[實(shí)用新型]一種MEMS麥克風(fēng)單體有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201520146014.4 | 申請(qǐng)日： | 2015-03-13 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN204578775U | 公開（公告）日： | 2015-08-19 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 葉菁華 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 鈺太芯微電子科技（上海）有限公司;鈺太科技股份有限公司 |
| 主分類號(hào)： | H04R19/04 | 分類號(hào)： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 上海申新律師事務(wù)所 31272 | 代理人： | 俞滌炯 |
| 地址： | 200120 上海市浦東*** | 國(guó)省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 mems 麥克風(fēng) 單體 | ||
1.一種MEMS麥克風(fēng)單體，其特征在于，包括
一具有聲學(xué)通孔的外蓋，所述外蓋的內(nèi)側(cè)通過一絕緣裝置連接設(shè)置有復(fù)數(shù)個(gè)金屬觸點(diǎn)；
一基板與所述外蓋構(gòu)成聲學(xué)腔體，其中，于所述聲學(xué)腔體中包括
一MEMS換能器，設(shè)置于所述聲學(xué)通孔的內(nèi)側(cè)；
一ASIC片，設(shè)置于所述外蓋的內(nèi)側(cè)，與所述MEMS換能器通過所述金屬觸點(diǎn)鍵合引線連接，所述ASIC片的信號(hào)輸出端連接所述金屬觸點(diǎn)，并通過所述金屬觸點(diǎn)引出后與所述麥克風(fēng)單體的外部焊盤電連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS麥克風(fēng)單體，其特征在于，所述MEMS換能器的振動(dòng)膜對(duì)準(zhǔn)所述聲學(xué)通孔，所述振動(dòng)膜于所述聲學(xué)腔體內(nèi)形成的密封空間構(gòu)成所述聲學(xué)背腔。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS麥克風(fēng)單體，其特征在于，所述金屬觸點(diǎn)呈階梯型排列于所述絕緣裝置上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS麥克風(fēng)單體，其特征在于，所述外蓋由銅材料制成。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS麥克風(fēng)單體，其特征在于，所述絕緣裝置于所述外蓋的內(nèi)側(cè)面注塑工藝形成，所述金屬觸點(diǎn)形成于所述絕緣裝置上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS麥克風(fēng)單體，其特征在于，所述金屬觸點(diǎn)由金屬?gòu)椘纬伞?/p>
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的麥克風(fēng)單體，其特征在于，復(fù)數(shù)個(gè)所述金屬觸點(diǎn)匹配所述MEMS換能器、所述ASIC片的輸出端。
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