[發明專利]復合屏蔽型壓電膜傳感器在審
| 申請號： | 201510934785.4 | 申請日： | 2015-12-15 |
| 公開（公告）號： | CN105588585A | 公開（公告）日： | 2016-05-18 |
| 發明（設計）人： | 孟召龍 | 申請（專利權）人： | 感至源電子科技（上海）有限公司 |
| 主分類號： | G01D5/12 | 分類號： | G01D5/12;H01L41/083 |
| 代理公司： | 上海精晟知識產權代理有限公司 31253 | 代理人： | 黃佳麗 |
| 地址： | 200434 上海市楊*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 復合 屏蔽 壓電 傳感器 | ||
1.一種多層自屏蔽型壓電薄膜傳感器，其特征在于：包括依次設 置的上絕緣層、上金屬層、至少一層復合電極層、下壓電膜層、下金 屬層和下絕緣層；
每一層復合電極層包括壓電膜層和信號層。
2.如權利要求1所述的多層自屏蔽型壓電薄膜傳感器，其特征 在于：上絕緣層和/或下絕緣層的材質為塑料。
3.如權利要求2所述的多層自屏蔽型壓電薄膜傳感器，其特征 在于：塑料為PET或PP或PVC或PE。
4.如權利要求1所述的多層自屏蔽型壓電薄膜傳感器，其特征 在于：上金屬層和/或下金屬層的材質為鋁或銅或銀。
5.如權利要求1所述的多層自屏蔽型壓電薄膜傳感器，其特征 在于：信號層的材質為鋁或銅或銀。
6.如權利要求1所述的多層自屏蔽型壓電薄膜傳感器，其特征 在于：上絕緣層和/或下絕緣層的厚度為30至60微米。
7.如權利要求1所述的多層自屏蔽型壓電薄膜傳感器，其特征 在于：信號層被蝕刻成波浪的形狀，形成信號導通的電路通道。
8.如權利要求7所述的多層自屏蔽型壓電薄膜傳感器，其特征 在于：上金屬層和/或下金屬層具有與電路通道相對應的位置具有分 隔線。
9.如權利要求8所述的多層自屏蔽型壓電薄膜傳感器，其特征 在于：分割線的寬度為0.1至0.5毫米。
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