[實(shí)用新型]一種選擇性除膜裝置及除膜頭

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520126900.0
• 申請日: 2015-03-05
• 公開（公告）號: CN204773962U
• 公開（公告）日: 2015-11-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張建衛(wèi);盧泓;董向陽;任華進(jìn)
• 申請（專利權(quán)）人: 南京第壹有機(jī)光電有限公司
• 主分類號: B32B38/10
• 分類號: B32B38/10
• 代理公司: 南京正聯(lián)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32243
• 代理人: 盧霞

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種在涂布工藝中進(jìn)行選擇性除膜或者配合涂布設(shè)備實(shí)現(xiàn)選擇性涂布的選擇性除膜裝置及除膜頭，屬于涂布技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體、太陽能電池、液晶面板、LED照明、OLED顯示、OLED照明等領(lǐng)域的生產(chǎn)工藝中存在一些精密涂布工藝，這些涂布工藝不同于一般的整面涂布工藝而是需要進(jìn)行圖案涂布，即涂布出來的薄膜是按照一定圖案分布排列的，通常稱該類涂布為選擇性涂布或者選擇性成膜。以O(shè)LED量產(chǎn)工藝為例就存在以下一些選擇性涂布工藝，例如用狹縫涂布機(jī)來進(jìn)行液態(tài)空穴注入層薄膜的涂布，用旋涂設(shè)備來進(jìn)行內(nèi)光提取層的涂布，用噴涂設(shè)備來進(jìn)行內(nèi)光提取層的涂布。量產(chǎn)中通常是用大尺寸玻璃例如尺寸為370mmX470mm的基板進(jìn)行涂布，最后切割成需要的小尺寸燈片，例如100mmX50mm,100mmX100mm等。這就要求前面提到的各種涂布需要進(jìn)行圖案涂布來與最終的燈片尺碼相一致案，否則就會對量產(chǎn)過程中其它工序造成影響。例如液態(tài)空穴注入層薄膜涂布如果沒有圖案涂布，那么會對后續(xù)封裝工序造成影響，影響最終燈片封裝的可靠性導(dǎo)致燈片發(fā)生漏氣。再例如外光提取層薄膜的涂布如果沒有圖案涂布，就會對后續(xù)的裂片工序造成影響，導(dǎo)致無法完成裂片。所以選擇性涂布工藝是OLED量產(chǎn)中非常重要且必不可少的工藝。現(xiàn)有的涂布設(shè)備和技術(shù)都因?yàn)楦髯缘木窒逕o法很穩(wěn)定的實(shí)現(xiàn)選擇性涂布。本實(shí)用新型就是來解決這個(gè)問題，實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的，精準(zhǔn)的選擇性除膜配合各涂布工藝實(shí)現(xiàn)選擇性涂布。

現(xiàn)有的技術(shù)主要的選擇性涂布方案主要有以下幾種。第一種用超聲噴涂設(shè)備在Mask的輔助下實(shí)現(xiàn)圖案涂布，在超聲噴涂之前在基板上提前放置好與相應(yīng)圖案相對應(yīng)的Mask，不需要成膜的地方利用Mask進(jìn)行阻擋，最終獲得相應(yīng)圖案的薄膜。這種方案最大的缺點(diǎn)就是最終圖案薄膜的邊緣會發(fā)生厚度不均勻，以厚度為1um的薄膜為例，常會造成邊緣0.5-5mm區(qū)域內(nèi)的薄膜厚度遠(yuǎn)大于1um，這在很多精密涂布工藝中是不允許的。

US6548115公開了一種涂布裝置和方式，該系統(tǒng)利用在涂布刀頭中添加一個(gè)特定圖案的薄片來部分阻止溶液的流出，最終獲得一定圖案的薄膜，這是在精密涂布領(lǐng)域常用的另一種方案。這種圖案涂布方式最大的缺點(diǎn)就是每一個(gè)圖案都需要一個(gè)特定對應(yīng)圖案的薄片來幫助實(shí)現(xiàn)，這使得在大批量生產(chǎn)過程中不能實(shí)現(xiàn)多種圖案成膜的來回切換，大大限制了其圖案涂布的應(yīng)用功能。而且這種通過刀頭中添加薄片的方式只能夠很好地實(shí)現(xiàn)與刀頭運(yùn)動方向垂直方向的圖案成膜，而刀頭運(yùn)動方向的圖案還需要通過控制刀頭的選擇性收刀和落刀來控制，這使得該方向的圖案邊緣有堆積，邊緣成膜厚度較中間更厚。這種方案對成膜材料的粘度非常敏感，對粘度在1-20X10-3Pa.S內(nèi)的材料的圖案控制顯得尤為困難，以目標(biāo)厚度為100nm的薄膜為例，以這種方案實(shí)現(xiàn)的圖案邊緣常在目標(biāo)位置±2mm左右的范圍內(nèi)的薄膜厚度較目標(biāo)厚度有±20％的不均勻，這在很多涂布應(yīng)用中是不允許的。

還有一種圖案涂布方案的思路是先對基板進(jìn)行整面涂布，然后用其它方法將不需要的薄膜除去，最終實(shí)現(xiàn)圖案涂布。現(xiàn)有一種裝置是利用一個(gè)液體噴頭和一個(gè)真空吸管按照一定角度固定，利用機(jī)械傳動控制其運(yùn)動軌跡，當(dāng)其在薄膜上面按照一定軌跡運(yùn)動時(shí)，溶劑從液體噴頭噴到薄膜上面將薄膜溶解，溶解后的薄膜跟隨溶劑迅速被真空吸管吸走，從而實(shí)現(xiàn)可選擇性精密除膜的功能。該方案最大的缺點(diǎn)在于這種裝置的設(shè)計(jì)大大限制了其移動速度從而使得除膜速度很慢，通常該方案的除膜速度為10-20mm/sec。除膜裝置的工藝寬口很窄，并且除膜后常常會在除膜區(qū)域有較大的殘留，并且除膜后薄膜的邊緣常出現(xiàn)毛邊和比較大的堆積，這些缺點(diǎn)大大限制了其在量產(chǎn)中的應(yīng)用。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)的不足之處，提供一種選擇性除膜裝置及除膜頭，幫助各種精密涂布設(shè)備實(shí)現(xiàn)選擇性涂布或者在各種精密涂布之后利用該選擇性除膜裝置來進(jìn)行選擇性除膜，最終獲得所需圖案的薄膜。

本實(shí)用新型的選擇性除膜裝置，所述的除膜裝置包括除膜頭、出液裝置、除液裝置、定位裝置和位移裝置，所述的除膜頭安裝在定位裝置上，所述的定位裝置安裝在位移裝置上，所述的除膜頭包括出液管和除液管，所述出液裝置與除膜頭的出液管相連，所述除液裝置與除膜頭的除液管相連，所述的出液管包裹除液管，或者除液管包裹出液管，所述的出液裝置用于將除膜液體輸送到待加工薄膜表面，所述的除液裝置用于將反應(yīng)后或者溶解后的廢液除去，所述的定位裝置用于將除膜頭和待加工薄膜進(jìn)行相對定位，所述的位移裝置用于控制除膜頭或者薄膜相對位置實(shí)現(xiàn)選擇性除膜。

所述的選擇性除膜裝置中，