[實用新型]表面清潔設備及其承載裝置

有效

• 申請號: 201520048946.5
• 申請日: 2015-01-23
• 公開（公告）號: CN204564674U
• 公開（公告）日: 2015-08-19
• 發明（設計）人: 王水泉;黃俊智;劉修銘
• 申請（專利權）人: 位元奈米科技股份有限公司
• 主分類號: B08B7/04
• 分類號: B08B7/04;B08B5/02;B08B7/02;B08B13/00;B08B11/02
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 余剛;李靜

技術領域

本實用新型涉及一種清潔設備，尤指一種非接觸式表面清潔設備及表面清潔設備的承載裝置。

背景技術

隨著電子產品的日新月異，各式電子產品(如：手機、隨身裝置、計算機、圖像顯示設備、觸控面板或太陽能面板)除了一般多層印刷電路基板外，還常需搭配軟性基板。所述軟性基板例如是排線或是結合電子零件的多層軟性基板，而構成上述軟性基板的軟質膠片于制程上其表面清潔甚為重要，尤其是應用于光學等級用途時，軟質膠片表面的潔凈度更為質量要求重點。

一般應用于軟質膠片表面的清潔裝置可大致區分為接觸式清潔裝置與非接觸式清潔裝置兩種。所述接觸式清潔裝置包含有干式(如：毛刷)、濕式(如：沾濕溶劑擦拭)、預浸式(如：以溶劑浸泡)、黏貼式(如：黏貼表面)。而非接觸式清潔裝置則是以氣流式清除為主。

然而，不論是接觸式清潔裝置或是非接觸式清潔裝置，均須通過特定的固定手段進行軟質膠片的平整固定，藉以對抗清潔裝置所使用的臟污清除手段的力道(如：毛刷的刷除力、擦拭力或氣流的風力)。但，軟質膠片被固定時，常用的固定手段常會因此造成軟質膠片表面損傷(如：壓痕)。

于是，本發明人有感上述缺陷的可改善，乃特潛心研究并配合學理的運用，終于提出一種設計合理且有效改善上述缺陷的本實用新型。

實用新型內容

本實用新型實施例在于提供一種非接觸式表面清潔設備及表面清潔設備的承載裝置，其能有效地避免膠片被平整定位時所產生的損傷。

本實用新型實施例提供一種表面清潔設備，用以清除一軟質膠片表面上所粘附的至少一粒子，該非接觸式表面清潔裝置包括：一承載裝置，承載裝置包含：一承載基座，承載基座具有一多孔質臺面；一多孔質緩沖片，多孔質緩沖片固定于該多孔質臺面上，并且該多孔質緩沖片的孔隙密度大于該多孔質臺面的孔隙密度，軟質膠片設置于多孔質緩沖片上；及一吸氣定位模塊，吸氣定位模塊設置于該承載基座，并且該吸氣定位模塊位于與該多孔質臺面的設有該多孔質緩沖片的一側相對的相對側上，用以在吸氣時能經由該多孔質臺面的孔隙與該多孔質緩沖片的孔隙而將該軟質膠片平整地吸附定位于該多孔質緩沖片上；以及一清潔裝置，設置于該承載裝置，并且該清潔裝置包含：一清潔模塊，清潔模塊大致位于該多孔質緩沖片的上方并且包含有一吹氣單元及鄰設于該吹氣單元的一集塵單元，該清潔模塊用以在該軟質膠片設置于該多孔質緩沖片上時，能通過該吹氣單元的在該軟質膠片上吹氣使該粒子脫離該軟質膠片表面，并通過該集塵單元的吸氣而使脫離該軟質膠片的粒子被吸入于集塵單元內。

進一步地，所述清潔模塊包含有一對應于所述吹氣單元而設置的去靜電單元，并且所述去靜電單元能對所述吹氣單元所吹出的氣體進行去靜電。

進一步地，所述清潔模塊包含有一對應于所述集塵單元而設置的超音波單元，并且所述超音波單元用以在所述軟質膠片設置于所述多孔質緩沖片上時使所述軟質膠片的粘附有所述粒子的表面震動。

進一步地，所述清潔模塊所能清潔的范圍為距離所述吹氣單元的吹氣處與所述集塵單元的吸氣處0.5～5厘米的范圍。

進一步地，所述清潔裝置進一步包含有一位移模塊，并且所述位移模塊設置于所述承載基座上，而所述清潔模塊裝設于所述位移模塊并面向所述多孔質緩沖片；所述位移模塊能驅使所述清潔模塊相對于所述多孔質緩沖片移動，以使在所述軟質膠片設置于所述多孔質緩沖片上時，所述清潔模塊所能清潔的范圍完全覆蓋所述軟質膠片表面。

進一步地，所述清潔模塊的所述集塵單元圍繞地設置于所述吹氣單元的外側。

進一步地，所述承載裝置包含有一壓條，并且所述壓條能選擇性地設置于所述多孔質臺面上，用以在所述軟質膠片設置于所述多孔質緩沖片上時壓抵于所述軟質膠片的至少一邊緣。

進一步地，所述多孔質緩沖片為一能避免粘附所述粒子的鐵氟龍編織布。

所述承載裝置進一步包含有一黏合層，并且所述黏合層位于所述多孔質臺面與所述多孔質緩沖片之間，以使所述多孔質緩沖片被黏貼于所述多孔質臺面。

本實用新型實施例另提供一種表面清潔設備的承載裝置，承載裝置包括：一承載基座，承載基座具有一多孔質臺面；一多孔質緩沖片，多孔質緩沖片固定于該多孔質臺面上，并且該多孔質緩沖片的孔隙密度大于該多孔質臺面的孔隙密度，軟質膠片設置于多孔質緩沖片上；以及一吸氣定位模塊，吸氣定位模塊設置于該承載基座，并且該吸氣定位模塊位于與該多孔質臺面的設有該多孔質緩沖片的一側相對的相對側，用以在吸氣時能經由該多孔質臺面的孔隙與該多孔質緩沖片的孔隙而將該軟質膠片平整地吸附定位于該多孔質緩沖片上。