[實(shí)用新型]一種能厚度精密加工的半導(dǎo)體用鋁基板平面切削加工裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520135411.1
• 申請(qǐng)日: 2015-03-10
• 公開（公告）號(hào): CN204565313U
• 公開（公告）日: 2015-08-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 表基弘
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 阿博株式會(huì)社
• 主分類號(hào): B23D79/00
• 分類號(hào): B23D79/00
• 代理公司: 北京科億知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11350
• 代理人: 蘇雪雪

1.一種能厚度精密加工的半導(dǎo)體用鋁基板平面切削加工裝置，其特征在于，包括：

底部框架(10)，其沿被加工體(S)的移送方向安裝；

水平導(dǎo)軌(20)，其沿著所述底部框架(10)與底部框架(10)相互平行地安裝；

水平移送塊(30)，其沿著所述水平導(dǎo)軌(20)移送被加工體(S)；

真空吸附板部(40)，其配備于所述水平移送塊(30)的上部，真空吸附固定平板形被加工體(S)；

豎直框架(50)，其在所述底部框架(10)的前側(cè)向上豎直地設(shè)立；

旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部(60)，其包括用于使平面切削部(70)旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)(M1)，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部(60)直接或通過豎直升降塊(120)結(jié)合于所述豎直框架(50)上；

平面切削部(70)，其在旋轉(zhuǎn)體(71)的一端固定有切刀(75)，在借助于所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部(60)而旋轉(zhuǎn)的同時(shí)切削所述被加工體(S)的上面；

伸縮套部(80)，其由對(duì)位于所述水平導(dǎo)軌(20)前側(cè)的前側(cè)邊界壁(25)與水平移送塊(30)的前側(cè)之間進(jìn)行密閉的可伸縮的第1伸縮套(81)、對(duì)位于所述水平導(dǎo)軌(20)后側(cè)的后側(cè)邊界壁(26)與水平移送塊(30)的后側(cè)之間進(jìn)行密閉的可伸縮的第2伸縮套(82)構(gòu)成；

控制部(90)，其控制真空吸附板(40)與旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部(60)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的能厚度精密加工的半導(dǎo)體用鋁基板平面切削加工裝置，其特征在于，

在所述豎直框架(50)上沿豎直方向形成平行的豎直導(dǎo)軌(110)；

沿著所述豎直導(dǎo)軌(110)，豎直升降塊(120)借助于伺服馬達(dá)(M2)而上下升降；

旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部(60)一體結(jié)合于所述豎直升降塊(120)上；

如果調(diào)節(jié)所述豎直導(dǎo)軌(110)的升降位置，那么，平面切削部(70)?自動(dòng)進(jìn)行調(diào)節(jié)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的能厚度精密加工的半導(dǎo)體用鋁基板平面切削加工裝置，其特征在于，

還包括用于在所述真空吸附板部(40)上設(shè)置被加工體(S)的初始位置的第1引導(dǎo)部(130)與第2引導(dǎo)部(140)；

所述第1引導(dǎo)部(130)安裝于真空吸附板部(40)的后側(cè)，

包括：第1空壓缸(131)，其直接或通過后側(cè)邊界壁(26)支撐于底部框架(10)上；

第1引導(dǎo)主體(133)，其借助于所述第1空壓缸(131)的活塞而前進(jìn)、后退；

第1凸出棒(134)，其從所述第1引導(dǎo)主體(133)的前端向前方凸出，寬度比第1引導(dǎo)主體(133)窄；

安裝于真空吸附板部(40)左、右兩側(cè)中一者上的所述第2引導(dǎo)部(140)包括：

第2空壓缸(141)，其直接或通過支撐體而支撐于底部框架(10)上；

第2引導(dǎo)主體(143)，其借助于所述第2空壓缸(141)的活塞而前進(jìn)、后退；

第1一側(cè)凸出棒(144a)，其從所述第2引導(dǎo)主體(143)凸出，寬度比第2引導(dǎo)主體(143)窄；

第2另一側(cè)凸出棒(144b)，其從所述第2引導(dǎo)主體(143)凸出，寬度比第2引導(dǎo)主體(143)窄，且與所述第1一側(cè)凸出棒(144a)平行地在其它位置隔開地凸出；

所述第2引導(dǎo)主體(143)的往復(fù)方向與所述第1引導(dǎo)主體(133)的前進(jìn)后退方向相垂直。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的能厚度精密加工的半導(dǎo)體用鋁基板平面切削加工裝置，其特征在于，

所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部(60)包括：

驅(qū)動(dòng)齒輪(G1)，其直接連接驅(qū)動(dòng)馬達(dá)(M1)；

從動(dòng)齒輪(G2)，其通過皮帶(V)由所述驅(qū)動(dòng)齒輪(G1)驅(qū)動(dòng)而進(jìn)行旋轉(zhuǎn)；

旋轉(zhuǎn)軸(61)，其借助于所述從動(dòng)齒輪(G2)而旋轉(zhuǎn)；

旋轉(zhuǎn)板(65)，其一體地結(jié)合于所述旋轉(zhuǎn)軸(61)的上端上；

傳感器槽(66)，其在所述旋轉(zhuǎn)板(65)的邊緣上形成，所述傳感器槽(66)所呈夾角為3～30°；

用于感知所述傳感器槽(66)的旋轉(zhuǎn)板位置傳感器(68)；

所述平面切削部(70)包括：

旋轉(zhuǎn)體(71)，其中心部(71a)結(jié)合于所述旋轉(zhuǎn)軸(61)的下端上，兩側(cè)翼部(71b)向左右兩側(cè)延長(zhǎng)；

切刀(75)，其加裝于所述兩側(cè)翼部(71b)中的至少一個(gè)翼部的末端下部的旋轉(zhuǎn)方向側(cè)。