[發明專利]DLC自清潔衛生潔具

有效

• 申請號: 201510818088.2
• 申請日: 2015-11-15
• 公開（公告）號: CN105349963A
• 公開（公告）日: 2016-02-24
• 發明（設計）人: 劉南林
• 申請（專利權）人: 劉南林
• 主分類號: C23C16/26
• 分類號: C23C16/26
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.具有自清潔功能的DLC自清潔衛生潔具(1)，其獨有的與現有技術不同的技術特征是DLC自清潔衛生潔具(1)由衛生潔具(4)、濺射在衛生潔具(4)表面的導電膜(3)、及采用真空等離子體化學氣相沉積設備在導電膜(3)表面沉積的類金剛石薄膜(2)構成。

2.根據權利要求1所述的導電膜(3)，其特征是采用磁控濺射技術在普通衛生潔具(4)表面形成厚度約0.5微米的導電膜(3)，既是等離子體電場的電極(3)又是氣相沉積類金剛石薄膜的襯底(3)。

3.根據權利要求1所述的類金剛石薄膜(2)，其特征是采用由真空室(6)、真空泵(7)、含碳氣體(8)、高頻偏壓電源(9)及位于真空室(6)內的模具電極(5)與衛生潔具(4)表面的導電膜(3)構成的等離子電場共同構成的真空等離子體化學氣相沉積設備，以衛生潔具(4)表面的導電膜(3)為等離子體電場的電極(3)和沉積類金剛石薄膜(2)的襯底(3)，在衛生潔具(4)表面的導電膜(3)表面沉積厚度約0.2微米的類金剛石薄膜(2)，使普通衛生潔具(4)成為具有自清潔功能的衛生潔具(1)。

4.根據權利要求1所述的衛生潔具(4)，其特征是衛生潔具(4)由陶瓷、塑料、金屬、玻璃材料制成。

5.根據權利要求1所述的真空等離子體化學氣相沉積設備，其特征是將高頻偏壓電源(9)的負極連接衛生潔具(4)表層的導電膜(3)，將高頻偏壓電源(9)的正極與模具電極(5)連接，構成用于氣相化學沉積類金剛石薄膜(2)反應的等離子體電場。