[實用新型]一種選擇性除膜裝置及除膜頭

有效

• 申請號: 201520126900.0
• 申請日: 2015-03-05
• 公開（公告）號: CN204773962U
• 公開（公告）日: 2015-11-18
• 發明（設計）人: 張建衛;盧泓;董向陽;任華進
• 申請（專利權）人: 南京第壹有機光電有限公司
• 主分類號: B32B38/10
• 分類號: B32B38/10
• 代理公司: 南京正聯知識產權代理有限公司 32243
• 代理人: 盧霞

1.一種選擇性除膜裝置，其特征在于，所述的除膜裝置包括除膜頭、出液裝置、除液裝置、定位裝置和位移裝置，所述的除膜頭安裝在定位裝置上，所述的定位裝置安裝在位移裝置上，所述的除膜頭包括出液管和除液管，所述出液裝置與除膜頭的出液管相連，所述除液裝置與除膜頭的除液管相連，所述的出液管包裹除液管，或者除液管包裹出液管，所述的出液裝置用于將除膜液體輸送到待加工薄膜表面，所述的除液裝置用于將反應后或者溶解后的廢液除去，所述的定位裝置用于將除膜頭和待加工薄膜進行相對定位，所述的位移裝置用于控制除膜頭或者薄膜相對位置實現選擇性除膜。

2.根據權利要求1所述的選擇性除膜裝置，其特征在于,所述的除膜頭的數量為一個或者多個。

3.根據權利要求1所述的選擇性除膜裝置，其特征在于,所述的出液管的數量為一個或者多個。

4.根據權利要求1所述的選擇性除膜裝置，其特征在于,所述的出液管具有至少1個出液管入口和至少1個出液管出口，所述的出液裝置與出液管入口相連。

5.根據權利要求4所述的選擇性除膜裝置，其特征在于,所述的出液管入口的截面形狀選自圓形、橢圓、矩形、平行四邊形、三角形、梯形或者不規則圖形。

6.根據權利要求4所述的選擇性除膜裝置，其特征在于,所述的出液管出口的截面形狀選自圓形、橢圓、矩形、平行四邊形、三角形、梯形或者不規則圖形。

7.根據權利要求1所述的選擇性除膜裝置，其特征在于,所述的除液管的數量為一個或者多個。

8.根據權利要求1所述的選擇性除膜裝置，其特征在于,所述的除液管具有至少1個除液管入口和至少1個除液管出口，所述的除液裝置與除液管出口相連。

9.根據權利要求8所述的選擇性除膜裝置，其特征在于,所述的除液管入口的截面形狀選自圓形、橢圓、矩形、平行四邊形、三角形、梯形或者不規則圖形。

10.根據權利要求8所述的選擇性除膜裝置，其特征在于,所述的除液管出口的截面形狀選自圓形、橢圓、矩形、平行四邊形、三角形、梯形或者不規則圖形。

11.根據權利要求1所述的選擇性除膜裝置，其特征在于,所述的出液管具有至少1個出液管入口和至少1個出液管出口，所述的除液管具有至少1個除液管入口和至少1個除液管出口，所述的出液管出口所在的平面和除液管入口所在的平面與薄膜表面的垂直距離差值不大于10mm。

12.一種除膜頭，其特征在于，所述的除膜頭包括出液管和除液管，所述的出液管包裹除液管，或者除液管包裹出液管。

13.根據權利要求12所述的除膜頭，其特征在于,所述的出液管的數量為一個或者多個。

14.根據權利要求12所述的除膜頭，其特征在于,所述的出液管具有至少1個出液管入口和至少1個出液管出口，所述的出液裝置與出液管入口相連。

15.根據權利要求14所述的除膜頭，其特征在于,所述的出液管入口的截面形狀選自圓形、橢圓、矩形、平行四邊形、三角形、梯形或者不規則圖形。

16.根據權利要求14所述的除膜頭，其特征在于,所述的出液管出口的截面形狀選自圓形、橢圓、矩形、平行四邊形、三角形、梯形或者不規則圖形。

17.根據權利要求12所述的除膜頭，其特征在于,所述的除液管的數量為一個或者多個。

18.根據權利要求12所述的除膜頭，其特征在于,所述的除液管具有至少1個除液管入口和至少1個除液管出口，所述的除液裝置與除液管出口相連。

19.根據權利要求18所述的除膜頭，其特征在于,所述的除液管入口的截面形狀選自圓形、橢圓、矩形、平行四邊形、三角形、梯形或者不規則圖形。

20.根據權利要求18所述的除膜頭，其特征在于,所述的除液管出口的截面形狀選自圓形、橢圓、矩形、平行四邊形、三角形、梯形或者不規則圖形。

21.根據權利要求12所述的除膜頭，其特征在于,所述的出液管具有至少1個出液管入口和至少1個出液管出口，所述的除液管具有至少1個除液管入口和至少1個除液管出口，所述的出液管出口所在的平面和除液管入口所在的平面與薄膜表面的垂直距離差值不大于10mm。