[發明專利]透射激光束的檢測方法有效
| 申請號： | 201510822647.7 | 申請日： | 2015-11-24 |
| 公開（公告）號： | CN105643118B | 公開（公告）日： | 2019-04-26 |
| 發明（設計）人： | 相川力;遠藤智裕 | 申請（專利權）人： | 株式會社迪思科 |
| 主分類號： | B23K26/70 | 分類號： | B23K26/70;H01L21/78;G01J1/50 |
| 代理公司： | 北京三友知識產權代理有限公司 11127 | 代理人： | 李輝;于靖帥 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 透射 激光束 檢測 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種透射激光束的檢測方法，將對于包含第1面和與該第1面相反側的第2面的板狀的被加工物具有透過性的波長的激光束的聚光點定位在被加工物的內部，從第1面側照射該激光束，對透射到該第2面側的激光束進行檢測，其特征在于，該透射激光束的檢測方法具有如下的步驟：
感光片定位步驟，使具有感光層的感光片的該感光層與被加工物的該第2面相對，并利用卡盤工作臺的保持面隔著該感光片保持被加工物；
激光束照射步驟，在實施了該感光片定位步驟之后，從被加工物的該第1面側照射該激光束；以及
確認步驟，在實施了該激光束照射步驟之后，借助形成于該感光片的該感光層的感光反應區域來確認所述透射激光束的強度分布是否相對于所述透射激光束的中心對稱。
2.根據權利要求1所述的透射激光束的檢測方法，其特征在于，
在該感光片定位步驟中，該感光片隔著具有透光性的液體的層而粘接于被加工物的該第2面。
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