[實用新型]旋轉靶材芯軸機構

有效

• 申請號: 201520009628.8
• 申請日: 2015-01-08
• 公開（公告）號: CN204387313U
• 公開（公告）日: 2015-06-10
• 發明（設計）人: 曾墩風;羅永春;石煜;羅文富
• 申請（專利權）人: 廈門映日新材料科技有限公司
• 主分類號: F16J15/12
• 分類號: F16J15/12;C23C14/34
• 代理公司: 廈門市精誠新創知識產權代理有限公司 35218
• 代理人: 方惠春

技術領域

本實用新型涉及一種旋轉靶材芯軸機構，按國際專利分類表(IPC)劃分屬于靶材制造技術領域。

背景技術

?旋轉靶材在加工過程中因上時間處于高溫加工中，而靶材本身遇到高溫會出現裂痕，而未解決上述問題在噴涂靶材的背管內通入冷卻液，進而實現靶材的冷卻，從而確保靶材的質量。

但現有針對旋轉靶材的冷卻結構為芯軸，而現有芯軸的結構中端蓋扣設在背管兩端并采用密封圈密封，而這種端蓋的密封結構其占據背管兩端端頭較大空間，進而無法達到背管兩端短狗冷卻的效果，進而靶材局部高溫而斷裂，從而無法達到有效冷卻的目的。

由此，本發明人考慮對現有的旋轉靶材芯軸結構進行改進，本案由此產生。

實用新型內容

?針對現有技術的不足，本實用新型提供了一種旋轉靶材芯軸機構，其采用石棉加鋁板的結構實現背管與芯軸機構之間的密封，用以實現背管兩端端部的冷卻，從而提高冷卻效果，進而有效避免因噴涂過程中過熱導致靶材開裂等現象。

為達到上述目的，本實用新型是通過以下技術方案實現的：

旋轉靶材芯軸機構，該芯軸機構位于旋轉靶材的中空背管內，所述芯軸機構包括中空管體及左、右端頭，所述左、右端頭分別于管體的左、右端配合連接并形成一體式芯軸結構；所述左、右端頭分別套設有密封結構，而該密封結構扣設在背管兩端的開口處，形成背管兩端的密封結構。

進一步，所述密封結構包括石棉層及鋁板，所述鋁板扣設在背管兩端的開口處，而所述石棉層是夾設在背管與鋁板之間，用以實現背管兩端的冷卻密封。

進一步，所述石棉層的厚度為4~6mm。

進一步，所述左、右端頭內均具開設有通孔，所述通孔包括沿著左、右端頭軸心開設的直孔，及多通交叉孔，所述多通交叉孔與左、右端頭中直孔底端連通，該多通交叉孔與中空背管連通，從而獲得沿左或右端頭的通孔、中空背管及右或左端頭的通孔相互連通形成的實現冷卻液流通的冷卻流道。

進一步，所述多通交叉孔為開設在左、右端頭內的多條管狀通孔，而該多條管狀通孔的中部相互交叉設置且相互連通形成中央交叉部，而所述直孔的底端與中央交叉部連通，從而形成具有與中空背管內腔連通的多通式的孔結構。

進一步，所述左、右端頭上均套設有固定法蘭，每個固定法蘭內圓與左或右端頭外圓配合卡接并通過密封圈密封，而每個固定法蘭的外圓與背管內圓卡接并通過前述密封結構密封。

進一步，所述芯軸機構為不銹鋼軸體。

與現有技術相比較，本實用新型的優點：

本實用新型在背管兩端開口處利用石棉與鋁板實現密封，令冷卻水可以流至背管兩端處，從而有效實現了背管端頭處的冷卻，進而提升芯軸機構對背管的冷卻效果，從而有效避免因噴涂過程中過熱導致靶材開裂等現象。

附圖說明

圖1是本實用新型結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型作進一步說明：

實施例：請參閱圖1所示，旋轉靶材芯軸機構，該芯軸機構位于旋轉靶材的中空背管A內，所述芯軸機構包括中空管體1及左、右端頭2、3，所述左、右端頭2、3分別于管體1的左、右端2、3配合連接并形成一體式芯軸結構，所述芯軸機構為不銹鋼軸體。

請參閱圖1所示，前述左、右端頭2、3上均套設有固定法蘭4，每個固定法蘭4內圓與左或右端頭2或3外圓配合卡接并通過密封圈密封，而每個固定法蘭4的外圓與背管A內圓卡接并通過前述密封結構5密封。

請參閱圖1所示，前述密封結構5套設在左、右端頭2、3上并扣設在背管A兩端的開口處，形成背管A兩端的密封結構。所述密封結構5包括石棉層51及鋁板52，所述鋁板52扣設在背管A兩端的開口處，而所述石棉層51是夾設在背管A與鋁板52之間，用以實現背管兩端的冷卻密封，所述石棉層51的厚度為4~6mm。

請參閱圖1所示，前述左、右端頭2、3內均具開設有通孔6，所述通孔包括沿著左、右端頭2、3軸心開設的直孔61，及多通交叉孔62，所述多通交叉孔62與左、右端頭2、3中直孔61底端連通，該多通交叉孔62與中空背管A連通，從而獲得沿左或右端頭的通孔、中空背管及右或左端頭的通孔相互連通形成的實現冷卻液流通的冷卻流道，所述多通交叉孔62為開設在左、右端頭2、3內的多條管狀通孔，而該多條管狀通孔的中部相互交叉設置且相互連通形成中央交叉部，而所述直孔的底端與中央交叉部連通，從而形成具有與中空背管內腔連通的多通式的孔結構。