[實(shí)用新型]一種供給系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520022291.4
• 申請日: 2015-01-13
• 公開（公告）號: CN204332922U
• 公開（公告）日: 2015-05-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張文武;刁春華;周鵬
• 申請（專利權(quán)）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 上海光華專利事務(wù)所 31219
• 代理人: 余明偉

1.一種供給系統(tǒng)，其特征在于，所述供給系統(tǒng)至少包括：酸桶、第一供應(yīng)儲存罐以及第二供應(yīng)儲存罐，所述第一供應(yīng)儲存罐與所述第二供應(yīng)儲存罐的輸入端連接所述酸桶，所述第一供應(yīng)儲存罐與所述第二供應(yīng)儲存罐的輸出端連接到設(shè)備端，所述第一供應(yīng)儲存罐的側(cè)壁上設(shè)置有三個(gè)液位傳感器，自上而下分別為第一高液位傳感器、第一安全控制傳感器、第一低液位傳感器，所述第二供應(yīng)儲存罐的側(cè)壁上設(shè)置有三個(gè)液位傳感器，自上而下分別為第二高液位傳感器、第二安全控制傳感器、第二低液位傳感器。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的供給系統(tǒng)，其特征在于：所述酸桶與所述第一供應(yīng)儲存罐和所述第二供應(yīng)儲存罐的輸入端通過輸入管路連接，所述輸入管路上設(shè)置有補(bǔ)酸泵、一級過濾器以及進(jìn)口閥。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的供給系統(tǒng)，其特征在于：所述設(shè)備端與所述第一供應(yīng)儲存罐和所述第二供應(yīng)儲存罐的輸出端通過輸出管路連接，所述輸出管路上設(shè)置有二級過濾器及出口閥。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的供給系統(tǒng)，其特征在于：所述第一高液位傳感器、所述第一安全控制傳感器以及所述第一低液位傳感器垂直分布，所述第二高液位傳感器、所述第二安全控制傳感器以及所述第二低液位傳感器垂直分布。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的供給系統(tǒng)，其特征在于：還包括設(shè)置于所述第一高液位傳感器上方的第一安全高液位傳感器、設(shè)置于所述第二高液位傳感器上方的第二安全高液位傳感器、設(shè)置于所述第一低液位傳感器下方的第一安全低液位傳感器以及設(shè)置于所述第二低液位傳感器下方的第二安全低液位傳感器。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的供給系統(tǒng)，其特征在于：還包括連接于各傳感器的可編程邏輯控制器。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的供給系統(tǒng)，其特征在于：還包括連接于所述可編程邏輯控制器的數(shù)據(jù)采集與監(jiān)視控制系統(tǒng)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的供給系統(tǒng)，其特征在于：所述第一安全控制傳感器與所述第一低液位傳感器之間的補(bǔ)給物不少于4個(gè)小時(shí)的輸出量，所述第二安全控制傳感器與所述第二低液位傳感器之間的補(bǔ)給物不少于4個(gè)小時(shí)的輸出量。