[實用新型]一種MO源系統管路有效
| 申請號： | 201520117808.8 | 申請日： | 2015-02-27 |
| 公開（公告）號： | CN204477694U | 公開（公告）日： | 2015-07-15 |
| 發明（設計）人： | 周圣偉;郭晃亨;張家宏;林兓兓 | 申請（專利權）人： | 安徽三安光電有限公司 |
| 主分類號： | F17D1/02 | 分類號： | F17D1/02;C23C16/455 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 241000 安徽*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 mo 系統 管路 | ||
1.一種MO源系統管路，其包括多個并聯設置的MO源供給管路及尾氣回收管路，所述MO源供給管路包括：控制載氣流量的第一質量流量控制器（240），所述第一質量流量控制器（240）通過第一氣動閥（230）、管路一（250）與MO源瓶（400）入口處的第一手動閥（210）相連通；所述MO源瓶（400）的出口依次通過第二手動閥（310）、管路二（350）和第二氣動閥（330）與第二質量流量控制器（340）相連通；所述第一氣動閥（230）和所述第二氣動閥（330）之間還設有將二者直接連通的第三氣動閥（800）；所述第一氣動閥（230）與尾氣回收管路（500）之間通過第三手動閥（220）連通，所述第二氣動閥（330）與尾氣回收管路（500）之間通過第四手動閥（320）連通，其特征在于：所述管路一（250）與管路二（350）之間還設有將二者連通的管路三（700）及位于所述管路三（700）上的第五手動閥（710）。
2.根據權利要求1所述的一種MO源系統管路，其特征在于：所述管路一（250）與管路三（700）的連接點（702）至第一手動閥（210）的距離L1、所述管路二（350）與管路三（700）的連接點（703）至第二手動閥（310）的距離L2范圍均為0～15cm。
3.根據權利要求1所述的一種MO源系統管路，其特征在于：所述管路三（700）的內徑范圍為0.5～1英寸。
4.根據權利要求1所述的一種MO源系統管路，其特征在于：所述管路三（700）內部設有可旋轉形成渦流氣體的扇葉結構（701）。
5.根據權利要求4所述的一種MO源系統管路，其特征在于：所述扇葉結構（701）中葉片（701a）數目為n≧2（n為整數）。
6.根據權利要求4所述的一種MO源系統管路，其特征在于：所述扇葉結構（701）位于所述管路一（250）與管路三（700）連接的端口位置。
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