[實用新型]一種芯片開帽裝置有效

申請號：	201520032900.4	申請日：	2015-01-17
公開（公告）號：	CN204348683U	公開（公告）日：	2015-05-20
發明（設計）人：	尚躍;余夕霞	申請（專利權）人：	上海聚躍電子科技有限公司
主分類號：	H01L21/00	分類號：	H01L21/00
代理公司：	暫無信息	代理人：	暫無信息
地址：	200233 上海市***	國省代碼：	上海;31
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種芯片裝置
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【權利要求書】：

1.一種芯片開帽裝置，其特征在于，所述芯片開帽裝置包括YAG棒、泵燈、聚光鏡、第一反射鏡、第二反射鏡、高壓電源和樣品臺，所述YAG棒與泵燈平行布置且都位于聚光鏡內，所述YAG棒安裝在第一反射鏡與第二反射鏡之間，所述YAG棒的中心線分別與第一反射鏡的中心線、第二反射鏡的中心線重合，所述第二反射鏡固定在樣品臺與聚光鏡的底部之間，所述泵燈的兩端與高壓電源的兩端接通。

2.根據權利要求1所述的芯片開帽裝置，其特征在于，所述聚光鏡的截面形狀為方形。

3.根據權利要求1所述的芯片開帽裝置，其特征在于，所述芯片開帽裝置還包括電容，所述電容的兩端與高壓電源的兩端接通。

4.根據權利要求1所述的芯片開帽裝置，其特征在于，所述YAG棒與泵燈之間的間隙為1-3㎜。

5.根據權利要求1至4任一所述的芯片開帽裝置，其特征在于，所述第一反射鏡與第二反射鏡平行布置，所述第一反射鏡的反射率為99-100％，所述第二反射鏡的反射率為50％。

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