[實(shí)用新型]吸附式硅片分離裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520070923.4
• 申請(qǐng)日: 2015-02-01
• 公開（公告）號(hào): CN204391060U
• 公開（公告）日: 2015-06-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 單云超
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 天津創(chuàng)昱達(dá)科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 無
• 代理人: 無

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于硅片插片設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種吸附式硅片分離裝置。

背景技術(shù)

在全自動(dòng)插片機(jī)運(yùn)行過程中，首先要將一摞(1000片左右)硅片進(jìn)行每片分離，分離之后進(jìn)行單張硅片傳送。由于硅片與硅片之間會(huì)有一定的吸附力，因此現(xiàn)有技術(shù)中采用氣缸壓片的方式進(jìn)行連片、疊片的處理，由于氣缸壓片時(shí)為硬接觸，在壓片期間會(huì)對(duì)硅片本身造成損害。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型提供一種吸附式硅片分離裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出的氣缸壓片會(huì)對(duì)硅片造成損壞的問題。

本實(shí)用新型所解決的技術(shù)問題采用以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)：本實(shí)用新型提供一種吸附式硅片分離裝置，其特征在于：包括吸附座、輸送輪、從動(dòng)軸、從動(dòng)輪、驅(qū)動(dòng)輪和驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述的吸附座固定安裝在設(shè)備上，吸附座的邊緣設(shè)置有一個(gè)上下貫通的吸附孔，吸附孔上端連接吸水裝置，所述的輸送輪通過從動(dòng)軸安裝在吸附座中部的空間內(nèi)，所述的驅(qū)動(dòng)電機(jī)安裝在電機(jī)支座上，驅(qū)動(dòng)電機(jī)的驅(qū)動(dòng)軸上安裝有驅(qū)動(dòng)輪，所述的從動(dòng)軸的一端安裝有從動(dòng)輪，驅(qū)動(dòng)輪和從動(dòng)輪通過傳動(dòng)帶連接。

所述的吸附座和輸送輪的具體安裝結(jié)構(gòu)包括：隔套、左端蓋、軸承、小卡簧、大卡簧、右端蓋和壓板，所述的左端蓋設(shè)在靠近從動(dòng)輪的一端，左端蓋與吸附座之間安裝有一個(gè)軸承，與從動(dòng)軸之間設(shè)置有隔套，所述的輸送輪通過小卡簧安裝在從動(dòng)軸上，輸送輪和從動(dòng)軸之間設(shè)置有平鍵，所述的右端蓋設(shè)在遠(yuǎn)離從動(dòng)輪的一端，右端蓋與吸附座之間也安裝有一個(gè)軸承，軸承遠(yuǎn)離右端蓋的一側(cè)設(shè)有大卡簧，所述的壓板通過螺釘安裝在從動(dòng)軸的端部。

所述的輸送輪上設(shè)置有軟性防滑凸起。

所述的軸承為深溝球軸承。

所述的隔套由尼龍材料制成。

本實(shí)用新型的有益效果為：

1、本實(shí)用新型采用了無硬接觸的方式對(duì)硅片進(jìn)行連片、疊片的處理，從根本上避免了硅片分離過程中對(duì)硅片的損害；

2、采用帶傳動(dòng)的方式為輸送輪提供驅(qū)動(dòng)力，既保證了傳動(dòng)的可靠性，也可在機(jī)構(gòu)卡死時(shí)保護(hù)驅(qū)動(dòng)電機(jī)；

3、采用定位準(zhǔn)確、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的吸附座和輸送輪安裝結(jié)構(gòu),使設(shè)備工作穩(wěn)定，維修維護(hù)成本也很低。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本實(shí)用新型吸附座和輸送輪具體安裝結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步描述：

圖中：1-吸附座，2-吸附口，3-輸送輪，4-從動(dòng)軸，5-從動(dòng)輪，6-傳動(dòng)帶，7-驅(qū)動(dòng)電機(jī)，8-驅(qū)動(dòng)輪B，9-電機(jī)支座，10-驅(qū)動(dòng)軸，11-硅片，12-隔套，13-左端蓋，14-軸承，15-軟性防滑凸起，16-平鍵，17-小卡簧，18-大卡簧，19-右端蓋，20-壓板，21-螺釘。

實(shí)施例：

本實(shí)施例包括吸附座1、輸送輪3、從動(dòng)軸4、從動(dòng)輪5、驅(qū)動(dòng)輪8和驅(qū)動(dòng)電機(jī)7，所述的吸附座1固定安裝在設(shè)備上，吸附座1的邊緣設(shè)置有一個(gè)上下貫通的吸附孔2，吸附孔2上端連接吸水裝置，所述的輸送輪3通過從動(dòng)軸4安裝在吸附座1中部的空間內(nèi)，所述的驅(qū)動(dòng)電機(jī)7安裝在電機(jī)支座9上，驅(qū)動(dòng)電機(jī)7的驅(qū)動(dòng)軸10上安裝有驅(qū)動(dòng)輪8，所述的從動(dòng)軸4的一端安裝有從動(dòng)輪5，驅(qū)動(dòng)輪8和從動(dòng)輪5通過傳動(dòng)帶6連接。所述的吸附座1和輸送輪3的具體安裝結(jié)構(gòu)包括：隔套12、左端蓋13、軸承14、小卡簧17、大卡簧18、右端蓋19和壓板20，所述的左端蓋13設(shè)在靠近從動(dòng)輪5的一端，左端蓋13與吸附座1之間安裝有一個(gè)軸承14，與從動(dòng)軸4之間設(shè)置有隔套12，所述的輸送輪3通過小卡簧17安裝在從動(dòng)軸4上，輸送輪3和從動(dòng)軸4之間設(shè)置有平鍵16，所述的右端蓋19設(shè)在遠(yuǎn)離從動(dòng)輪5的一端，右端蓋19與吸附座1之間也安裝有一個(gè)軸承14，軸承14遠(yuǎn)離右端蓋19的一側(cè)設(shè)有大卡簧18，所述的壓板20通過螺釘21安裝在從動(dòng)軸4的端部。所述的輸送輪3上設(shè)置有軟性防滑凸起15。所述的軸承14為深溝球軸承。所述的隔套12由尼龍材料制成。

本實(shí)用新型采用了無硬接觸的方式對(duì)硅片11進(jìn)行連片、疊片的處理，從根本上避免了硅片11分離過程中對(duì)硅片11的損害；采用帶傳動(dòng)的方式為輸送輪3提供驅(qū)動(dòng)力，既保證了傳動(dòng)的可靠性，也可在機(jī)構(gòu)卡死時(shí)保護(hù)驅(qū)動(dòng)電機(jī)7；采用定位準(zhǔn)確、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的吸附座1和輸送輪3安裝結(jié)構(gòu),使設(shè)備工作穩(wěn)定，維修維護(hù)成本也很低。

利用本實(shí)用新型所述的技術(shù)方案，或本領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實(shí)用新型技術(shù)方案的啟發(fā)下，設(shè)計(jì)出類似的技術(shù)方案，而達(dá)到上述技術(shù)效果的，均是落入本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。