[發明專利]一種高溫用石英管的清洗方法有效
| 申請號： | 201510922980.5 | 申請日： | 2015-12-11 |
| 公開（公告）號： | CN105537207B | 公開（公告）日： | 2018-09-25 |
| 發明（設計）人： | 鄭延;張瀾庭;溫宏遠;陳夫剛;張鐵橋;董顯平 | 申請（專利權）人： | 上海交通大學 |
| 主分類號： | B08B9/027 | 分類號： | B08B9/027 |
| 代理公司： | 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 高燕;許亦琳 |
| 地址： | 200240 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 石英管 氟氣 清洗 石英管內壁 高溫分解 金屬氟化物粉末 金屬氟化物 清潔石英 真空條件 真空系統 活潑性 揮發 磨損 腐蝕 恢復 | ||
本發明提供一種高溫用石英管的清洗方法，所述方法為使用金屬氟化物粉末高溫分解產生的氟氣清潔石英管管壁。金屬氟化物高溫分解出氟氣，利用氟氣的活潑性使之帶走石英管內壁上的殘留物，與石英管長期使用后揮發在內壁的殘留物結合成氣體被真空系統抽走，同時，又能在干燥、真空條件下防止其腐蝕石英管。清洗完畢的石英管內壁恢復清透，并且表面沒有任何磨損。
技術領域
本發明涉及一種方法，具體公開了一種高溫用石英管的清洗方法。
背景技術
石英管使用時，例如光加熱懸浮區熔爐，可達2000℃，樣品揮發物與二氧化硅管壁結合緊密，使用常規方法如擦拭、超聲波震蕩、有機物溶劑不能有效去除殘留物。
氫氟酸等酸液會對石英管腐蝕，發生反應：
4HF+SiO2＝SiF4(氣)+2H2O
如果有水存在，
2F2+2H2O＝4HF+O2(氣)
4HF+SiO2＝SiF4(氣)+2H2O
而氫氟酸等酸液會與石英管發生如上反應，對石英管的腐蝕會使管體表面變毛，影響光線透過，這對于利用聚焦光線加熱和實時監控管內樣品融化狀況的熔煉都是致命的影響。找到合適的清洗方法之前，石英管體只得更換頻繁，產生較高的經濟成本。
高純氟氣(F2)是一種性質非常活潑的氣體，具有強氧化性，能與大多數無機物或有機物在室溫或低于室溫下反應，高純氟氣是精細化工領域的重要原料。廣泛應用于電子、激光技術、醫藥塑料等領域。由于它的強氧化性，可以用于玻璃浸蝕，金屬材料、管道的表面鈍化處理。
發明內容
本發明的目的在于克服現有技術的缺陷，提供一種便捷、徹底的高溫用石英管清洗方法。
為了實現以上目的及其他目的，本發明是通過包括以下技術方案實現的：
一種高溫用石英管的清洗方法，所述方法為使用金屬氟化物粉末高溫分解產生的氟氣清潔石英管管壁。
更優選地，所述金屬氟化物為稀土金屬氟化物中的一種或多種。
優選地，所述金屬氟化物為氟化釹或氟化鏑中的一種或多種。
優選地，將金屬氟化物放入所述石英管中，并一起放入真空石英管式爐中，對真空石英管式爐抽真空后加熱進行反應。
優選地，所述加熱至溫度達到880～900℃。
優選地，所述真空石英管式爐的加熱的升溫速度為5～15°/min。
更優選地，所述真空石英管式爐的加熱的升溫速度為10℃/min。
優選地，抽真空后，所述真空石英管式爐內的真空度要保持小于10-2Pa。
優選地，反應時間為3～7小時。
更優選地，反應時間為5小時。
優選地，每個石英管金屬氟化物的使用量為2～10g。
更優選地，每個石英管金屬氟化物的使用量為5g。
優選地，反應結束后停止加熱至石英管自然冷卻后倒掉殘渣，用酒精棉擦拭內壁。
本發明還公開了如上述所述方法在清洗石英管方面的用途。
本發明中方法具有以下有益效果：
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