[發明專利]一種半導體專用設備用主軸角度自動調整裝置

在審

• 申請號: 201510970115.8
• 申請日: 2015-12-21
• 公開（公告）號: CN105563317A
• 公開（公告）日: 2016-05-11
• 發明（設計）人: 白陽;楊生榮;劉宇光;高岳;賀東葛;張景瑞
• 申請（專利權）人: 北京中電科電子裝備有限公司
• 主分類號: B24B41/04
• 分類號: B24B41/04;B24B49/04;B24B51/00
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;安利霞

1.一種半導體專用設備用主軸角度自動調整裝置，其特征在于，包括：

主軸(1)，所述主軸(1)與承片臺(6)相對設置，其中，所述主軸(1) 與所述承片臺(6)之間設置有非接觸式測量儀(11)；

控制機構(2)，與所述非接觸式測量儀(11)連接，所述控制機構(2) 根據所述非接觸式測量儀(11)傳輸來的厚度變化信號輸出一控制信號；

傳動機構(3)，與所述控制機構(2)連接，所述傳動機構(3)根據所述 控制機構(2)輸出的控制信號輸出驅動動力；

調整機構(4)，所述調整機構(4)的一端與所述傳動機構(3)連接，所 述調整機構(4)的另一端與所述主軸(1)固定連接；其中，所述調整機構(4) 在所述傳動機構(3)的驅動動力下調整所述主軸(1)的位置及角度。

2.根據權利要求1所述的半導體專用設備用主軸角度自動調整裝置，其 特征在于，還包括：一固定底座(5)，所述固定底座(5)包括中空結構(51)， 所述傳動機構(3)穿過所述中空結構(51)與所述調整機構(4)連接。

3.根據權利要求2所述的半導體專用設備用主軸角度自動調整裝置，其 特征在于，所述控制機構(2)為可編程控制器。

4.根據權利要求3所述的半導體專用設備用主軸角度自動調整裝置，其 特征在于，所述傳動機構(3)包括：

步進電機(31)，與所述可編程控制器連接；

聯軸器(32)，所述聯軸器(32)的一端與所述步進電機(31)連接，所 述聯軸器(32)的另一端穿過所述中空結構(51)與所述調整機構(4)連接； 其中，所述聯軸器(32)在所述步進電機(31)的作用下在所述中空結構(51) 內做旋轉運動。

5.根據權利要求4所述的半導體專用設備用主軸角度自動調整裝置，其 特征在于，所述固定底座(5)上設置有一鉸鏈，所述聯軸器(32)通過所述 鉸鏈與所述調整機構(4)連接。

6.根據權利要求5所述的半導體專用設備用主軸角度自動調整裝置，其 特征在于，所述傳動機構(3)還包括：設置于所述步進電機(31)與所述聯 軸器(32)之間的減速器(33)。

7.根據權利要求5所述的半導體專用設備用主軸角度自動調整裝置，其 特征在于，所述調整機構(4)包括：

兩個相對設置的限位底板(41)；

調節塊(42)，所述調節塊(42)的一端與兩個限位底板(41)中的一個 限位底板(41)軸接，所述調節塊(42)的另一端與所述兩個限位底板(41) 中的另一個限位底板(41)軸接，所述調節塊(42)可沿自身軸向方向轉動；

調整底板(43)，與所述限位底板(41)間隔設置，且所述主軸(1)與所 述調整底板(43)相切設置；所述調整底板(43)上設置有一滑塊，所述聯軸 器(32)通過所述鉸鏈與所述滑塊連接；其中，所述調整底板(43)與所述限 位底板(41)之間的間隔距離可調。

8.根據權利要求7所述的半導體專用設備用主軸角度自動調整裝置，其 特征在于，所述鉸鏈、所述滑塊以及所述調節塊(42)通過絲杠固定連接。

9.根據權利要求7所述的半導體專用設備用主軸角度自動調整裝置，其 特征在于，所述調節塊(42)的兩端分別通過一固定塊(44)與所述限位底板 (41)連接。