[發明專利]一種真空鍍膜冷卻裝置

有效

• 申請號: 201511013558.4
• 申請日: 2015-12-31
• 公開（公告）號: CN105441885B
• 公開（公告）日: 2018-10-09
• 發明（設計）人: 王乃用;劉俊林;李偉;蘇衍憲;孟國強;李常興;邢尋勇;錢亞杰;韓珅;田利
• 申請（專利權）人: 菏澤天宇科技開發有限責任公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 濟南泉城專利商標事務所 37218
• 代理人: 張貴賓

1.一種真空鍍膜冷卻裝置，其特征在于：包括殼體，殼體內設有N組相對的陰極靶和冷卻裝置；所述陰極靶固定在殼體內壁上，冷卻裝置與密封室連接，該密封室固定在殼體內壁上；所述冷卻裝置與循環管相連，陰極靶與設備的濺射電源相連；所述濺射電源通過PCL控制器控制； 所述陰極靶表面為弧面，冷卻裝置為圓柱形冷卻輥； 所述殼體內連接有密封室，密封室通過法蘭固定連接有冷卻輥；所述密封室內設有與殼體相通的進水道和出水道，進水道與設在殼體外的進水孔相連，出水道與設在殼體外的出水孔相連；所述冷卻輥內部設有中空的中軸，該中軸內設有輸水管；所述輸水管一端通過進水道與進水口相連，輸水管另一端與進水管相連；所述進水管與設在冷卻輥表面內的冷卻管道相連，冷卻管道另一端連接有回水管；所述回水管與中軸連接，該中軸通過出水道與出水孔相連。

2.根據權利要求1所述的真空鍍膜冷卻裝置，其特征在于：所述冷卻管道末端設有通水口，該通水口交錯排列。

3.根據權利要求1所述的真空鍍膜冷卻裝置，其特征在于：所述殼體內連接有密封室，密封室通過法蘭固定連接有冷卻輥；所述密封室內設有與殼體相通的進水道和出水道，進水道與設在殼體外的進水孔相連，出水道與設在殼體外的出水孔相連；所述冷卻輥內部設有中空的中軸，該中軸內設有輸水管；所述輸水管一端通過進水道與進水口相連，輸水管另一端與進水管相連；所述進水管與設在冷卻輥表面內的冷卻盤管相連，冷卻盤管另一端連接有回水管；所述回水管與中軸連接，該中軸通過出水道與出水孔相連。