[發明專利]一種高溫用石英管的清洗方法有效
| 申請號： | 201510922980.5 | 申請日： | 2015-12-11 |
| 公開（公告）號： | CN105537207B | 公開（公告）日： | 2018-09-25 |
| 發明（設計）人： | 鄭延;張瀾庭;溫宏遠;陳夫剛;張鐵橋;董顯平 | 申請（專利權）人： | 上海交通大學 |
| 主分類號： | B08B9/027 | 分類號： | B08B9/027 |
| 代理公司： | 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 高燕;許亦琳 |
| 地址： | 200240 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 石英管 氟氣 清洗 石英管內壁 高溫分解 金屬氟化物粉末 金屬氟化物 清潔石英 真空條件 真空系統 活潑性 揮發 磨損 腐蝕 恢復 | ||
【權利要求書】：
1.一種高溫用石英管的清洗方法，所述方法為使用金屬氟化物粉末高溫分解產生的氟氣清潔石英管管壁；
所述金屬氟化物為稀土金屬氟化物中的一種或多種；
將金屬氟化物放入所述石英管中，并一起放入真空石英管式爐中，對真空石英管式爐抽真空后加熱進行反應；
所述加熱至溫度達到880～900℃。
2.如權利要求1所述方法，其特征在于：所述真空石英管式爐的加熱的升溫速度為5～15℃/min。
3.如權利要求1所述方法，其特征在于：抽真空后，所述真空石英管式爐內的真空度要保持小于10-2Pa。
4.如權利要求1所述方法，其特征在于：反應時間為3～7小時。
5.如權利要求1所述方法，其特征在于：每個石英管金屬氟化物的使用量為2～10g。
6.如權利要求1所述方法，其特征在于：反應結束后停止加熱至石英管自然冷卻后倒掉殘渣，用酒精棉擦拭內壁。
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