混色的裝置，其特征在于，?所述機臺為自動光學檢測儀。
5.如權利要求1所述的檢測發光器件混色的裝置，其特征在于，所述激勵光源為紫外線光源。
6.如權利要求1所述的檢測發光器件混色的裝置，其特征在于，所述有色光源發射光的波長與所述激勵光源發射光的波長不同。
7.如權利要求6所述的檢測發光器件混色的裝置，其特征在于，所述有色光源發射光的波長及強度可調。
8.如權利要求6所述的檢測發光器件混色的裝置，其特征在于，所述有色光源包括：
可見光源，用于發射包含有與所述背材區發射的光線互補的光線；
濾鏡，設置在所述可見光源與所述發光器件之間；
其中，所述濾鏡對所述可見光源照射至所述發光器件上的光線進行濾除，僅允許與所述背材區發射的光線互補的光線照射至所述發光器件上。
9.如權利要求1所述的檢測發光器件混色的裝置，其特征在于，所述數字圖形獲取裝置包括：
電荷耦合器件，固定設置在所述發光器件的上方，以獲取所述發光器件發射光時的數字圖形。
10.如權利要求9所述的檢測發光器件混色的裝置，其特征在于，所述數字圖形獲取裝置還包括：
運算分析模塊，與所述電荷耦合器件連接，以獲取并運算分析所述數字圖形。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
