[實用新型]一種功率半導體芯片測試裝置

有效

• 申請號: 201520049903.9
• 申請日: 2015-01-26
• 公開（公告）號: CN204389638U
• 公開（公告）日: 2015-06-10
• 發明（設計）人: 肖彥;汝嚴;吳擁軍
• 申請（專利權）人: 湖北臺基半導體股份有限公司
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26
• 代理公司: 襄陽嘉琛知識產權事務所 42217
• 代理人: 嚴崇姚

1.一種功率半導體芯片測試裝置，其特征在于：包括框架（10）、氣動傳動部分、上夾頭部分和下夾頭部分；其中，框架（10）為獨立框架結構；氣動傳動部分包括氣缸（1）、活塞桿（2），氣缸（1）固定在框架（10）的上框架上；上夾頭部分包括上絕緣塊（3）、電極A（4）、電極A絕緣套（5）、電極A取樣（11）和找平鋼珠（9），電極A（4）為帶有底部引線電極及圓柱體的電極，底部引線電極底面朝上固定在上絕緣塊（3）上，電極A絕緣套（5）套裝在電極A（4）的圓柱體上，找平鋼珠（9）位于活塞桿（2）與上絕緣塊（3）之間，電極A取樣（11）設置在圓柱體的外端側部；下夾頭部分包括芯片卡套（6）、電極K絕緣套（7）、電極K（8）、電極K取樣（12）、門極探針（13）、門極絕緣套（14）、彈性墊塊（15）和下絕緣塊（16），下絕緣塊（16）固定在框架（10）的底面上，下絕緣塊（16）上面設有槽，彈性墊塊（15）位于該槽內，電極K（8）為帶有底部引線電極及圓環柱體的電極，電極K（8）安裝在彈性墊塊（15）上，電極K絕緣套（7）套裝在圓環柱體上，門極探針（13）及門極絕緣套（14）位于圓環柱體內，芯片卡套（6）設置在圓環柱體上方的電極K絕緣套（7）上端。

2.根據權利要求1所述的一種功率半導體芯片測試裝置，其特征在于：所述的芯片卡套（6）上設有均勻分布或呈品字形分布的絕緣定位卡（17）。

3.根據權利要求1或2?所述的一種功率半導體芯片測試裝置，其特征在于：所述的門極探針（13）隱藏于電極K內部。