[發明專利]一種半導體專用設備用主軸角度自動調整裝置

在審

• 申請號: 201510970115.8
• 申請日: 2015-12-21
• 公開（公告）號: CN105563317A
• 公開（公告）日: 2016-05-11
• 發明（設計）人: 白陽;楊生榮;劉宇光;高岳;賀東葛;張景瑞
• 申請（專利權）人: 北京中電科電子裝備有限公司
• 主分類號: B24B41/04
• 分類號: B24B41/04;B24B49/04;B24B51/00
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;安利霞

技術領域

本發明涉及半導體加工技術領域，尤其涉及一種半導體專用設備用主軸角 度自動調整裝置。

背景技術

在半導體專用設備制造過程中，實現磨削主軸角度自動調整是一項關鍵技 術，在現代化的生產設備中，常見的對主軸角度調整方法基本為手動調整，其 操作難度大，對于調整空間要求較高，力量要求較大，還存在難于控制的問題。

發明內容

本發明提供了一種半導體專用設備用主軸角度自動調整裝置，解決了現有 技術中主軸調度難以自動調整的問題。

依據本發明的一個方面，提供了一種半導體專用設備用主軸角度自動調整 裝置，包括：

主軸，與承片臺相對設置，其中，主軸與承片臺之間設置有非接觸式測量 儀；

控制機構，與非接觸式測量儀連接，控制機構根據非接觸式測量儀傳輸來 的厚度變化信號輸出一控制信號；

傳動機構，與控制機構連接，傳動機構根據控制機構輸出的控制信號輸出 驅動動力；

調整機構，調整機構的一端與傳動機構連接，調整機構的另一端與主軸固 定連接；其中，調整機構在傳動機構的驅動動力下調整主軸的位置及角度。

可選地，該半導體專用設備用主軸角度自動調整裝置還包括：一固定底座， 固定底座包括中空結構，傳動機構穿過中空結構與調整機構連接。

可選地，控制機構為可編程控制器。

可選地，傳動機構包括：

步進電機，與可編程控制器連接；

聯軸器，聯軸器的一端與步進電機連接，聯軸器的另一端穿過中空結構與 調整機構連接；其中，聯軸器在步進電機的作用下在中空結構內做旋轉運動。

可選地，固定底座上設置有一鉸鏈，聯軸器通過鉸鏈與調整機構連接。

可選地，傳動機構還包括：設置于步進電機與聯軸器之間的減速器。

可選地，調整機構包括：

兩個相對設置的限位底板；

調節塊，調節塊的一端與兩個限位底板中的一個限位底板軸接，調節塊的 另一端與兩個限位底板中的另一個限位底板軸接，調節塊可沿自身軸向方向轉 動；

調整底板，與限位底板間隔設置，且主軸與調整底板相切設置；調整底板 上設置有一滑塊，聯軸器通過鉸鏈與滑塊連接；其中，調整底板與限位底板之 間的間隔距離可調。

可選地，鉸鏈、滑塊以及調節塊通過絲杠固定連接。

可選地，調節塊的兩端分別通過一固定塊與限位底板連接。

本發明的實施例的有益效果是：

本發明通過非接觸式測量儀實時監測半導體加工過程中材料的厚度變化 值并反饋至控制機構，以使控制機構向傳動機構輸出一控制調整機構輸出動力 的控制信號，以自動調整主軸的位置及角度，解決了主軸角度難以控制調整的 問題；此外，本發明結構簡單、安裝便捷、應用方便且成本低廉，可廣泛應用 于半導體專用設備中。

附圖說明

圖1表示本發明的半導體專用設備用主軸角度自動調整裝置結構示意圖 一；

圖2表示本發明的半導體專用設備用主軸角度自動調整裝置結構示意圖 二；

圖3表示本發明的主軸與承片臺之間的配合關系示意圖。

其中圖中：1、主軸，2、控制機構，3、傳動機構，4、調整機構，5、固 定底座，6、承片臺；

11、非接觸式測量儀；

31、步進電機，32、聯軸器，33、減速器；

41、限位底板，42、調節塊，43、調整底板，44、固定塊；

51、中空結構。

具體實施方式

下面將參照附圖更詳細地描述本發明的示例性實施例。雖然附圖中顯示了 本發明的示例性實施例，然而應當理解，可以以各種形式實現本發明而不應被 這里闡述的實施例所限制。相反，提供這些實施例是為了能夠更透徹地理解本 發明，并且能夠將本發明的范圍完整的傳達給本領域的技術人員。

實施例

如圖1至圖3所示，本發明的實施例提供了一種半導體專用設備用主軸角 度自動調整裝置，具體包括：與承片臺6相對設置的主軸1，主軸1與承片臺 6之間設置有非接觸式測量儀11；與非接觸式測量儀11連接的控制機構2， 與控制機構2連接的傳動機構3，以及與傳動機構3連接的調整機構4。