[發(fā)明專利]一種高純貴金屬蒸發(fā)材料及其制備方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201510958458.2
• 申請(qǐng)日: 2015-12-18
• 公開（公告）號(hào): CN105506557A
• 公開（公告）日: 2016-04-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張巧霞;張濤;曹惠;李勇軍;張春利;賈存鋒;徐國(guó)進(jìn);呂超
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 有研億金新材料有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/24
• 分類號(hào): C23C14/24;B22D11/116
• 代理公司: 北京北新智誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11100
• 代理人: 劉茵

1.一種高純貴金屬蒸發(fā)材料的制備方法，其特征在于，該方法包括如下步驟：

I.以高純貴金屬為原材料，將原材料置于真空連續(xù)鑄造爐的“底漏式”石墨 坩堝中，坩堝底漏孔連接直管式水冷結(jié)晶器，預(yù)先由引棒密封坩堝底漏孔形成密 閉的熔煉與結(jié)晶系統(tǒng)；

II.采用真空泵組對(duì)爐室進(jìn)行抽真空，使?fàn)t室真空度達(dá)到×10^-1Pa以上；

III.設(shè)置熔體精煉溫度為金屬熔點(diǎn)以上150～200℃，連續(xù)鑄造溫度為熔點(diǎn)以上 100～150℃、結(jié)晶器冷卻水溫度為20～60℃；

IV.將原材料緩慢加熱至熔點(diǎn)溫度，后再將熔液溫度提高至熔點(diǎn)以上150～200 ℃，并保溫5～60min，進(jìn)行熔液精煉、充分除氣和除雜；

V.連續(xù)鑄造時(shí)，先將熔液溫度調(diào)整至熔點(diǎn)以上100～150℃，關(guān)閉真空泵系統(tǒng)， 向爐室返充氬氣作為保護(hù)氣體；

VI.引鑄：驅(qū)動(dòng)引棒將熔體向下牽引，熔體經(jīng)過結(jié)晶器時(shí)會(huì)受冷凝固，引出的 絲材夾持于結(jié)晶器下方兩驅(qū)動(dòng)輥輪之間；

VII.將坩堝內(nèi)部所有熔體連續(xù)引鑄出來，得到高純貴金屬蒸發(fā)材料。

2.如權(quán)利要求1所述的高純貴金屬蒸發(fā)材料的制備方法，其特征在于，所述 步驟(1)熔煉時(shí)須采用純度為99.99wt.％以上的金屬原材料。

3.如權(quán)利要求1所述的高純貴金屬蒸發(fā)材料的制備方法，其特征在于，熔煉 及連續(xù)鑄造所用的坩堝、水冷結(jié)晶器和引棒均為高純石墨材料，其純度大于99.99 wt.％。

4.如權(quán)利要求1所述的高純貴金屬蒸發(fā)材料的制備方法，其特征在于，所述 步驟(1)所用水冷結(jié)晶器的內(nèi)孔徑為φ3～12mm。

5.如權(quán)利要求1-4中任一項(xiàng)所述的高純貴金屬蒸發(fā)材料的制備方法，其特征在 于，所述的貴金屬為金、銀、鉑或鈀。

6.如權(quán)利要求5所述的高純貴金屬蒸發(fā)材料的制備方法，其特征在于，所述 步驟VI熔體經(jīng)過結(jié)晶器的時(shí)間為10～280s，引鑄過程中移動(dòng)速度為0.1～5mm/s。

7.如權(quán)利要求6所述的高純貴金屬蒸發(fā)材料的制備方法，其特征在于，所述 步驟VI熔體經(jīng)過結(jié)晶器的時(shí)間為20～140s，引鑄過程中移動(dòng)速度為1～5mm/s。

8.一種高純貴金屬蒸發(fā)材料，其特征在于，其是采用權(quán)利要求1-7中任一項(xiàng)所 述的方法制備的。