[實用新型]一種可調(diào)化合物蒸發(fā)鍍膜紅外真空裝置的加熱蒸發(fā)機構(gòu)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201520109463.1 | 申請日: | 2015-02-13 |
| 公開(公告)號: | CN204608148U | 公開(公告)日: | 2015-09-02 |
| 發(fā)明(設計)人: | 孔令杰;吳克松;丁玉林 | 申請(專利權(quán))人: | 安徽貝意克設備技術(shù)有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/28 | 分類號: | C23C14/28 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 230088 安徽*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 可調(diào) 化合物 蒸發(fā) 鍍膜 紅外 真空 裝置 加熱 機構(gòu) | ||
技術(shù)領域
本實用新型涉及化合物蒸發(fā)鍍膜設備技術(shù)領域,具體的說涉及一種可調(diào)化合物蒸發(fā)鍍膜紅外真空裝置的加熱蒸發(fā)機構(gòu)。
背景技術(shù)
現(xiàn)有化合物蒸發(fā)鍍膜設備大都采用電阻絲加熱,由于電阻絲本身具有熱慣性大且升降溫速率慢的特性,使得其溫度上限很低,限制了化合物蒸發(fā)鍍膜設備的使用范圍,并且電阻絲具有溫度反應敏度低、纏繞復雜等問題,要占用化合物蒸發(fā)鍍膜設備的大量真空腔空間,而且現(xiàn)有化合物蒸發(fā)鍍膜設備加熱區(qū)區(qū)間位置固定,對不同化合物的加熱需要不同的加熱溫度,而加熱設備區(qū)間位置固定對不同化合物加熱會造成加熱效果差,且增大了能耗。
實用新型內(nèi)容
本實用新型的目的是提供一種可調(diào)化合物蒸發(fā)鍍膜紅外真空裝置的加熱蒸發(fā)機構(gòu),其結(jié)構(gòu)獨特簡單,快速升降溫度,而且加熱部件區(qū)間距離可調(diào),加熱效果好。
為了解決背景技術(shù)所存在的問題,本實用新型采用以下技術(shù)方案:
一種可調(diào)化合物蒸發(fā)鍍膜紅外真空裝置的加熱蒸發(fā)機構(gòu),所述的加熱蒸發(fā)機構(gòu)包括有腔體,所述的腔體的上端、下端分別連接有上蓋法蘭、底座法蘭,所述的上蓋法蘭、底座法蘭的圓周內(nèi)側(cè)開設有多個相鄰兩兩相互等距的圓孔,底座法蘭的上端面固定有下加熱區(qū)機構(gòu),底座法蘭上開設有多個連接圓孔,連接圓孔上連接著真空電極組件,上蓋法蘭的上端面中部設有承接件,所述的承接件的一側(cè)設有排氣閥,所述的承接件通過升降調(diào)節(jié)旋鈕與上加熱區(qū)機構(gòu)的光軸連接,上加熱區(qū)機構(gòu)固定在上蓋法蘭的下端,所述的腔體的側(cè)面上開設有槽孔,槽孔上固定有透視組件,所述的透視組件上設有透明玻璃,所述的透視組件與透明玻璃之間固定連接有O型圈。
所述的真空電極組件包括雙芯真空電極、中心支架、法蘭卡箍,所述的雙芯真空電極的上端、下端分別連接有法蘭卡箍,所述的雙芯真空電極上部連接有中心支架,中心支架固定在雙芯真空電極上端的法蘭卡箍。
本實用新型有益效果:本實用新型其結(jié)構(gòu)獨特簡單,快速升降溫度,而且加熱部件區(qū)間距離可調(diào),加熱效果好,部件占用空間范圍小,能夠降低能耗。
附圖說明
圖1為實用新型結(jié)構(gòu)示意圖;
圖2為本實用新型部分平面示意圖;
圖3為本實用新型立體結(jié)構(gòu)示意圖;
圖4為本實用新型部分結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
一種可調(diào)化合物蒸發(fā)鍍膜紅外真空裝置的加熱蒸發(fā)機構(gòu),包括有腔體1,所述的腔體1的上端、下端分別連接有上蓋法蘭2、底座法蘭3,所述的上蓋法蘭2、底座法蘭3的圓周內(nèi)側(cè)開設有多個相鄰兩兩相互等距的圓孔4,底座法蘭3的上端面固定有下加熱區(qū)機構(gòu)5,底座法蘭3上開設有多個連接圓孔6,連接圓孔6上連接著真空電極組件7,上蓋法蘭2的上端面中部設有承接件8,所述的承接件8的一側(cè)設有排氣閥9,所述的承接件8通過升降調(diào)節(jié)旋鈕10與上加熱區(qū)機構(gòu)11的光軸12連接,上加熱區(qū)機構(gòu)11固定在上蓋法蘭2的下端,所述的腔體1的側(cè)面上開設有槽孔13,槽孔13上固定有透視組件14,所述的透視組件14上設有透明玻璃15,所述的透視組件14與透明玻璃15之間固定連接有O型圈16。
所述的真空電極組件7包括雙芯真空電極71、中心支架72、法蘭卡箍73,所述的雙芯真空電極71的上端、下端分別連接有法蘭卡箍73,所述的雙芯真空電極71上部連接有中心支架72,中心支架72固定在雙芯真空電極71上端的法蘭卡箍73內(nèi)。
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C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴散法,化學轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理





