[實用新型]吸附式硅片分離裝置

有效

• 申請號: 201520070923.4
• 申請日: 2015-02-01
• 公開（公告）號: CN204391060U
• 公開（公告）日: 2015-06-10
• 發明（設計）人: 單云超
• 申請（專利權）人: 天津創昱達科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 無
• 代理人: 無

1.一種吸附式硅片分離裝置，其特征在于：包括吸附座、輸送輪、從動軸、從動輪、驅動輪和驅動電機，所述的吸附座固定安裝在設備上，吸附座的邊緣設置有一個上下貫通的吸附孔，吸附孔上端連接吸水裝置，所述的輸送輪通過從動軸安裝在吸附座中部的空間內，所述的驅動電機安裝在電機支座上，驅動電機的驅動軸上安裝有驅動輪，所述的從動軸的一端安裝有從動輪，驅動輪和從動輪通過傳動帶連接。

2.根據權利要求1所述的一種吸附式硅片分離裝置，其特征在于：所述的吸附座和輸送輪的具體安裝結構包括：隔套、左端蓋、軸承、小卡簧、大卡簧、右端蓋和壓板，所述的左端蓋設在靠近從動輪的一端，左端蓋與吸附座之間安裝有一個軸承，與從動軸之間設置有隔套，所述的輸送輪通過小卡簧安裝在從動軸上，輸送輪和從動軸之間設置有平鍵，所述的右端蓋設在遠離從動輪的一端，右端蓋與吸附座之間也安裝有一個軸承，軸承遠離右端蓋的一側設有大卡簧，所述的壓板通過螺釘安裝在從動軸的端部。

3.根據權利要求1所述的一種吸附式硅片分離裝置，其特征在于：所述的輸送輪上設置有軟性防滑凸起。

4.根據權利要求2所述的一種吸附式硅片分離裝置，其特征在于：所述的軸承為深溝球軸承。

5.根據權利要求2所述的一種吸附式硅片分離裝置，其特征在于：所述的隔套由尼龍材料制成。