[實(shí)用新型]一種薄片的制備設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520083962.8
• 申請(qǐng)日: 2015-02-05
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN204738021U
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-11-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 毛科;李學(xué)英
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 李學(xué)英
• 主分類(lèi)號(hào): C23C16/458
• 分類(lèi)號(hào): C23C16/458;C23C16/01
• 代理公司: 廣州番禺容大專利代理事務(wù)所(普通合伙) 44326
• 代理人: 劉新年

1.一種薄片的制備設(shè)備，其特征在于：其包括：

真空光學(xué)鍍膜系統(tǒng)，其包括具有抽真空的內(nèi)腔和設(shè)置于所述內(nèi)腔底部的粒子發(fā)射源；

設(shè)置于所述內(nèi)腔內(nèi)所述粒子發(fā)射源的正上方的至少一個(gè)大面積接收基材，每一所述大面積接收基材的內(nèi)表面均朝向所述粒子發(fā)射源。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄片的制備設(shè)備，其特征在于：所述至少一個(gè)大面積接收基材的個(gè)數(shù)為一個(gè)，其為球冠狀；或者，所述至少一個(gè)大面積接收基材的個(gè)數(shù)為多個(gè)，形狀為球冠狀，其規(guī)則排列成球冠狀或行星狀，設(shè)置于所述粒子發(fā)射源的正上方，并沿其共有的豎直中軸線公轉(zhuǎn)，或者，該多個(gè)大面積接收基材在公轉(zhuǎn)的同時(shí)還沿自身的豎直軸線自轉(zhuǎn)。

3.根據(jù)要求2所述的薄片的制備設(shè)備，其特征在于：所述至少一個(gè)大面積接收基材的材質(zhì)為剛性或柔性。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的薄片的制備設(shè)備，其特征在于：所述設(shè)備還包括工件架和用于控制所述工件架的控制系統(tǒng)；當(dāng)所述至少一個(gè)大面積接收基材的個(gè)數(shù)為一個(gè)時(shí)，所述工件架包括一個(gè)夾具，所述夾具固定設(shè)置于所述粒子發(fā)射源的正上方，所述大面積接收基材以可拆卸的方式被所述夾具固定。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的薄片的制備設(shè)備，其特征在于：所述夾具的形狀和所述大面積接收基材的形狀相同，所述大面積接收基材與所述夾具全面貼合。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的薄片的制備設(shè)備，其特征在于：所述設(shè)備還包括工件架和用于控制所述工件架的控制系統(tǒng)；當(dāng)所述至少一個(gè)大面積接收基材的個(gè)數(shù)為多個(gè)時(shí)，所述工件架包括一個(gè)公轉(zhuǎn)夾具，所述公轉(zhuǎn)夾具的頂部固定設(shè)置于所述粒子發(fā)射源的正上方，所述公轉(zhuǎn)夾具的下端呈環(huán)狀均勻設(shè)有多個(gè)夾持部，每一大面積接收基材均以可?拆卸的方式由一個(gè)所述夾持部對(duì)應(yīng)固定，所述公轉(zhuǎn)夾具由所述控制系統(tǒng)控制轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng)所述多個(gè)夾持部公轉(zhuǎn)，所述多個(gè)大面積接收基材由所述多個(gè)夾持部帶動(dòng)公轉(zhuǎn)；或者，所述多個(gè)夾持部同時(shí)還由所述控制系統(tǒng)控制各自自轉(zhuǎn)，從而帶動(dòng)所述多個(gè)大面積接收基材自轉(zhuǎn)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的薄片的制備設(shè)備，其特征在于：所述夾持部的形狀和所述大面積接收基材的形狀相同，所述大面積接收基材與所述夾持部全面貼合。

8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的薄片的制備設(shè)備，其特征在于：所述大面積接收基材為玻璃、金屬、硬質(zhì)塑膠或柔性纖維膜、柔性塑膠膜。