[發明專利]一種高純貴金屬蒸發材料及其制備方法

在審

• 申請號: 201510958458.2
• 申請日: 2015-12-18
• 公開（公告）號: CN105506557A
• 公開（公告）日: 2016-04-20
• 發明（設計）人: 張巧霞;張濤;曹惠;李勇軍;張春利;賈存鋒;徐國進;呂超
• 申請（專利權）人: 有研億金新材料有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;B22D11/116
• 代理公司: 北京北新智誠知識產權代理有限公司 11100
• 代理人: 劉茵

1.一種高純貴金屬蒸發材料的制備方法，其特征在于，該方法包括如下步驟：

I.以高純貴金屬為原材料，將原材料置于真空連續鑄造爐的“底漏式”石墨 坩堝中，坩堝底漏孔連接直管式水冷結晶器，預先由引棒密封坩堝底漏孔形成密 閉的熔煉與結晶系統；

II.采用真空泵組對爐室進行抽真空，使爐室真空度達到×10^-1Pa以上；

III.設置熔體精煉溫度為金屬熔點以上150～200℃，連續鑄造溫度為熔點以上 100～150℃、結晶器冷卻水溫度為20～60℃；

IV.將原材料緩慢加熱至熔點溫度，后再將熔液溫度提高至熔點以上150～200 ℃，并保溫5～60min，進行熔液精煉、充分除氣和除雜；

V.連續鑄造時，先將熔液溫度調整至熔點以上100～150℃，關閉真空泵系統， 向爐室返充氬氣作為保護氣體；

VI.引鑄：驅動引棒將熔體向下牽引，熔體經過結晶器時會受冷凝固，引出的 絲材夾持于結晶器下方兩驅動輥輪之間；

VII.將坩堝內部所有熔體連續引鑄出來，得到高純貴金屬蒸發材料。

2.如權利要求1所述的高純貴金屬蒸發材料的制備方法，其特征在于，所述 步驟(1)熔煉時須采用純度為99.99wt.％以上的金屬原材料。

3.如權利要求1所述的高純貴金屬蒸發材料的制備方法，其特征在于，熔煉 及連續鑄造所用的坩堝、水冷結晶器和引棒均為高純石墨材料，其純度大于99.99 wt.％。

4.如權利要求1所述的高純貴金屬蒸發材料的制備方法，其特征在于，所述 步驟(1)所用水冷結晶器的內孔徑為φ3～12mm。

5.如權利要求1-4中任一項所述的高純貴金屬蒸發材料的制備方法，其特征在 于，所述的貴金屬為金、銀、鉑或鈀。

6.如權利要求5所述的高純貴金屬蒸發材料的制備方法，其特征在于，所述 步驟VI熔體經過結晶器的時間為10～280s，引鑄過程中移動速度為0.1～5mm/s。

7.如權利要求6所述的高純貴金屬蒸發材料的制備方法，其特征在于，所述 步驟VI熔體經過結晶器的時間為20～140s，引鑄過程中移動速度為1～5mm/s。

8.一種高純貴金屬蒸發材料，其特征在于，其是采用權利要求1-7中任一項所 述的方法制備的。