[發(fā)明專利]板級(jí)射頻電流的時(shí)域測(cè)量、測(cè)量校準(zhǔn)及校準(zhǔn)驗(yàn)證系統(tǒng)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201510867967.4
• 申請(qǐng)日: 2015-11-30
• 公開（公告）號(hào): CN105425014A
• 公開（公告）日: 2016-03-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 方文嘯;丘海迷;陳義強(qiáng);劉遠(yuǎn);陳立輝;黃云;恩云飛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 工業(yè)和信息化部電子第五研究所
• 主分類號(hào): G01R19/00
• 分類號(hào): G01R19/00
• 代理公司: 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224
• 代理人: 王程

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及板級(jí)射頻電流技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種板級(jí)射頻電流的時(shí)域測(cè)量、測(cè)量校準(zhǔn)及校準(zhǔn)驗(yàn)證系統(tǒng)。

背景技術(shù)

所謂時(shí)域測(cè)量，就是測(cè)量變量隨時(shí)間的變化數(shù)據(jù)。現(xiàn)有技術(shù)中板級(jí)射頻電流時(shí)域測(cè)試需要直接接觸被測(cè)點(diǎn)，這種直接接觸會(huì)干預(yù)被測(cè)系統(tǒng)，例如修改系統(tǒng)或者停止系統(tǒng)。隨著被測(cè)對(duì)象的日益復(fù)雜，直接接觸測(cè)試電流帶來(lái)越來(lái)越多的問題。

發(fā)明內(nèi)容

基于上述情況，本發(fā)明提出了一種板級(jí)射頻電流的時(shí)域測(cè)量、測(cè)量校準(zhǔn)及校準(zhǔn)驗(yàn)證系統(tǒng)，在測(cè)量之前進(jìn)行校準(zhǔn)、校準(zhǔn)驗(yàn)證，并采用非接觸的方式測(cè)試板級(jí)射頻電流，適合實(shí)際應(yīng)用。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明技術(shù)方案的實(shí)施例為：

一種板級(jí)射頻電流的時(shí)域測(cè)量校準(zhǔn)系統(tǒng)，包括磁場(chǎng)探頭、網(wǎng)絡(luò)分析儀、負(fù)載、處理器；

所述磁場(chǎng)探頭的輸出端連接所述網(wǎng)絡(luò)分析儀的端口一，微帶線測(cè)試板的微帶線的一端連接所述網(wǎng)絡(luò)分析儀的端口二，所述微帶線的另一端連接所述負(fù)載，所述處理器用于根據(jù)所述網(wǎng)絡(luò)分析儀測(cè)量的數(shù)據(jù)得到校準(zhǔn)因子，所述負(fù)載的阻值與所述微帶線特征阻抗匹配。

一種板級(jí)射頻電流的時(shí)域測(cè)量校準(zhǔn)驗(yàn)證系統(tǒng)，包括磁場(chǎng)探頭、任意波形發(fā)生器、示波器、處理器；

所述磁場(chǎng)探頭的輸出端連接所述示波器的通道一，微帶線測(cè)試板的微帶線的一端連接所述示波器的通道二，所述微帶線的另一端連接所述任意波形發(fā)生器的輸出端，所述處理器用于根據(jù)所述示波器測(cè)量的數(shù)據(jù)驗(yàn)證校準(zhǔn)因子的正確性，所述示波器的內(nèi)部阻抗和所述任意波形發(fā)生器的內(nèi)部阻抗與所述微帶線特征阻抗匹配。

一種板級(jí)射頻電流的時(shí)域測(cè)量系統(tǒng)，包括磁場(chǎng)探頭、示波器、處理器；

所述磁場(chǎng)探頭的輸出端連接所述示波器的通道一，待測(cè)板級(jí)射頻電流設(shè)置在微帶線測(cè)試板的微帶線處，所述處理器用于根據(jù)所述示波器測(cè)量的數(shù)據(jù)得到待測(cè)板級(jí)射頻電流值，所述示波器的內(nèi)部阻抗與所述微帶線特征阻抗匹配。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果為：本發(fā)明板級(jí)射頻電流的時(shí)域測(cè)量、測(cè)量校準(zhǔn)及校準(zhǔn)驗(yàn)證系統(tǒng)，在測(cè)量之前進(jìn)行校準(zhǔn)、校準(zhǔn)驗(yàn)證，提高后面電流測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性，同時(shí)采用非接觸的方式測(cè)試板級(jí)射頻電流，不會(huì)干預(yù)被測(cè)系統(tǒng)，保證被測(cè)系統(tǒng)的正常運(yùn)行，適合實(shí)際應(yīng)用。

附圖說明

圖1為一個(gè)實(shí)施例中板級(jí)射頻電流的時(shí)域測(cè)量校準(zhǔn)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為一個(gè)實(shí)施例中板級(jí)射頻電流的時(shí)域測(cè)量校準(zhǔn)驗(yàn)證系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為一個(gè)實(shí)施例中板級(jí)射頻電流的時(shí)域測(cè)量系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為一個(gè)實(shí)施例中校準(zhǔn)因子K(ω)示意圖；

圖5為一個(gè)實(shí)施例中測(cè)量得到的待測(cè)板級(jí)射頻電流I(t)示意圖；

圖6為一個(gè)實(shí)施例中實(shí)際待測(cè)板級(jí)射頻電流I′(t)示意圖。

具體實(shí)施方式

為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步的詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施方式僅僅用以解釋本發(fā)明，并不限定本發(fā)明的保護(hù)范圍。

一個(gè)實(shí)施例中板級(jí)射頻電流的時(shí)域測(cè)量校準(zhǔn)系統(tǒng)，包括磁場(chǎng)探頭、網(wǎng)絡(luò)分析儀、負(fù)載、處理器；

如圖1所示，所述磁場(chǎng)探頭的輸出端連接所述網(wǎng)絡(luò)分析儀的端口一，微帶線測(cè)試板的微帶線的一端連接所述網(wǎng)絡(luò)分析儀的端口二，所述微帶線的另一端連接所述負(fù)載，所述處理器用于根據(jù)所述網(wǎng)絡(luò)分析儀測(cè)量的數(shù)據(jù)得到校準(zhǔn)因子，所述負(fù)載的阻值與所述微帶線特征阻抗匹配。

從以上描述可知，本發(fā)明板級(jí)射頻電流的時(shí)域測(cè)量校準(zhǔn)系統(tǒng)在測(cè)量前進(jìn)行校準(zhǔn)，保證后續(xù)測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性。

其中，所述處理器根據(jù)公式K(ω)＝S₁₂*Z₀得到校準(zhǔn)因子K(ω)，其中S₁₂為所述網(wǎng)絡(luò)分析儀上測(cè)量得到的傳輸系數(shù)，Z₀為所述微帶線特征阻抗，簡(jiǎn)單、準(zhǔn)確，適合應(yīng)用。

此外，在一個(gè)具體示例中，所述板級(jí)射頻電流的時(shí)域測(cè)量校準(zhǔn)系統(tǒng)還包括夾具、支架和樣品臺(tái)，所述磁場(chǎng)探頭固定在所述夾具上，所述夾具固定在所述支架上，所述微帶線測(cè)試板固定在所述樣品臺(tái)上；夾具固定在支架上后可以隨意轉(zhuǎn)動(dòng)角度，整個(gè)探頭垂直于樣品臺(tái)，方便后續(xù)操作，滿足實(shí)際需求。

一個(gè)實(shí)施例中板級(jí)射頻電流的時(shí)域測(cè)量校準(zhǔn)驗(yàn)證系統(tǒng)，包括磁場(chǎng)探頭、任意波形發(fā)生器、示波器、處理器；