[發(fā)明專利]復(fù)合屏蔽型壓電膜傳感器

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201510934785.4
• 申請(qǐng)日: 2015-12-15
• 公開（公告）號(hào): CN105588585A
• 公開（公告）日: 2016-05-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孟召龍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 感至源電子科技（上海）有限公司
• 主分類號(hào): G01D5/12
• 分類號(hào): G01D5/12;H01L41/083
• 代理公司: 上海精晟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31253
• 代理人: 黃佳麗

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種壓電膜傳感器，特別涉及一種復(fù)合屏蔽型壓電膜傳 感器。

背景技術(shù)

作為一種動(dòng)態(tài)應(yīng)變傳感器，壓電膜傳感器因其獨(dú)一無二的特性，在 人體動(dòng)態(tài)特征檢測(cè)、聲學(xué)拾音、接觸式傳感器、體育測(cè)力等領(lǐng)域有著眾 多的應(yīng)用。柔性壓電薄膜作為壓電膜的一種，因其可隨意彎曲，可大面 積成膜，與人體密度匹配良好等優(yōu)點(diǎn)，在越來越多的領(lǐng)域都有著不可替 代的應(yīng)用。

但是，單個(gè)壓電膜傳感器輸出信號(hào)有限，當(dāng)采集微小信號(hào)的時(shí)候， 由于其活性不夠，導(dǎo)致信噪比較低，因而輸出波形有很大的雜波，不能 真實(shí)還原原始信號(hào)的波形。

并且，提高單個(gè)壓電膜靈敏度的方法有限，不可能無限提高其活性。 其靈敏度與壓電陶瓷或其他壓電材料仍有較大的差距

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的提供的一種復(fù)合屏蔽型壓電膜傳感器，以克服上述現(xiàn)有技 術(shù)的缺陷。

本發(fā)明的提供的一種復(fù)合屏蔽型壓電膜傳感器，包括依次設(shè)置的上 絕緣層、上金屬層、至少一層復(fù)合電極層、下壓電膜層、下金屬層和下 絕緣層；每一層復(fù)合電極層包括壓電膜層和信號(hào)層。

本發(fā)明的提供的一種復(fù)合屏蔽型壓電膜傳感器，還可以具有這樣的 特征：上絕緣層和/或下絕緣層的材質(zhì)為塑料。

本發(fā)明的提供的一種復(fù)合屏蔽型壓電膜傳感器，還可以具有這樣的 特征：塑料為PET或PP或PVC或PE。

本發(fā)明的提供的一種復(fù)合屏蔽型壓電膜傳感器，還可以具有這樣的 特征：上金屬層和/或下金屬層的材質(zhì)為鋁或銅或銀。

本發(fā)明的提供的一種復(fù)合屏蔽型壓電膜傳感器，還可以具有這樣的 特征：信號(hào)層的材質(zhì)為鋁或銅或銀。

本發(fā)明的提供的一種復(fù)合屏蔽型壓電膜傳感器，還可以具有這樣的 特征：上絕緣層和/或下絕緣層的厚度為30至60微米。

本發(fā)明的提供的一種復(fù)合屏蔽型壓電膜傳感器，還可以具有這樣的 特征：信號(hào)層被蝕刻成波浪的形狀，形成信號(hào)導(dǎo)通的電路通道。

本發(fā)明的提供的一種復(fù)合屏蔽型壓電膜傳感器，還可以具有這樣的 特征：上金屬層和下金屬層具有與電路通道相對(duì)應(yīng)的位置具有分隔線。

本發(fā)明的提供的一種復(fù)合屏蔽型壓電膜傳感器，還可以具有這樣的 特征：分割線的寬度為0.1至0.5毫米。

發(fā)明的有益效果

本發(fā)明提供的復(fù)合屏蔽型壓電膜傳感器，中間有多層壓電膜及金屬 層組成的復(fù)合結(jié)構(gòu)組成，根據(jù)需要可以形成了N個(gè)組列，具有兩個(gè)信號(hào)輸 出的壓電膜。該結(jié)構(gòu)共有N+1層壓電膜具有輸出能力，相比單層壓電膜的 結(jié)構(gòu)信號(hào)輸出能力大了N+1倍。

附圖說明

圖1是實(shí)施例一中復(fù)合屏蔽型壓電膜傳感器的結(jié)構(gòu)圖。

圖2是實(shí)施例一中復(fù)合屏蔽型壓電膜傳感器的分層圖。

圖3是實(shí)施例二中復(fù)合屏蔽型壓電膜傳感器的結(jié)構(gòu)圖。

圖4是實(shí)施例三中復(fù)合屏蔽型壓電膜傳感器的結(jié)構(gòu)圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步的描述。

實(shí)施例一

圖1是復(fù)合屏蔽型壓電膜傳感器的結(jié)構(gòu)圖。

圖2是復(fù)合屏蔽型壓電膜傳感器的分層圖。

如圖1和圖2所示，復(fù)合屏蔽型壓電膜傳感器，從上到下的層依次為 上絕緣層1、上金屬層2、復(fù)合電極層10、下壓電膜層5、下金屬層6和下 絕緣層7。

上絕緣層1，優(yōu)選PET材料。作為外層，就有抗機(jī)械磨損，保護(hù)第 二層上金屬層2的作用。PET材料也可以選用PP、PVC、PE等塑料材料 替代。上絕緣層1厚度為30至60微米。

上金屬層2，優(yōu)選鋁膜。作為屏蔽用的地層，和第六層的下金屬層6 全屏蔽結(jié)構(gòu)。鋁膜也可以采用銅膜替代或銀漿替代。

復(fù)合電極層10包括壓電膜層3和信號(hào)層4。

壓電膜層3，信號(hào)輸出的第一層壓電膜。

信號(hào)層4，同樣采用鋁膜，輸出信號(hào)的電極。信號(hào)層4被蝕刻成波 浪的形狀，形成信號(hào)導(dǎo)通的電路通道4-1。鋁膜也可以采用銅膜替代或 銀漿替代。另外，信號(hào)層還有留空區(qū)域4-2，可以打入端子，方便第四 層信號(hào)層4信號(hào)電極的信號(hào)引出而不至于和地導(dǎo)通。

下壓電膜層5，信號(hào)輸出的第二層壓電膜。