[發(fā)明專利]一種高溫用石英管的清洗方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201510922980.5 | 申請日： | 2015-12-11 |
| 公開（公告）號： | CN105537207B | 公開（公告）日： | 2018-09-25 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 鄭延;張瀾庭;溫宏遠;陳夫剛;張鐵橋;董顯平 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海交通大學(xué) |
| 主分類號： | B08B9/027 | 分類號： | B08B9/027 |
| 代理公司： | 上海光華專利事務(wù)所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 高燕;許亦琳 |
| 地址： | 200240 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 石英管 氟氣 清洗 石英管內(nèi)壁 高溫分解 金屬氟化物粉末 金屬氟化物 清潔石英 真空條件 真空系統(tǒng) 活潑性 揮發(fā) 磨損 腐蝕 恢復(fù) | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種高溫用石英管的清洗方法，所述方法為使用金屬氟化物粉末高溫分解產(chǎn)生的氟氣清潔石英管管壁；
所述金屬氟化物為稀土金屬氟化物中的一種或多種；
將金屬氟化物放入所述石英管中，并一起放入真空石英管式爐中，對真空石英管式爐抽真空后加熱進行反應(yīng)；
所述加熱至溫度達到880～900℃。
2.如權(quán)利要求1所述方法，其特征在于：所述真空石英管式爐的加熱的升溫速度為5～15℃/min。
3.如權(quán)利要求1所述方法，其特征在于：抽真空后，所述真空石英管式爐內(nèi)的真空度要保持小于10-2Pa。
4.如權(quán)利要求1所述方法，其特征在于：反應(yīng)時間為3～7小時。
5.如權(quán)利要求1所述方法，其特征在于：每個石英管金屬氟化物的使用量為2～10g。
6.如權(quán)利要求1所述方法，其特征在于：反應(yīng)結(jié)束后停止加熱至石英管自然冷卻后倒掉殘渣，用酒精棉擦拭內(nèi)壁。
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