[實用新型]一種功率半導(dǎo)體芯片測試裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520049903.9
• 申請日: 2015-01-26
• 公開（公告）號: CN204389638U
• 公開（公告）日: 2015-06-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 肖彥;汝嚴(yán);吳擁軍
• 申請（專利權(quán)）人: 湖北臺基半導(dǎo)體股份有限公司
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26
• 代理公司: 襄陽嘉琛知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所 42217
• 代理人: 嚴(yán)崇姚

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型屬于電力半導(dǎo)體器件測試技術(shù)領(lǐng)域。具體涉及一種功率半導(dǎo)體芯片測試裝置，可廣泛用于半導(dǎo)體功率器件的選型測試。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體功率器件芯片測試，是半導(dǎo)體功率器件生產(chǎn)的一道必須工序。它是將不符合技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)要求的芯片剔除，避免將其封裝后再測試造成管殼的不必要浪費。現(xiàn)有半導(dǎo)體功率器件芯片測試過程中的應(yīng)力和機械損傷，造成芯片外觀劃傷和損壞。另外測試方法繁瑣，它必須按正常封裝程序?qū)⑿酒湃胂鄳?yīng)的管殼并用定位環(huán)將其準(zhǔn)確定位，才能保證測試結(jié)果的準(zhǔn)確性，這些工作都是由操作人員手工完成，勞動強度大，效率低。

發(fā)明內(nèi)容

為解決上述問題，本實用新型提供一種可提高工作效率的功率半導(dǎo)體芯片測試裝置。其結(jié)構(gòu)可以過載高壓、大電流。并采用氣動裝置有緩沖設(shè)計，從而保護被測半導(dǎo)體功率器件，減少芯片承受測試壓力沖擊力。

本實用新型的技術(shù)解決方案是：一種功率半導(dǎo)體芯片測試裝置，其特征在于：包括框架、氣動傳動部分、上夾頭部分和下夾頭部分；其中，框架為獨立框架結(jié)構(gòu)；氣動傳動部分包括氣缸、活塞桿，氣缸固定在框架的上框架上；上夾頭部分包括上絕緣塊、電極A、電極A絕緣套、電極A取樣和找平鋼珠，電極A為帶有底部引線電極及圓柱體的電極，底部引線電極底面朝上固定在上絕緣塊上，電極A絕緣套套裝在電極A的圓柱體上，找平鋼珠位于活塞桿與上絕緣塊之間，電極A取樣設(shè)置在圓柱體的外端側(cè)部；下夾頭部分包括芯片卡套、電極K絕緣套、電極K、電極K取樣、門極探針、門極絕緣套、彈性墊塊和下絕緣塊，下絕緣塊固定在框架的底面上，下絕緣塊上面設(shè)有槽，彈性墊塊位于該槽內(nèi)，電極K為帶有底部引線電極及圓環(huán)柱體的電極，電極K安裝在彈性墊塊上，電極K絕緣套套裝在圓環(huán)柱體上，門極探針及門極絕緣套位于圓環(huán)柱體內(nèi)，芯片卡套設(shè)置在圓環(huán)柱體上方的電極K絕緣套上端。

本實用新型的技術(shù)解決方案中所述的芯片卡套上設(shè)有均勻分布或呈品字形分布的絕緣定位卡，起到芯片定位作用；電極AK間絕緣作用，芯片卡套與電極K接觸采用拔插方式，可方便不同的芯片卡套更換。

本實用新型的技術(shù)解決方案中所述的門極探針隱藏于電極K內(nèi)部，通過上夾頭壓力迫使彈性墊塊形變，門極探針升出電極K表面與芯片門極接觸，門極探針帶彈簧可調(diào)整與門極接觸力。

本實用新型功率半導(dǎo)體芯片測試裝置由框架、氣動傳動部分、上夾頭部分和下夾頭部分構(gòu)成。框架為獨立框架結(jié)構(gòu)，在整個系統(tǒng)中起定位作用。氣動傳動部分包括氣缸、活塞桿，氣缸固定在框架的上框架上。上夾頭部分包括上絕緣塊、電極A、電極A絕緣套、電極A取樣和找平鋼珠，連接為一整體，并通過框架與氣動傳動部分連接為一整體。電極A為帶有底部引線電極及圓柱體的電極，底部引線電極底面朝上固定在上絕緣塊上，上絕緣塊起電極A和框架間的絕緣作用。電極A絕緣套套裝在電極A的圓柱體上，并連接電極A，起固定電極A作用。找平鋼珠位于活塞桿與上絕緣塊之間，在上、下夾頭部分受力接觸后起自動找平作用。電極A取樣設(shè)置在圓柱體的外端側(cè)部。下夾頭部分包括芯片卡套、電極K絕緣套、電極K、電極K取樣、門極探針、門極絕緣套、彈性墊塊和下絕緣塊，下絕緣塊連接為一整體并固定在框架底部，下絕緣塊起電極K和框架間的絕緣作用。下絕緣塊上面設(shè)有槽，彈性墊塊位于該槽內(nèi)，電極K為帶有底部引線電極及圓環(huán)柱體的電極，電極K安裝在彈性墊塊上，電極K絕緣套套裝在圓環(huán)柱體上，門極探針及門極絕緣套位于圓環(huán)柱體內(nèi)，芯片卡套設(shè)置在圓環(huán)柱體上方的電極K絕緣套上端，電極K絕緣套與下絕緣塊、電極K、彈性墊塊連接并起固定電極K作用；門極探針與電極K間有門極絕緣套絕緣。整個設(shè)計中芯片A極向上，芯片K極向下，芯片K直接放置在電極K上，整個測試中電極K的為靜止不動，壓接過程中的接觸摩擦形變受力在電極A表面，更好的保證了柔軟電極K的鋁層結(jié)構(gòu)。門極結(jié)構(gòu)采用隱形設(shè)計，降低了芯片門極測試后的劃痕。兼容不同直徑半導(dǎo)體芯片的測試。本實用新型具有可過載高壓、大電流，并提高測試準(zhǔn)確度和工作效率的特點。本實用新型可廣泛用于半導(dǎo)體功率器件如二極管、晶閘管、IGBT半導(dǎo)體芯片等的選型測試。

????附圖說明

圖1為半導(dǎo)體功率器件芯片測試夾具主視圖。

圖2為半導(dǎo)體功率器件芯片測試夾具芯片卡套圖。

圖3為圖2的俯視圖。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖對本實用新型作進一步詳述。