[實(shí)用新型]旋轉(zhuǎn)靶材芯軸機(jī)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520009628.8
• 申請(qǐng)日: 2015-01-08
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN204387313U
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-06-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 曾墩風(fēng);羅永春;石煜;羅文富
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廈門(mén)映日新材料科技有限公司
• 主分類號(hào): F16J15/12
• 分類號(hào): F16J15/12;C23C14/34
• 代理公司: 廈門(mén)市精誠(chéng)新創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 35218
• 代理人: 方惠春

1.旋轉(zhuǎn)靶材芯軸機(jī)構(gòu)，該芯軸機(jī)構(gòu)位于旋轉(zhuǎn)靶材的中空背管內(nèi)，其特征在于：所述芯軸機(jī)構(gòu)包括中空管體及左、右端頭，所述左、右端頭分別于管體的左、右端配合連接并形成一體式芯軸結(jié)構(gòu)；所述左、右端頭分別套設(shè)有密封結(jié)構(gòu)，而該密封結(jié)構(gòu)扣設(shè)在背管兩端的開(kāi)口處，形成背管兩端的密封結(jié)構(gòu)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)靶材芯軸機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述密封結(jié)構(gòu)包括石棉層及鋁板，所述鋁板扣設(shè)在背管兩端的開(kāi)口處，而所述石棉層是夾設(shè)在背管與鋁板之間，用以實(shí)現(xiàn)背管兩端的冷卻密封。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的旋轉(zhuǎn)靶材芯軸機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述石棉層的厚度為4~6mm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)靶材芯軸機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述左、右端頭內(nèi)均具開(kāi)設(shè)有通孔，所述通孔包括沿著左、右端頭軸心開(kāi)設(shè)的直孔，及多通交叉孔，所述多通交叉孔與左、右端頭中直孔底端連通，該多通交叉孔與中空背管連通，從而獲得沿左或右端頭的通孔、中空背管及右或左端頭的通孔相互連通形成的實(shí)現(xiàn)冷卻液流通的冷卻流道。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的旋轉(zhuǎn)靶材芯軸機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述多通交叉孔為開(kāi)設(shè)在左、右端頭內(nèi)的多條管狀通孔，而該多條管狀通孔的中部相互交叉設(shè)置且相互連通形成中央交叉部，而所述直孔的底端與中央交叉部連通，從而形成具有與中空背管內(nèi)腔連通的多通式的孔結(jié)構(gòu)。