[發明專利]反應腔室

有效

• 申請號: 201510777620.0
• 申請日: 2015-11-13
• 公開（公告）號: CN106702353B
• 公開（公告）日: 2019-03-12
• 發明（設計）人: 陳慶
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: C23C16/52
• 分類號: C23C16/52;H01L21/02
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;張天舒

1.一種反應腔室，包括基座，所述基座包括用于承載托盤的承載面，所述托盤用于承載至少一個被加工工件，其特征在于，還包括工件檢測裝置，所述工件檢測裝置用于檢測所述基座上是否放置有所述托盤，并發出有關是或者否的數字信號；

所述工件檢測裝置包括探針、壓縮彈簧和檢測開關，其中，

所述檢測開關包括靜觸點和動觸點，二者在相接觸時發出有關是的數字信號，在相分離時發出有關否的數字信號；

在所述基座的承載面上設置有貫穿其厚度的第一通孔，所述探針位于所述第一通孔內，且與所述動觸點連接；

所述壓縮彈簧用于承載所述探針；

當所述基座上沒有所述托盤時，所述壓縮彈簧處于原始狀態，所述探針的上端高于所述承載面，所述動觸點位于與所述靜觸點相分離的位置處；

當所述基座上有所述托盤時，所述托盤利用自身重力向下壓住所述探針，所述探針帶動所述動觸點下移至與所述靜觸點相接觸的位置處，同時所述壓縮彈簧被壓縮。

2.根據權利要求1所述的反應腔室，其特征在于，所述靜觸點與直流電源連接，當所述靜觸點和動觸點相接觸時，二者所在電路通電；當所述靜觸點和動觸點相分離時，二者所在電路斷電。

3.根據權利要求1所述的反應腔室，其特征在于，所述工件檢測裝置設置在所述反應腔室的底部，且在所述反應腔室底部的腔室壁上設置有第二通孔，用以供所述探針伸入所述反應腔室內。

4.根據權利要求3所述的反應腔室，其特征在于，還包括中心軸、上法蘭、下法蘭和波紋管，其中，

所述中心軸豎直設置，且分別與所述探針的下端和所述下法蘭連接；

所述上法蘭套設在所述中心軸周圍，且與所述反應腔室的底部密封連接；

所述下法蘭由所述壓縮彈簧承載，且與所述動觸點連接；

所述波紋管套設在所述中心軸周圍，且位于所述上法蘭和下法蘭之間，并且分別與二者密封連接。

5.根據權利要求4所述的反應腔室，其特征在于，所述下法蘭與所述動觸點采用可分離的方式接觸連接。

6.根據權利要求5所述的反應腔室，其特征在于，在所述下法蘭的底部設置有球面接觸部，且對應地在所述動觸點上豎直設置有接觸桿，所述接觸桿的上端面為平面；

所述球面接觸部與所述接觸桿的上端面相接觸。

7.根據權利要求1所述的反應腔室，其特征在于，所述探針采用絕緣材料制作。

8.根據權利要求1所述的反應腔室，其特征在于，所述探針的上端面具有圓弧倒角，以實現與所述托盤平滑接觸。

9.根據權利要求1-8任意一項所述的反應腔室，其特征在于，還包括控制單元，用于讀取由所述工件檢測裝置發出的所述數字信號，并根據該數字信號判斷所述基座上是否放置有所述托盤。