[實用新型]一種MO源系統管路

有效

• 申請號: 201520117808.8
• 申請日: 2015-02-27
• 公開（公告）號: CN204477694U
• 公開（公告）日: 2015-07-15
• 發明（設計）人: 周圣偉;郭晃亨;張家宏;林兓兓
• 申請（專利權）人: 安徽三安光電有限公司
• 主分類號: F17D1/02
• 分類號: F17D1/02;C23C16/455
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及金屬有機化學氣相沉積技術領域，尤其涉及一種MO源的系統管路。

背景技術

在半導體工業中，通常使用化學氣相沉積工藝進行沉積各薄膜層，其沉積過程所使用MO源封裝于密封容器內，在密封容器頂部設置進氣管與出氣管，而運載氣體通過管路、各控制閥件、流量控制器、進氣口進入容器內，再從出氣口、管路、各控制閥件、流量控制器將源體輸送至沉積腔室內進行沉積反應。故而，當密封容器內源體減少至一定值后則需對該源體進行更換，更換過程中必須先使用H₂或N₂氣體對管路進行沖抽。

圖1示出了現有技術中更換MO源時的氣體沖抽管路系統，管路系統中進氣管路與出氣管路中氣體流經路線分別為：沖抽氣體100沿沖抽氣體線路一110分別經由第一質量流量控制器240和第二質量流量控制器340，再經過第一氣動閥230和第二氣動閥330（此時第一氣動閥230與第二氣動閥330均為開啟狀態，第三氣動閥800為關閉狀態），通過管路一250、管路二350到達第一手動閥210和第二手動閥310，而此時第一手動閥210和第二手動閥310均為關閉狀態，故氣體無法通過，則沿沖抽氣體線路二120流經管路一250、管路二350返回，并分別通過第三手動閥220和第四手動閥320到達尾氣回收管路500，并隨尾氣載氣600進入最后的尾氣處理系統。在此氣體沖抽過程中，管路一250和管路二350中氣體為往復循環沖刷管路內壁面，則容易導致管壁殘留的MO源和水汽滯留，不易被沖抽干凈，進而導致后續生長的LED光電特性異常。而通常為減少此異常的發生，則通過增加沖抽次數來實現，造成更換MO源的時間增加，影響生產的稼動率。

發明內容

針對現有技術的不足，本實用新型提出了一種MO源系統管路，通過改變管路的連接方式，達到減少沖抽次數，降低沖抽不干凈造成生產異常的風險。

本實用新型解決上述問題的技術方案為：一種MO源系統管路，其包括多個并聯設置的MO源供給管路及尾氣回收管路，所述MO源供給管路包括：控制載氣流量的第一質量流量控制器（240），所述第一質量流量控制器（240）通過第一氣動閥（230）、管路一（250）與MO源瓶（400）入口處的第一手動閥（210）相連通；所述MO源瓶（400）的出口依次通過第二手動閥（310）、管路二（350）和第二氣動閥（330）與第二質量流量控制器（340）相連通；所述第一氣動閥（230）和所述第二氣動閥（330）之間還設有將二者直接連通的第三氣動閥（800）；所述第一氣動閥（230）與尾氣回收管路（500）之間通過第三手動閥（220）連通，第二氣動閥（330）與尾氣回收管路（500）之間通過第四手動閥（320）連通，其中，所述管路一（250）與管路二（350）之間還設有將二者聯通的管路三（700）及位于所述管路三（700）上的第五手動閥（710）；所述管路一（250）與管路三（700）的連接點（702）至第一手動閥（210）的距離L1、所述管路二（350）與管路三（700）的連接點（703）至第二手動閥（310）的距離L2范圍均為0～15cm。

優選的，所述管路三（700）的內徑范圍為0.5～1英寸。

優選的，所述管路三（700）內部還設有可旋轉形成渦流氣體的扇葉結構（701）。

優選的，所述扇葉結構（701）中葉片（701a）的數目為n≧2（n為整數）。

優選的，所述扇葉結構（701）位于所述管路一（250）與管路三（700））連接的端口位置。

本實用新型至少具有以下有益效果：（1）利用新增加的管路三連通管路一和管路二，并且連接點與第一手動閥/第二手動閥距離較小，促使在更換MO源時利用H₂/N₂沖抽管路過程中，氣流無需往返循環，使得利用較少的沖抽次數即可將管路沖抽干凈；（2）在管路三中增加扇葉結構，使氣流運行過程中形成渦流，更易將管路內壁面清潔干凈。此實用新型有效縮短沖抽操作時間，提升生產的稼動率；改善沖抽后管路內壁面的潔凈度，減小更換MO源后導致后續生長的LED光電特性異常的風險。

附圖說明

附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，并且構成說明書的一部分，與本實用新型的實施例一起用于解釋本實用新型，但并不構成對本實用新型的限制。此外，附圖數據是描述概要，不是按比例繪制。

圖1為現有使用的MO源系統管路示意圖。

圖2為本實用新型實施例一的MO源系統管路示意圖。