[實用新型]一種晶圓UV除膠設備

有效

• 申請號: 201520090951.2
• 申請日: 2015-02-09
• 公開（公告）號: CN204441252U
• 公開（公告）日: 2015-07-01
• 發明（設計）人: 危銀長;杜卓林;陳海軍
• 申請（專利權）人: 志圣科技（廣州）有限公司
• 主分類號: H01L21/02
• 分類號: H01L21/02
• 代理公司: 廣州市越秀區海心聯合專利代理事務所(普通合伙) 44295
• 代理人: 任琳

技術領域

本實用新型涉及一種除膠設備，尤其涉及一種晶圓UV除膠設備。

背景技術

目前對于晶圓表面的膠通常是通過手工操作進行刮除，這種手工操作的方式費時費力，效率低下。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種晶圓UV除膠設備，結構簡單，除膠效率高，降低了成本。

為實現上述目的，本實用新型提供一種晶圓UV除膠設備，包括機臺本體，所述機臺本體內裝設有由下而上依序布置的UV光源模組、移栽模組和線性滑軌，所述線性滑軌上裝設有可自機臺本體正面開口處移出的承載盤，所述移栽模組聯動承載盤。

作為本實用新型的進一步改進，所述機臺本體外頂部安裝有凈化單元。

作為本實用新型的更進一步改進，所述機臺本體內在承載盤的上方裝設有充氮氣模組。

作為本實用新型的更進一步改進，還包括冷氣機，所述冷氣機通過管道連接至機臺本體內。

作為本實用新型的更進一步改進，所述管道有兩條。

作為本實用新型的更進一步改進，所述機臺本體的底部設有支撐腳，所述機臺本體正面設有開關門，所述機臺本體正面在開關門上方設有所述開口，所述機臺本體的正面在開口上方設有人機界面，所述的凈化單元、充氮氣模組、冷氣機、移栽模組、UV光源模組均連接至人機界面。

作為本實用新型的更進一步改進，所述移栽模組包括無刷馬達和皮帶帶輪傳動機構，所述無刷馬達通過皮帶帶輪傳動機構聯動承載盤。

與現有技術相比，本實用新型的晶圓UV除膠設備的有益效果如下：

(1)采用UV光源模組、移栽模組、線性滑軌和承載盤，可將晶圓通過承載盤的承載沿線性滑軌移到機臺本體內由UV光源模組照射除膠，再由承載盤承載沿線性滑軌移到機臺本體外取出，整個除膠過程自動化，代替了人工除膠方式，大大提高了除膠效率，降低了成本，而且除膠效果非常好，整體結構也簡單，制造成本低。

(2)采用充氮氣模組，可使機臺本體內的含氧量在照射過程中得到降低，提高了除膠效率。

(3)采用凈化單元，可使機臺本體的照射區無塵等級達到class100級，提高了除膠效率。

(4)冷氣機通過兩條管道連接至機臺本體內，可輸送足夠的冷氣進去機臺本體內，用以給UV光源模組進行冷卻，延長其使用壽命。

(5)采用人機界面，實現智能化除膠，大大提高了除膠效率，降低了成本。

通過以下的描述并結合附圖，本實用新型將變得更加清晰，這些附圖用于解釋本實用新型的實施例。

附圖說明

圖1為本實用新型晶圓UV除膠設備的示意圖。

具體實施方式

現在參考附圖描述本實用新型的實施例，附圖中類似的元件標號代表類似的元件。

請參考圖1，所述的晶圓UV除膠設備包括機臺本體1，所述機臺本體1的底部設有支撐腳11，所述機臺本體1正面設有開關門12，所述機臺本體1正面在開關門12上方設有開口13，所述機臺本體1的正面在開口上方設有人機界面14。

所述機臺本體1內裝設有由下而上依序布置的UV光源模組2、移栽模組3和線性滑軌4，所述線性滑軌4上裝設有可自機臺本體1正面開口處13移出的承載盤5，所述移栽模組3聯動承載盤5，所述承載盤5用于承載晶圓。UV光源模組2的功率為5KW。所述移栽模組3包括無刷馬達31和皮帶帶輪傳動機構32，所述無刷馬達31通過皮帶帶輪傳動機構32聯動承載盤5。所述機臺本體1外頂部安裝有凈化單元6，從而可使機臺本體1的照射區無塵等級達到class100級。所述機臺本體1內在承載盤5的上方裝設有充氮氣模組7，從而可使機臺本體1內的含氧量在照射過程中得到降低。所述的晶圓UV除膠設備還包括冷氣機8，所述冷氣機8的頂部通過兩條管道81連接至機臺本體1內，可輸送足夠的冷氣進去機臺本體1內，用以給5KW的UV光源模組2進行冷卻，延長其使用壽命。所述冷氣機8的底部設有輪子82，從而方便冷氣機8的移動。所述的凈化單元6、充氮氣模組7、冷氣機8、移栽模組3、UV光源模組2均連接至人機界面14，從而實現智能化。