[實(shí)用新型]免抓夾靜電拖盤結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520092566.1
• 申請(qǐng)日: 2015-02-09
• 公開（公告）號(hào): CN204558437U
• 公開（公告）日: 2015-08-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳宜杰;羅世欣;林士青
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 聚昌科技股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/683
• 分類號(hào): H01L21/683
• 代理公司: 北京中原華和知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11019
• 代理人: 壽寧;張華輝

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型為一種拖盤結(jié)構(gòu)，特別為一種具有靜電膜的免抓夾靜電拖盤結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

拖盤結(jié)構(gòu)在半導(dǎo)體制造過(guò)程的應(yīng)用上，是必須的裝置，而且使用量非常的大，不管晶圓大小或其應(yīng)用范疇，所有的半導(dǎo)體晶圓制作時(shí)，都要用到拖盤結(jié)構(gòu)以固定及容置晶圓進(jìn)行多樣的半導(dǎo)體制造過(guò)程。

然而，綜觀現(xiàn)行使用的拖盤結(jié)構(gòu)，皆是以凸點(diǎn)或抓夾施加壓力的方式將晶圓固定于拖盤結(jié)構(gòu)。其缺點(diǎn)不但使整個(gè)晶圓的可反映面積減少，更因凸點(diǎn)或抓夾與晶圓表面的直接接觸，容易對(duì)晶圓產(chǎn)生磨損，影響晶圓的制造合格率。

有鑒于此，發(fā)展及創(chuàng)造出一種成本便宜，又可以不必直接與晶圓產(chǎn)生接觸，即能夠?qū)⒕A固定于拖盤結(jié)構(gòu)進(jìn)行半導(dǎo)體制造過(guò)程的免抓夾靜電拖盤結(jié)構(gòu)，便成現(xiàn)今半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)與電子應(yīng)用產(chǎn)品設(shè)計(jì)上一個(gè)眾所期盼的重要課題。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種免抓夾靜電拖盤結(jié)構(gòu)，其包括：托盤；至少一個(gè)靜電膜；以及上蓋。免抓夾靜電拖盤結(jié)構(gòu)是以靜電吸附的方式使上蓋蓋覆托盤，并使晶圓固定于載盤與相對(duì)應(yīng)的上蓋的開口之間不會(huì)移動(dòng)。借由本實(shí)用新型的實(shí)施，由于上蓋不須使用凸點(diǎn)即可固定晶圓，可有效提升半導(dǎo)體晶圓利用率；且以靜電方式固定晶圓，可免除可能的晶圓磨損，提升半導(dǎo)體晶圓制造的合格率，同時(shí)亦可以達(dá)到有效增加制造晶圓的利潤(rùn)，提升晶圓制造產(chǎn)業(yè)或I?C設(shè)計(jì)產(chǎn)業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)力，并充分利用資源。

本實(shí)用新型的目的及解決其技術(shù)問(wèn)題是采用以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)的。本實(shí)用新型是提供一種免抓夾靜電拖盤結(jié)構(gòu)，其包括：托盤，其形成有至少一個(gè)載盤用以承載晶圓；至少一個(gè)靜電膜，固設(shè)于載盤，其中每一個(gè)靜電膜是固設(shè)于載盤上，且當(dāng)載盤承載晶圓時(shí)靜電膜是位于載盤與晶圓之間；以及上蓋，其對(duì)應(yīng)于每一個(gè)載盤處皆設(shè)有開口，且上蓋是可分離地蓋覆于托盤上，用以固定晶圓。

本實(shí)用新型的目的及解決其技術(shù)問(wèn)題還可采用以下技術(shù)措施進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)。

前述的所述的免抓夾靜電拖盤結(jié)構(gòu)，其中每一該開口是位于該載盤上方，并使該載盤上承載的該晶圓固定于該載盤與相對(duì)應(yīng)的該開口之間不會(huì)移動(dòng)。

前述的免抓夾靜電拖盤結(jié)構(gòu)，其中該靜電膜是電性連接至靜電產(chǎn)生裝置。

前述的免抓夾靜電拖盤結(jié)構(gòu)，其中該靜電膜是以靜電分離地吸附該晶圓。

前述的免抓夾靜電拖盤結(jié)構(gòu)，其中該托盤是電性連接該靜電產(chǎn)生裝置。

前述的免抓夾靜電拖盤結(jié)構(gòu)，其中該托盤是金屬材質(zhì)或合金材質(zhì)或金屬化合物材質(zhì)所制成。

前述的免抓夾靜電拖盤結(jié)構(gòu)，其中該上蓋是金屬材質(zhì)或合金材質(zhì)或金屬化合物材質(zhì)所制成。

前述的免抓夾靜電拖盤結(jié)構(gòu)，其中該開口的大小是小于該晶圓的大小。

借由本實(shí)用新型的實(shí)施，可達(dá)到下列進(jìn)步功效：

(1)、上蓋無(wú)凸點(diǎn)，有效提升半導(dǎo)體晶圓利用率，有效增加制造晶圓的利潤(rùn)，提升晶圓制造產(chǎn)業(yè)或I?C設(shè)計(jì)產(chǎn)業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)力，并充分利用資源。

(2)、以靜電方式固定晶圓，免除可能的晶圓磨損，提升半導(dǎo)體晶圓制造合格率。

為了使任何熟習(xí)相關(guān)技藝者了解本實(shí)用新型的技術(shù)內(nèi)容并據(jù)以實(shí)施，且根據(jù)本說(shuō)明書所揭露的內(nèi)容、專利要求的保護(hù)范圍及圖式，任何熟習(xí)相關(guān)技藝者可輕易地理解本實(shí)用新型相關(guān)的目的及優(yōu)點(diǎn)，因此將在實(shí)施方式中詳細(xì)敘述本實(shí)用新型的詳細(xì)特征以及優(yōu)點(diǎn)。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例的一種免抓夾靜電拖盤結(jié)構(gòu)的分解立體示意圖。

圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例的一種免抓夾靜電拖盤結(jié)構(gòu)的剖視示意圖。

圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例的一種靜電膜連接至外部靜電產(chǎn)生裝置的分解立體示意圖。

圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例的一種托盤連接至外部靜電產(chǎn)生裝置的分解立體示意圖。

圖5為本實(shí)用新型實(shí)施例的一種靜電膜及托盤連接至外部靜電產(chǎn)生裝?置的分解立體示意圖。

【主要元件符號(hào)說(shuō)明】

100：免抓夾靜電拖盤結(jié)構(gòu)????????????????10：托盤

11：載盤???????????????????????????????20：靜電膜

30：上蓋???????????????????????????????31：開口

40：晶圓???????????????????????????????50：靜電產(chǎn)生裝置

具體實(shí)施方式