[發(fā)明專利]應(yīng)用于紅外敏感元件的紅外濾光片有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201511024957.0 | 申請(qǐng)日: | 2015-12-30 |
| 公開(公告)號(hào): | CN105589121A | 公開(公告)日: | 2016-05-18 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 王繼平;呂晶;胡偉琴 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 杭州麥樂克電子科技有限公司 |
| 主分類號(hào): | G02B5/20 | 分類號(hào): | G02B5/20 |
| 代理公司: | 杭州斯可睿專利事務(wù)所有限公司 33241 | 代理人: | 周豪靖 |
| 地址: | 311188 浙江省杭州市*** | 國(guó)省代碼: | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 應(yīng)用于 紅外 敏感 元件 濾光 | ||
1.一種應(yīng)用于紅外敏感元件的紅外濾光片,包括成分為Si單晶硅的基板(2)以 及分別位于基板兩側(cè)面的第一鍍膜層(1)和第二鍍膜層(3),其特征是所述第 一鍍膜層(1)包含從內(nèi)向外依次排列的厚度為110納米的Ge層、厚度為319 納米的ZnS層、厚度為149納米的Ge層、厚度為583納米的ZnS層、厚度為 1000納米的YF3層、厚度為239納米的ZnS層、所述第二鍍膜層(3)是厚度為 1100納米的C層。
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