[發明專利]一種真空鍍膜冷卻裝置

有效

• 申請號: 201511013558.4
• 申請日: 2015-12-31
• 公開（公告）號: CN105441885B
• 公開（公告）日: 2018-10-09
• 發明（設計）人: 王乃用;劉俊林;李偉;蘇衍憲;孟國強;李常興;邢尋勇;錢亞杰;韓珅;田利
• 申請（專利權）人: 菏澤天宇科技開發有限責任公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 濟南泉城專利商標事務所 37218
• 代理人: 張貴賓

本發明涉及泡沫金屬生產領域，特別涉及一種真空鍍膜冷卻裝置。該真空鍍膜冷卻裝置，包括殼體，殼體上下分別設有法蘭；所述殼體內壁上設有N組相對的陰極靶和冷卻裝置；所述冷卻裝置與循環管相連，陰極靶與設在殼體外壁的濺射電源相連；所述冷卻裝置與密封室連接，該密封室固定在殼體內壁上；所述濺射電源等通過PCL控制器控制。本發明為鍍膜區域提供良好的溫度環境，其膜芯溫度在?10℃～80℃范圍內可控；本發明冷卻機構與膜芯充分接觸，利用冷卻機構里的冷卻介質將膜芯上的熱量帶走。避免造成膜芯結構的損傷，從而達到提高泡沫金屬的產品質量之目的。

（一）技術領域

本發明涉及泡沫金屬生產領域，特別涉及一種真空鍍膜冷卻裝置。

（二）背景技術

泡沫金屬是一種具有海綿狀三維多孔結構的金屬材料。連續泡沫金屬（例如：泡沫鎳）的規模化生產開始于21世紀初，是一種應用領域廣泛的新技術材料。其中泡沫鎳、泡沫銅可用于鎳氫電池、燃料電池的電極材料，汽車催化劑轉換器、催化燃燒、柴油車黑煙凈化器的催化劑載體，可用作過濾器材料，處理流體中磁性粒子的磁流導體，用于儲氫媒介、熱交換媒介。

隨著泡沫金屬的應用領域的不斷擴大，泡沫金屬的生產效率和成本成為其生產企業的瓶頸問題。在泡沫金屬的生產過程中涉及泡沫金屬產品模芯導電化處理過程，模芯導電化處理可采用真空鍍膜技術、化學鍍或浸涂導電膠的方法。真空鍍膜工藝具有產品純度高、無污染，成品阻值均勻等顯著優勢，在泡沫金屬生產中已逐步替代化學鍍和浸涂導電膠工藝。

用于連續泡沫金屬生產模芯導電化處理過程的真空鍍膜過程要在10-1Pa高真空環境下進行。由于真空狀態下熱量的對流、輻射要比大氣狀態下差得多。真空鍍膜時，鍍膜區域溫度達到300℃，這就會造成高分子泡綿基體材料結構的損傷，從而影響了泡沫金屬的產品質量。

（三）發明內容

本發明為了彌補現有技術的不足，提供了一種真空鍍膜冷卻裝置，可以為鍍膜區域提供良好的溫度環境，改善鍍膜區域的冷卻條件，降低膜芯的溫度，進而提高泡沫金屬產品的質量。

本發明是通過如下技術方案實現的：

一種真空鍍膜冷卻裝置，其特征在于：包括殼體，殼體內設有N組相對的陰極靶和冷卻裝置；所述陰極靶固定在殼體內壁上，冷卻裝置與密封室連接，該密封室固定在殼體內壁上；所述冷卻裝置與循環管相連，陰極靶與設備的濺射電源相連；所述濺射電源等通過PCL控制器控制。

所述陰極靶表面為平面，冷卻裝置為長方體冷卻板。

所述殼體內連接有密封室，密封室通過螺母固定有冷卻板，該冷卻板設有N條冷卻管道；所述冷卻板上端設有回水管，下端設有進水管。

所述冷卻管道末端設有通水口，該通水口交錯排列。

所述殼體內連接有密封室，密封室通過螺母固定有冷卻板，該冷卻板設有冷卻盤管；所述冷卻板上端設有回水管，下端設有進水管。

所述陰極靶表面為弧面，冷卻裝置為圓柱形冷卻輥。

所述殼體內連接有密封室，密封室通過法蘭固定連接有冷卻輥；所述密封室內設有與殼體相通的進水道和出水道，進水道與設在殼體外的進水孔相連，出水道與設在殼體外的出水孔相連；所述冷卻輥內部設有中空的中軸，該中軸內設有輸水管；所述輸水管一端通過進水道與進水口相連，輸水管另一端與進水管相連；所述進水管與設在冷卻輥表面內的冷卻管道相連，冷卻管道另一端連接有回水管；所述回水管與中軸連接，該中軸通過出水道與出水孔相連。

所述冷卻管道末端設有通水口，該通水口交錯排列。