[發明專利]雙放雙收卷繞鍍膜裝置及方法

在審

• 申請號: 201510791301.5
• 申請日: 2015-11-17
• 公開（公告）號: CN105239052A
• 公開（公告）日: 2016-01-13
• 發明（設計）人: 朱文廓;朱剛勁;朱剛毅
• 申請（專利權）人: 廣東騰勝真空技術工程有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/35;C23C14/58
• 代理公司: 廣州市華學知識產權代理有限公司 44245
• 代理人: 謝靜娜;裘暉

1.雙放雙收卷繞鍍膜裝置，其特征在于，包括真空室和兩組收放輥卷繞機構，真空室為橫置的圓筒狀或方形箱狀結構，真空室內的中部設置鍍膜區域和離子處理區域，鍍膜區域位于離子處理區域上方，兩組收放輥卷繞機構分別設于真空室內的左右兩側，各收放輥卷繞機構上的卷材依次經過離子處理區域和鍍膜區域相應的外側面。

2.根據權利要求1所述的雙放雙收卷繞鍍膜裝置，其特征在于，所述真空室的前后兩端分別設有靶車和卷繞車，靶車和卷繞車底部分別設置導軌；靶車上設置濺射靶組件和離子處理組件，卷繞車上設置兩組收放輥卷繞機構；靶車沿著導軌運行，帶動濺射靶組件相應進入或退出鍍膜區域，同時帶動離子處理組件進入或退出離子處理區域；卷繞車沿著導軌運行，帶動兩組收放輥卷繞機構同時進入或退出真空室。

3.根據權利要求2所述的雙放雙收卷繞鍍膜裝置，其特征在于，所述靶車包括濺射靶安裝架、離子源安裝架、底座、支撐連桿和支撐側板，支撐側板通過支撐連桿與底座相連接，支撐側板上由上至下依次設置濺射靶安裝架和離子源安裝架，底座底部設有與軌道相配合的靶車滾輪。

4.根據權利要求2所述的雙放雙收卷繞鍍膜裝置，其特征在于，所述卷繞車包括卷繞安裝架、支撐板和后座，支撐板固定于后座上，支撐板上設置兩個卷繞安裝架，兩個卷繞安裝架位于支撐板上的左右兩側，后座一側設有與軌道相配合的卷繞車滾輪，卷繞車滾輪位于支撐板下方。

5.根據權利要求2所述的雙放雙收卷繞鍍膜裝置，其特征在于，所述鍍膜區域包括左鍍膜區和右鍍膜區，離子處理區域包括左離子處理區和右離子處理區，鍍膜區域的上端設有第一隔板，鍍膜區域與離子處理區域之間設有第二隔板，離子處理區域的下端設有第三隔板，左鍍膜區與右鍍膜區之間設有第四隔板，且第四隔板的下部延伸至左離子處理區和右離子處理區之間。

6.根據權利要求5所述的雙放雙收卷繞鍍膜裝置，其特征在于，所述濺射靶組件包括至少一個左磁控濺射靶和至少一個右磁控濺射靶，左磁控濺射靶設于左鍍膜區內，右磁控濺射靶設于右鍍膜區內；離子處理組件包括至少一個左離子源和至少一個右離子源，左離子源設于左離子處理區內，右離子源設于右離子處理區內。

7.根據權利要求6所述的雙放雙收卷繞鍍膜裝置，其特征在于，所述左磁控濺射靶和右磁控濺射靶均為平面靶材或圓柱靶材中的一種。

8.根據權利要求1所述的雙放雙收卷繞鍍膜裝置，其特征在于，所述收放輥卷繞機構包括放卷輥、收卷輥、導向輥、張力檢測輥和主動輥，放卷輥和收卷輥呈上下方式放置，放卷輥和收卷輥之間分布有多個導向輥和張力檢測輥，鍍膜區域上端外側和離子處理區域下端外側分別設有主動輥，通過張力控制來拉直卷材，卷材的待處理面平行于離子處理區域和鍍膜區域。

9.根據權利要求2～8任一項所述裝置實現的雙放雙收卷繞鍍膜方法，其特征在于，包括以下步驟：

(1)根據鍍膜工藝的需要，在靶車上安裝濺射靶組件和離子處理組件，在卷繞車上安裝收放輥卷繞機構；

(2)靶車和卷繞車沿軌道移動，分別將濺射靶組件、離子處理組件和收放輥卷繞機構送入真空室中，濺射靶組件對應進入鍍膜區域，離子處理組件對應進入離子處理區域；

(3)對真空室進行抽真空，然后同時啟動真空室內左右兩側的兩組收放輥卷繞機構，兩組收放輥卷繞機構上的卷材同時經過離子處理區域和鍍膜區域的左右兩側，進行雙放雙收式的鍍膜處理。